申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司

申请日：2017-02-01

公开（公告）日：2021-07-20

公开（公告）号：CN110291462B

主分类号：G03F7/20(20060101)

分类号：G03F7/20(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.07.20#授权;2020.02.28#实质审查的生效;2019.09.27#公开

摘要：本发明涉及一种系统100，其具有：产生辐射的辐射源106A；在系统100中引导辐射的多个光学元件110、112、114、116、118；N1个阵列210‑260，其中N1≥1，其中N1个阵列210‑260中的每一个包括至少一个致动器传感器装置311‑31N、321‑32N、331‑33N、341‑34N、351‑35N、361‑36N，其与光学元件110、112、114、116、118之一配对；驱动N1个阵列210‑260的N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460，其中N2≥2；以及驱动N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460的N3个中央驱动单元510、520，其中N3≥1。因此，防止热点并且热分布是协调且优化的。此外提供了致动器传感器装置的冗余致动可能性，所述致动可能性增加了在故障的事情中系统的可用性。

主权项：1.一种设备100，包括：辐射源106A，产生辐射；多个光学部件110、112、114、116、118，在所述设备100中引导所述辐射；N1个阵列210-260，其中N1≥1，其中所述N1个阵列210-260中的每一个包括至少一个致动器传感器装置311-31N、321-32N、331-33N、341-34N、351-35N、361-36N，其被分配给所述光学部件110、112、114、116、118之一；N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460，驱动所述N1个阵列210-260，其中N2≥2；以及N3个中央驱动单元510、520，驱动所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460，其中N3≥1，其中所述N1个阵列210-260、所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460以及所述N3个中央驱动单元510、520布置在所述设备100的真空外壳137中，其中穿过所述真空外壳137用于数据交换和或电压供应的外置接口装置800耦接到所述N3个中央驱动单元510、520的相应的内置接口装置511、521，使得所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460独立于它们的数目N2作为单个驱动单元相对于所述外置接口装置800是可见的。

