申请/专利权人：创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司

申请日：2020-01-20

公开（公告）日：2021-07-20

公开（公告）号：CN113140477A

主分类号：H01L21/66(20060101)

分类号：H01L21/66(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.16#授权;2021.08.06#实质审查的生效;2021.07.20#公开

摘要：本发明提供一种探针卡模块，包括探针卡组件及强化结构。探针卡组件包括相对的第一面与第二面及凸出于第一面的多个探针，其中第二面包括中央区及环绕中央区的周围区，且这些探针对第二面的投影位于中央区。强化结构配置于第二面，且包括立起于周围区且远离彼此的两支撑座及连接于两支撑座的弧形加固组件，其中弧形加固组件凸向中央区而抵靠于中央区。

主权项：1.一种探针卡模块，其特征在于，包括：探针卡组件，包括相对的第一面与第二面及凸出于第一面的多个探针，其中所述第二面包括中央区及环绕所述中央区的周围区，且所述多个探针对所述第二面的投影位于所述中央区；以及强化结构，配置于所述第二面，且包括立起于所述周围区且远离彼此的两支撑座及连接于所述两支撑座的弧形加固组件，其中所述弧形加固组件凸向所述中央区而抵靠于所述中央区。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司 探针卡模块

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