申请/专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司

申请日：2019-12-31

公开（公告）日：2021-07-16

公开（公告）号：CN113130370A

主分类号：H01L21/687(20060101)

分类号：H01L21/687(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.09#实质审查的生效;2021.07.16#公开

摘要：本发明提供一种晶圆卡盘，底座包括轨道；旋转轮位于底座上，且与底座活动连接；滑块与轨道对应设置，且位于轨道中；晶圆限位件与滑块对应设置，并与滑块固定连接，以构成中心对称图形，且对称中心与旋转轮的中心位于同一轴线上；驱动器与旋转轮相连接；连接杆与旋转轮及滑块活动连接，从而通过驱动器驱动旋转轮旋转，旋转轮通过连接杆带动滑块运行，以驱使多个晶圆限位件沿径线同步运行，在确保对晶圆固定的同时，使晶圆的中心与旋转轮的中心始终位于同一轴线上，从而在对晶圆进行夹持或卸载时，以及在将晶圆卡盘与旋转轴件连接时，均可实现对晶圆的对心操作，提高晶圆的位置稳定性，获得高质量的晶圆。

主权项：1.一种晶圆卡盘，其特征在于，所述晶圆卡盘包括：底座，所述底座包括轨道；旋转轮，所述旋转轮位于所述底座上，且与所述底座活动连接；滑块，所述滑块与所述轨道对应设置，所述滑块位于所述轨道中；至少3个晶圆限位件，所述晶圆限位件与所述滑块对应设置，并与所述滑块固定连接，其中，由至少3个所述晶圆限位件所构成的图形为中心对称图形，且对称中心与所述旋转轮的中心位于同一轴线上；驱动器，所述驱动器与所述旋转轮相连接，以通过所述驱动器驱动所述旋转轮旋转；连接杆，所述连接杆包括第一端及相对的第二端，所述连接杆的第一端与所述旋转轮活动连接，所述连接杆的第二端与所述滑块活动连接，以通过所述旋转轮的旋转，带动至少3个所述晶圆限位件沿径线同步运行。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 晶圆卡盘

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