全文数据：设备和操作设备的方法本发明涉及例如光刻设备或多个反射镜系统的设备，以及操作设备的方法。设备或光刻设备包括产生辐射的辐射源、在设备中引导辐射的多个光学部件、光学部件的多个致动器传感器装置、以及驱动致动器传感器装置的驱动装置。微光刻用于制造微结构部件，例如集成电路。使用具有照明系统和投射系统的光刻设备进行微光刻工艺。在这种情况下，通过投射系统将通过照明系统所照明的掩模掩模母版的像投射到涂有感光层光刻胶且在投射系统的像平面中布置的基板例如硅晶片上，以便于将掩模结构转印至基板的感光涂层。由在集成电路制造中对于更小的结构的期望的驱动，目前发展的是EUV光刻设备，该EUV光刻设备使用的光的波长在0.1nm至30nm，尤其是4nm至6nm的范围中。在这种EUV光刻设备的情况中，因为该波长的光被大多数材料高度吸收，不得不使用反射光学单元也就是说反射镜以代替前述的折射光学单元也就是说透镜元件。出于相同的原因，应当在真空中进行束成形和束投射。反射镜例如可以被固定至支撑框架力框架且配置为至少部分可操纵的或可倾斜的，以便允许相应的反射镜以最多六个自由度来移动，并且因而允许反射镜关于彼此的高准确定位，特别是在pm的范围中。这允许例如在操作光刻设备期间例如作为热影响的结果而发生的光学性质的改变得以校正。出于特别是以六个自由度移动反射镜的目的，将通过控制回路驱动的致动器分配给所述反射镜。监控相应的反射镜的倾斜角的装置配备为控制回路的部分。例如，WO2009100856A1披露了光刻设备的投射曝光设备的分面反射镜，该分面反射镜具有多个可独立位移的单独反射镜。为了确保投射曝光设备的光学质量，可位移的单独反射镜的非常精确定位是必须的。出于定位可位移的单独反射镜的目的，使用用于位移单独反射镜的致动器装置和用于确定单独反射镜的位置的传感器装置。在光刻设备的真空外壳中布置的驱动装置用于驱动致动器装置和传感器装置。所述驱动装置设计为驱动光刻设备的真空外壳中的多个致动器装置和传感器装置。然而，在光刻设备的真空外壳中的这样的中央驱动装置是大热源，其继而导致由冷却和与冷却相关联的能量消耗构成的严格局部需求。在这种情况下，应该注意的是，例如EUV光刻设备要求反射镜的高定位稳定性。因此任何类型的振动是关键的，例如这由用于冷却中央控制装置的诸如水的冷却剂的流动引起。此外，这样的振动的主动补偿需要大的控制带宽，其继而需要中央驱动装置的高计算能力。所需要的这样的高计算能力继而需要增加的能量消耗并且因此需要增加对冷却的消耗。中央驱动装置的其他缺点在于这一个中央驱动装置的故障引起系统立即故障。由于在光刻设备的真空外壳中的中央驱动装置的所需要布置，在这样的单独故障的情况下修复时间还是非常长的。针对该背景，本发明的目的是提供例如改进的光刻设备的改进设备。因此，提出一种设备，其包括产生辐射的辐射源；在设备中引导辐射的多个光学部件；N1个阵列，其中N1≥1，其中N1个阵列中的每一个包括分配到光学部件之一的至少一个致动器传感器装置；驱动N1个阵列的N2个局部驱动单元，其中N2≥2；以及驱动N2个驱动单元的N3个多个中央驱动单元，其中N3≥1。设备特别是多反射镜系统或多反射镜阵列MMA或光刻设备。通过局部驱动单元和中央驱动单元对致动器传感器装置的分布式驱动，可以分散由驱动而出现的热。因此，例如在光刻设备的真空外壳中的热点被避免，并且热分布得到协调和优化。此外，N2个局部驱动单元和N3个中央驱动单元为N1个阵列的致动器传感器装置提供冗余驱动器可能性。如果然后在驱动单元之一中发生单独的故障，则可以使用冗余驱动，使得避免了设备的故障和或缩短了在缺陷状态下的设备的停机时间。具有多个致动器传感器装置的阵列还可以被称为致动器传感器装置的组合。光学部件例如可以是反射镜特别是微反射镜，即边长小于1mm的反射镜，或者是透镜元件。光学元件特别是可位移的。反射镜或微反射镜特别是可以是多反射镜阵列MMA的部分。MMA可以包括多于100个，特别是多于1000个，特别是多于10,000个，特别是优选地多于100,000个这样的反射镜。特别是，这些反射镜可以是反射EUV辐射的反射镜。光学部件可以特别是光刻设备的束成形和照明系统的分面反射镜特别是场分面反射镜的部分。在此，光学部件特别是布置在真空室或真空外壳中。在操作光刻设备期间，所述真空室可以特别地被抽空至压强低于50Pa，特别是低于20Pa，特别是低于10Pa，特别是低于5Pa。在此，所述压强特别指示了真空室中的氢的分压。辐射源特别是EUV辐射源，该EUV辐射源的发射的所用辐射的范围在0.1nm至30nm之间，优选地在4nm到6nm之间。