申请/专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司

申请日：2019-12-31

公开（公告）日：2021-07-16

公开（公告）号：CN113130363A

主分类号：H01L21/68(20060101)

分类号：H01L21/68(20060101);H01L21/677(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.10.15#实质审查的生效;2021.07.16#公开

摘要：本发明公开了一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备，所述晶圆对中机构包括基座、驱动件、连杆及夹持件，连杆铰接于驱动件与夹持件之间构成的连杆组件同心设置于所述基座；所述驱动件的竖向移动通过连杆转化为所述夹持件的同步水平移动，水平移动的夹持件推动设置于基座的晶圆移动使得晶圆与基座同心。

主权项：1.一种晶圆对中机构，其包括基座、驱动件、连杆及夹持件，连杆铰接于驱动件与夹持件之间构成的连杆组件同心设置于所述基座；所述驱动件的竖向移动通过连杆转化为所述夹持件的同步水平移动，水平移动的夹持件推动设置于基座的晶圆移动使得晶圆与基座同心。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 清华大学;华海清科股份有限公司 一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备

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