申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司

申请日：2021-04-23

公开（公告）日：2021-07-16

公开（公告）号：CN113118964A

主分类号：B24B37/00(20120101)

分类号：B24B37/00(20120101);B24B37/005(20120101);B24B37/34(20120101);B24B57/02(20060101);B24B57/00(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2023.10.27#发明专利申请公布后的驳回;2021.08.03#实质审查的生效;2021.07.16#公开

摘要：本发明实施例属于半导体制作设备技术领域，具体涉及一种化学机械研磨装置。本发明实施例旨在解决相关技术中采用人工添加试剂费时费力的问题。供应装置包括用于承装研磨液的暂存桶、以及与暂存桶连接的测量装置，测量装置用于检测暂存桶内剩余研磨液的量；研磨机台与暂存桶连通；添加装置包括储存装置以及驱动装置，驱动装置与储存装置和暂存桶连通，控制装置与驱动装置和测量装置连接；控制装置用于在预设时间时，根据暂存桶内剩余研磨液的量和预定规则控制驱动装置将储存装置内对应体积的添加试剂输送至暂存桶内，以使得暂存桶内的添加试剂浓度维持在设定值，与采用人工添加试剂相比，简化了操作过程，节省人工。

主权项：1.一种化学机械研磨装置，其特征在于，包括：控制装置、研磨机台、供应装置和添加装置，所述供应装置包括用于承装研磨液的暂存桶、以及与所述暂存桶连接的测量装置，所述测量装置用于检测所述暂存桶内剩余研磨液的量；所述研磨机台与所述暂存桶连通；所述添加装置包括储存装置以及驱动装置，所述驱动装置与所述储存装置和所述暂存桶连通，所述控制装置与所述驱动装置和所述测量装置连接；所述控制装置用于在预设时间时，根据所述暂存桶内剩余研磨液的量和预定规则控制所述驱动装置将所述储存装置内对应体积的添加试剂输送至所述暂存桶内，以使得所述暂存桶内的所述添加试剂浓度维持在设定值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长鑫存储技术有限公司 化学机械研磨装置

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