申请/专利权人：中国地震局地球物理研究所;北京艺锦科技有限公司

申请日：2021-04-27

公开（公告）日：2021-07-16

公开（公告）号：CN113125803A

主分类号：G01P15/125(20060101)

分类号：G01P15/125(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.08.03#实质审查的生效;2021.07.16#公开

摘要：本发明涉及一种低噪电容式MEMS加速度传感器，包括三分向信号调理单元和由若干个传感器单元并联组成的传感器组，所述传感器组的三分向信号输出端对应地连接所述三分向信号调理单元；本发明还提出一种基于电容式MEMS加速度传感器的降噪方法，取若干传感器单元并联组成传感器组；取一个三分向信号调理单元，并将所述三分向信号调理单元对应地连接所述传感器组的三分向信号输出端。本发明的技术方案从一定程度上达到用户所需求的MEMS加速度传感器降噪水平，产品价格相对于直接选用噪声水平相当的MEMS加速度传感器大幅降低。

主权项：1.一种低噪电容式MEMS加速度传感器，其特征在于，包括三分向信号调理单元和由若干个传感器单元并联组成的传感器组，所述传感器组的三分向信号输出端对应地连接所述三分向信号调理单元。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国地震局地球物理研究所;北京艺锦科技有限公司 一种低噪电容式MEMS加速度传感器及降噪方法

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