申请/专利权人：中国科学技术大学

申请日：2021-05-28

公开（公告）日：2021-07-16

公开（公告）号：CN113117606A

主分类号：B01J3/04(20060101)

分类号：B01J3/04(20060101);B01J19/12(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.07.15#授权;2021.08.03#实质审查的生效;2021.07.16#公开

摘要：本发明公开了一种在真空束源腔中精密调节束源方向和位置的束源操纵装置，所述装置位于真空束源腔中，所述装置包括：L型支架1、支架底座2、电动精密旋转台3、电动精密二维移动平台4、超声射流脉冲阀7、点光源红外线激光定位器8、垂直定位光电二极管9、准直器10和水平定位光电二极管11。本发明在不破坏腔体高真空环境的前提下，一方面通过电动精密旋转台实现束源垂直和水平两种方向的可逆调节，利用电动精密二维移动平台在两个方向独立调节束源位置；另一方面，通过开腔定位好的点光源红外线激光定位器和光电二极管对束源精准定位，实现了在高真空束源腔中精密调节束源方向和位置的目标，简化了实验操作流程和时间成本，提高了实验操作效率。

主权项：1.一种在真空束源腔中精密调节束源方向和位置的束源操纵装置，其特征在于，所述装置位于真空束源腔中，所述装置包括：L型支架1、支架底座2、电动精密旋转台3、电动精密二维移动平台4、超声射流脉冲阀7、点光源红外线激光定位器8、垂直定位光电二极管9、准直器10和水平定位光电二极管11；电动精密二维移动平台4包括Y移动面5和X移动面6；超声射流脉冲阀7用于产生反应物分子束或者母体分子束，固定在L型支架1上，L型支架1固定在支架底座2上，支架底座2固定在电动精密旋转台3旋转面上，实现对束源转动角度的调节；电动精密旋转台3通过底面固定在电动精密二维移动平台Y移动面5上，可以在改变束源方向后调节束源到准直器10沿Y轴方向的距离；电动精密二维移动平台Y移动面5可以带动X移动面6在X轴方向移动，实现对束源到准直器10沿X轴方向距离的调节；电动精密二维移动平台4通过侧面固定在真空束源腔的腔体底面，保证超声射流脉冲阀7的位置和方向只在XY平面内变化；点光源红外线激光定位器8固定在L型支架1上，激光方向和束源方向平行；垂直定位光电二极管9固定在束源腔顶面，通过初次开腔定位使其中心和点光源红外线激光定位器8中心的连线平行于超声射流脉冲阀7垂直安装沿Y轴方向安装时的束源方向，实现束源方向由水平方向转动到垂直方向时的定位；水平定位光电二极管11和准直器10安装在同一腔面，通过开腔定位使其中心和点光源红外线激光定位8中心的连线平行于超声射流脉冲阀7水平安装沿X轴方向安装时的束源方向，实现束源方向由垂直方向转动到水平方向时的定位。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学技术大学 一种在真空束源腔中精密调节束源方向和位置的束源操纵装置

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