该辐射源可以是等离子体源，例如GDPP气体放电产生等离子体源或LPP激光产生等离子体源。其他EUV辐射源，例如基于同步加速器或自由电子激光器FEL的辐射源，也是可能的。由辐射源产生的辐射可以包括高能光子。特别地，来自辐射源的高能光子，特别是EUV光子，可以导致等离子体特别是氢等离子体的产生。替代地，氩Ar或者氦He可以用作吹扫气体。在此，例如氧O或者氮N然后可以用作混合物。在硬件中可以实现相应的单元，例如局部驱动单元或中央驱动单元。如果实现方式是在硬件中，则相应的单元可以实施为装置或装置的部分，例如作为计算机或微处理器、或者控制计算机或嵌入式系统。根据一个实施例，N2个局部驱动单元中的每一个耦接到N3个中央驱动单元中的每一个，使得N2个局部驱动单元中的每一个是可由N3个中央驱动单元中的每一个驱动的。这导致N2个局部驱动单元由N3个中央驱动单元中的每一个驱动的冗余驱动可能性，特别是其中N3≥2。根据其他实施例，N2个局部驱动单元的每一个连接到N1个阵列中的至少两个，其中2≤N2＜N1。N2个局部驱动单元中的每一个连接或耦接到N1个阵列中的至少两个导致了N1个阵列或其致动器传感器装置的冗余驱动可能性。根据其他实施例，在N1≥2的情况下，通过相应连接件将N2个局部驱动单元中的每一个连接到N1个阵列中特定的一个中的每一个致动器传感器装置。通过连接件将每个局部驱动单元连接到阵列或组合之一的每一个致动器传感器装置。这导致了冗余驱动可能性。此外，这导致了局部驱动单元到特定组合或阵列的致动器传感器装置的唯一分配。相应的连接件可以是数据连接件和或供电连接件。根据其他实施例，将N1个阵列中的每一个通过主要连接件来连接到N2个局部驱动单元中的一个，并且通过次级连接件来连接到N2个局部驱动单元中的另一个或N3个中央驱动单元中的一个，其中N1≥1。将每个阵列通过主要连接件来连接到局部驱动单元中，并且通过次级连接件来连接到其他局部驱动单元或中央驱动单元之一。这在阵列以及局部驱动单元或中央驱动单元之间创造了冗余联接。在无故障的情况下仅使用主要连接件并且仅在故障的情况下附随地使用次级连接件的实施例是可能的。然而，如下文详细解释的，在无故障的情况下主要连接件和次级连接件二者例如用于故障遮蔽的实施例也是可能的。根据其他实施例，致动器传感器装置实施为位移光学部件的致动器装置，实施为确定光学部件的位置的传感器装置，或者实施为位移光学部件并确定光学部件的位置的致动器和传感器装置。根据其他实施例，阵列是包括N4个反射镜的多反射镜阵列，其中至少一个致动器传感器装置被分配给N4个反射镜中的每一个其中N4≥2。根据其他实施例，中央驱动单元其中N3＝1、N2个局部驱动单元和N1个阵列以树结构连接。树结构特别是基于有根树，在该有根树中，中央驱动单元形成根，局部驱动单元形成内部节点并且阵列或致动器传感器装置形成树叶。有利地，树结构在中央驱动单元和局部驱动单元之间、以及在局部驱动单元和具有它们的致动器传感器装置的阵列之间产生直接连接并且因此短的等待时间。根据其他实施例，N3个中央驱动单元、N2个局部驱动单元和N1个阵列以环形结构连接。环形结构还可以被称为环或逻辑环。环形结构具有特别是关于连接的单元在此N3个中央驱动单元和N2个局部驱动单元的接线的复杂度的优点。根据其他实施例，N2个局部驱动单元联合地设计为在设备内映射N1个阵列的功能。由N2局部驱动单元联合映射的功能例如实施为对来自N2个阵列和到N2个阵列的数据的数据处理。功能还可以实施为N1个阵列的电压供应。特别是，驱动单元特别是N2个局部驱动单元变得相互同步化。作为示例，全局时钟或分层时钟用于时钟分布。还可以通过同步消息进行同步。根据其他实施例，N1个阵列、N2个局部驱动单元和N3个中央驱动单元布置在设备的真空外壳中。在这种情况下，穿过真空外壳的数据交换和或电压供应的外置接口装置耦接到N3个中央驱动单元的相应的内置接口，使得N2个局部驱动单元与它们的数目N2无关作为单个驱动单元相对于外置接口装置是可见的。借助于局部驱动单元作为单个驱动单元在外部也就是说，特别是对于外置接口装置是可见的事实，显著简化了对局部驱动单元的外部驱动。作为示例，因此可以用简单的方式增加更多局部驱动单元。然而，还可以拿走驱动单元。在这两种情况下，经由外置接口装置的可外部驱动性不会由于作为单个驱动单元的可见性而改变。根据其他实施例，N2个局部驱动单元包括激活的局部驱动单元的第一子集以及未激活的局部驱动单元的第二子集，其在故障情况下可切换到激活状态下。