申请/专利权人：深圳众为兴技术股份有限公司

申请日：2021-04-19

公开（公告）日：2021-07-16

公开（公告）号：CN113119144A

主分类号：B25J15/00(20060101)

分类号：B25J15/00(20060101);B25J15/08(20060101);B25J11/00(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.08.03#实质审查的生效;2021.07.16#公开

摘要：本发明公开了一种机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运设备，其中，末端执行机构包括支座、手指组件、第一丝杆以及驱动组件，手指组件包括并列设置的第一手指和第二手指，第一手指与第二手指均滑动连接于支座，第一手指与第二手指均用于晶圆的承载；第一丝杆转动连接支座，第一丝杆包括第一段和第二段，第一段与第二段均设置有螺纹，两个螺纹的螺旋方向相反，其中，第一手指螺纹连接于第一段，第二手指螺纹连接于第二段；驱动组件与第一丝杆相连接，用于驱动第一丝杆转动。通过采用上述方案，即保证了晶圆的输送效率，又保证了末端执行机构适用不同层间距的放置盒。

主权项：1.机械手用末端执行机构，其特征在于，包括：支座；手指组件，包括并列设置的第一手指和第二手指，所述第一手指与所述第二手指均滑动连接于所述支座，所述第一手指与所述第二手指用于晶圆的承载；第一丝杆，转动连接所述支座，所述第一丝杆包括第一段和第二段，所述第一段与所述第二段均设置有螺纹，两个所述螺纹的螺旋方向相反，其中，所述第一手指螺纹连接于所述第一段，所述第二手指螺纹连接于所述第二段；驱动组件，与所述第一丝杆相连接，用于驱动所述第一丝杆转动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳众为兴技术股份有限公司 机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运装置

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