申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2021-04-25

公开（公告）日：2021-07-16

公开（公告）号：CN113130357A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);H01L21/02(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.08.03#实质审查的生效;2021.07.16#公开

摘要：本发明提供了一种晶圆干燥系统及晶圆干燥方法，属于晶圆清洗干燥领域。该系统包括有机溶剂输送单元、干燥气体输送单元、混合装置、加热装置和干燥装置，有机溶剂输送单元和干燥气体输送单元均与混合装置相连，混合装置、加热装置和干燥装置依次相连。混合装置，用于对有机溶剂输送单元输送的有机溶剂和干燥气体输送单元输送的干燥气体进行混合；加热装置，用于对混合装置混合后的混合流体进行加热气化；干燥装置，用于使用加热装置加热气化后的混合气体对晶圆进行干燥。本发明能够提升干燥工艺时混合蒸汽中有机溶剂蒸汽的含量，且产生混合蒸汽的时间短、效率高，能够满足快速干燥且干燥过程可控的需要。

主权项：1.一种晶圆干燥系统，其特征在于，包括有机溶剂输送单元、干燥气体输送单元、混合装置、加热装置和干燥装置，所述有机溶剂输送单元和所述干燥气体输送单元均与所述混合装置相连，所述混合装置、所述加热装置和所述干燥装置依次相连；所述混合装置，用于对所述有机溶剂输送单元输送的有机溶剂和所述干燥气体输送单元输送的干燥气体进行混合；所述加热装置，用于对所述混合装置混合后的混合流体进行加热气化；所述干燥装置，用于使用所述加热装置加热气化后的混合气体对晶圆进行干燥。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 一种晶圆干燥系统及晶圆干燥方法

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