申请/专利权人：广东广纳芯科技有限公司

申请日：2020-09-11

公开（公告）日：2021-07-16

公开（公告）号：CN112050741B

主分类号：G01B11/02(20060101)

分类号：G01B11/02(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.07.16#授权;2020.12.25#实质审查的生效;2020.12.08#公开

摘要：本发明公开了一种用于对周期阵列结构中的周期栅阵进行测量的测量方法，包括：获取所述周期阵列结构的图像并获取所述图像的像素间距值；在所述图像上绘制覆盖多个所述周期栅阵的测量线；确定所述测量线上至少一部分像素的坐标值和图像特征值、以及所述测量线的斜率；利用所述坐标值和所述图像特征值，利用拟合函数来计算得到所述测量线的空间圆频率；利用所述像素间距值和所述空间圆频率，来计算得到所述测量线的延伸方向上的测量线周期长度；以及基于所述测量线的斜率、以及所述测量线周期长度来计算所述周期栅阵的实际周期长度。

主权项：1.一种测量方法，用于对周期阵列结构中的周期栅阵进行测量，其特征在于，包括：图像获取步骤，在该图像获取步骤中，获取所述周期阵列结构的图像并获取所述图像的像素间距值；测量线绘制步骤，在该测量线绘制步骤中，在所述图像上绘制覆盖多个所述周期栅阵的测量线；测量线参数确定步骤，在该测量线参数确定步骤中，确定所述测量线上至少一部分像素的坐标值和图像特征值、以及所述测量线的斜率；圆频率计算步骤，在该圆频率计算步骤中，利用所述坐标值和所述图像特征值，利用拟合函数来计算得到所述测量线的空间圆频率；测量线周期长度计算步骤，在该测量线周期长度计算步骤中，利用所述像素间距值和所述空间圆频率，来计算得到所述测量线的延伸方向上的测量线周期长度；以及实际周期长度计算步骤，在该实际周期长度计算步骤中，基于所述测量线的斜率、以及所述测量线周期长度来计算所述周期栅阵的实际周期长度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东广纳芯科技有限公司 周期栅阵的周期长度的测量方法

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