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【发明公布】发光装置、检测方法、检测设备_深圳中科飞测科技股份有限公司_201911417315.5 

申请/专利权人:深圳中科飞测科技股份有限公司

申请日:2019-12-31

公开(公告)日:2021-07-16

公开(公告)号:CN113125456A

主分类号:G01N21/95(20060101)

分类号:G01N21/95(20060101)

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2021.08.03#实质审查的生效;2021.07.16#公开

摘要:本发明公开了一种发光装置、检测方法、检测设备,该发光装置包括:检测光源,所述检测光源用于提供入射光束;至少一组入射组件,所述入射组件包括扩束组件和汇聚组件,所述扩束组件用于将所述入射光束在第一方向上展开,形成检测光束;所述汇聚组件用于使所述检测光束汇聚至焦平面,并在所述焦平面上形成条形光斑,所述第一方向垂直于所述条形光斑的延伸方向。本发明能够提高检测效率,提高光学元件的使用寿命,此外,还可以使得斜入射光斑强度均匀,提高检测精度。

主权项:1.一种发光装置,其特征在于,包括:检测光源,所述检测光源用于提供入射光束;至少一组入射组件,所述入射组件包括扩束组件和汇聚组件,所述扩束组件用于将所述入射光束在第一方向上展开,形成检测光束;所述汇聚组件用于使所述检测光束汇聚至焦平面,并在所述焦平面上形成条形光斑,所述第一方向垂直于所述条形光斑的延伸方向。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳中科飞测科技股份有限公司 发光装置、检测方法、检测设备

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