申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司

申请日：2021-04-23

公开（公告）日：2021-07-16

公开（公告）号：CN113121232A

主分类号：C04B35/515(20060101)

分类号：C04B35/515(20060101);C04B35/622(20060101);C01B19/04(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2023.12.19#发明专利申请公布后的驳回;2021.08.03#实质审查的生效;2021.07.16#公开

摘要：本发明公开了一种导电性碲化锌靶材的制备方法。本发明导电性碲化锌靶材的制备方法包括以下步骤：将碲化锌粉末和碲化亚铜粉末混合均匀后进行热压烧结，得到导电性碲化锌靶材；其中热压烧结过程中，在500～900℃下加压至45～70MPa，再保温保压。本发明通过在碲化锌中掺杂碲化亚铜，使所得碲化锌靶材具有非常好的导电性；采用碲化锌粉末和碲化亚铜粉末作为原料，并在较低温度下进行热压烧结，避免烧结过程出现偏析，确保所得碲化锌靶材具有良好的均匀性；同时在烧结过程中施压，使所得碲化锌靶材具有较高的密度。

主权项：1.一种导电性碲化锌靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：将碲化锌粉末和碲化亚铜粉末混合均匀后装入石墨模具中，置于真空热压炉中进行热压烧结，烧结后得到导电性碲化锌靶材；其中，所述热压烧结的步骤具体为：以第一升温速率升温至500～900℃后进行第一时间保温，一次保温结束后加压至45～70MPa，随后再进行第二时间保温保压，保温保压结束后即可得到所述导电性碲化锌靶材。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种导电性碲化锌靶材的制备方法

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