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【发明公布】倾斜调整机构_株式会社迪思科_202110012829.3 

申请/专利权人:株式会社迪思科

申请日:2021-01-06

公开(公告)日:2021-07-16

公开(公告)号:CN113118968A

主分类号:B24B37/30(20120101)

分类号:B24B37/30(20120101);B24B41/02(20060101);B24B47/00(20060101);B24B47/12(20060101);B24B37/34(20120101)

优先权:["20200115 JP 2020-004273"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2023.01.03#实质审查的生效;2021.07.16#公开

摘要:本发明提供倾斜调整机构,在一边施加较大的负荷一边对保持面所保持的被加工物进行磨削的情况下,保持面相对于磨削磨具的下表面的平行度也不会改变。倾斜调整机构包含:环状的上板,其具有与工作台连结的上表面和相对于上表面倾斜的下表面;环状的下板,其具有与上板的下表面平行的上表面和与上板的上表面平行且与基台的上表面面对的下表面;上旋转机构,其使上板旋转;下旋转机构,其使下板旋转;第1轴承,其设置于上板的下表面与下板的上表面之间;第2轴承,其设置于下板的下表面与基台的上表面之间;以及连结机构,其将上板、下板以及基台连结。

主权项:1.一种倾斜调整机构,其配置于加工装置的基台与具有对被加工物进行保持的保持面的卡盘工作台之间,对该保持面的倾斜进行调整,其中,该倾斜调整机构包含:环状的上环板,其具有与该卡盘工作台连结的上表面和相对于该上表面倾斜的下表面;环状的下环板,其具有与该上环板的下表面平行的上表面和与该上环板的上表面平行且与该基台的上表面面对的下表面;上旋转机构,其使该上环板以第1轴线作为旋转轴线而旋转,该第1轴线与该上环板的倾斜的下表面垂直且通过该上环板的中心;下旋转机构,其使该下环板以第2轴线作为旋转轴线而旋转,该第2轴线与该下环板的下表面垂直且通过该上环板的中心;该上环板的下表面与该下环板的上表面之间的第1轴承;该下环板的下表面与该基台的上表面之间的第2轴承;以及连结机构,其将该上环板、该下环板以及该基台连结,该倾斜调整机构在使该上环板和该下环板中的一方或双方旋转而对该保持面的倾斜进行了调整之后,利用该连结机构将该上环板、该下环板以及该基台连结。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社迪思科 倾斜调整机构

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