申请/专利权人：无锡奇众电子科技有限公司

申请日：2020-12-30

公开（公告）日：2021-07-16

公开（公告）号：CN213715064U

主分类号：G01N21/84(20060101)

分类号：G01N21/84(20060101);G01N21/01(20060101);G01R35/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.07.16#授权

摘要：本实用新型公开了一种环氧探针卡检测显微镜，包括针卡固定机构以及显微镜组件，所述显微镜组件用于对针卡进行观测，所述针卡固定机构包括一个针卡固定架以及丝杠组件，丝杠组件包括两组垂直的丝杠模组用于带动针卡固定架在水平方向移动，所述固定架包括一个底板，底板位于丝杠组件上方，底板上设置有一个转轴，转轴端部伸入丝杠组件中，且底板可沿该转轴在水平方向上转动；在丝杠组件上设置一个调节杆，该调节杆连接底板用于带动其水平转动；在底板上设置夹紧机构用于夹紧针卡。可以利用轴丝杠模组对针卡位置进行水平移动，当检测完一组探针后，可以对下一组探针进行检测，无需移动显微镜，节省了调焦环节。

主权项：1.一种环氧探针卡检测显微镜，包括针卡固定机构以及显微镜组件，所述显微镜组件用于对针卡进行观测，其特征在于:所述针卡固定机构包括一个针卡固定架以及丝杠组件，丝杠组件包括两组垂直的丝杠模组用于带动针卡固定架在水平方向移动，所述固定架包括一个底板，底板位于丝杠组件上方，底板上设置有一个转轴，转轴端部伸入丝杠组件中，且底板可沿该转轴在水平方向上转动；在丝杠组件上设置一个调节杆，该调节杆连接底板用于带动其水平转动；在底板上设置夹紧机构用于夹紧针卡。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡奇众电子科技有限公司 环氧探针卡检测显微镜

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