申请/专利权人：江西维易尔半导体设备有限公司

申请日：2020-12-31

公开（公告）日：2021-07-16

公开（公告）号：CN213715706U

主分类号：G03F7/30(20060101)

分类号：G03F7/30(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.07.16#授权

摘要：本实用新型涉及显影机技术领域，尤其涉及一种显影机用喷头，其包括底座、固定设于所述底座上的盖板和数个固定设于盖板一侧的喷嘴，所述底座上设有凹槽和进液通孔，所述凹槽内卡设有滤孔板，所述滤孔板上设有数个均匀分布的排液孔，所述盖板的另一侧设有与所述凹槽相对应的容纳槽，所述容纳槽上设有与所述喷嘴相对应的出液口，喷嘴的数量为十五个，满足了覆盖范围，也缩短了喷显影液过程的时间，其不仅密封性强，喷射均匀性佳，显影效果强，喷射动作简单，且能满足市场需求。

主权项：1.一种显影机用喷头，包括底座1、固定设于所述底座1上的盖板2和数个固定设于盖板2一侧的喷嘴3，其特征在于：所述底座1上设有凹槽5和进液通孔4，所述凹槽5内卡设有滤孔板6，所述滤孔板6上设有数个均匀分布的排液孔8，所述盖板2的另一侧设有与所述凹槽5相对应的容纳槽10，所述容纳槽10上设有与所述喷嘴3相对应的出液口11。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江西维易尔半导体设备有限公司 一种显影机用喷头

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