在这种情况下，N3个中央驱动单元优选地包括激活的中央驱动单元的第一子集以及未激活的中央驱动单元的第二子集，其在故障情况下可切换到激活状态下。这导致了在无故障的情况下和故障的情况下用于阵列的驱动的明确分配。特别是，第一子集和第二子集例如经由外置接口装置是可配置的。作为示例，因此可以在第一子集中设定激活的局部驱动单元的数目。还可以设定局部驱动单元经由外置接口装置到第一子集的分配。同样的情况对应地应用于第二子集的可配置性。根据其他实施例，N2个局部驱动单元中的至少一个子集包括激活资源或冗余资源二者，其在无故障的情况下是未激活的并且在故障情况下可切换到激活状态下。在这种情况下，N3个中央驱动单元中的至少一个子集包括激活源或冗余资源二者，其在无故障的情况下是未激活的并且在故障情况下可切换到激活状态下。在此资源意味着特别是运算资源、储存资源和或例如电流源的能量提供资源。根据其他实施例，N2个局部驱动单元中的至少一个子集在故障情况下是可重新配置的。根据其他实施例，N3个中央驱动单元中的至少一个子集在故障情况下是可重新配置的。在该情况下，重新配置性特别是意味着局部驱动单元的现存软件版本是重新参数化的。这例如包含改变局部驱动单元的软件的特定参数。特别是，外置接口装置可以用于该改变或重新配置，经由该外置接口装置，设备的使用者可以进行重新配置。特别地，重新配置可以自动地实行，例如在自动故障检测的过程中。替代地，可以自动地实行故障检测，并且通过使用者输入来实现重新配置。作为其他替代例，故障检测可以通过使用者交互来实行，并且然后下游的重新配置可以通过其他使用者的交互来实行。根据其他实施例，N2个局部驱动单元中的至少一个子集在故障情况下是可重新编程的。根据其他实施例，N3个中央驱动单元中的至少一个子集在故障情况下是可重新编程的。在该情况下，可重新编程性意味着驱动单元的软件版本被更换或部分地改变。因此，驱动单元的现存软件被新软件所替换。特别是通过中央接口装置可将新软件安装到相应的驱动单元上。特别地，重新编程可以自动地实行，例如在故障检测的过程中。替代地，可以自动地实行故障检测，并且通过使用者输入来实现重新编程。作为其他替代例，故障检测可以通过使用者交互来实行，并且然后下游的重新编程可以通过其他使用者的交互来实现。根据其他实施例，N2个局部驱动单元包括激活的局部驱动单元的第一子集以及甚至在无故障情况下被激活的冗余局部驱动单元的第二子集，使得激活的局部驱动单元和冗余局部驱动单元设计用于故障遮蔽。故障遮蔽例如可以包含通过多数决定使用遮蔽。此外，故障遮蔽可以有利地包含错误校正代码或总和检查的使用。根据其他实施例，光刻设备是EUV光刻设备。根据其他实施例，辐射源是EUV辐射源，该EUV辐射源设计为产生具有预先确定的重复频率的EUV辐射。根据其他实施例，光学部件是反射镜。根据其他实施例，光学部件是光刻设备的束成形和照明系统的场分面反射镜的单独反射镜。根据其他实施例，光学部件是光刻设备的束成形和照明系统的光瞳分面反射镜的单独反射镜。单独反射镜通过具有多个电磁地、特别是静电地操作的致动器的致动器装置在各种情况下是可位移的，特别是可定位的。可以在批量过程中制造致动器作为微机电系统MEMS。关于细节，在该方面，参考文献WO2010049706A1，其内容并入本文。关于场分面反射镜的实施例以及关于光瞳分面反射镜的实施例，参考DE102013209442A1，其内容并入本文。附加地提出了操作例如为光刻设备的设备的方法。设备包括产生辐射的辐射源、在设备中引导辐射的多个光学部件、以及N1个阵列、其中N1≥1，其中N1个阵列中的每一个包括分配给光学部件之一的至少一个致动器传感器装置。该方法包括以下步骤：通过N2个局部驱动单元其中N2≥2来驱动N1个阵列；以及通过N3个中央驱动单元其中N3≥1来驱动N2个局部驱动单元。对于提出的设备所描述的实施例和特征对应地可适用于提出的方法。此外，提出了计算机程序产品，其在程序控制的装置上使得操作如上所解释的方法的设备。计算机程序产品，例如计算机程序构件可以提供或供应为例如存储介质，如存储卡、USB记忆棒、CD-ROM、DVD或可从网络中的服务器下载的文件的形式。作为示例，在无线的通信网络中，这可以通过具有计算机程序产品或计算机程序构件的合适的文件的传输来实现。本发明其他可能的实现方式还包括关于示例性实施例如上文或下文所描述的特征或实施例的没有明确提到的组合。在这种情况下，本领域技术人员还使单独方面相加，作为对本发明的相应的基本形式的改进或补充。本发明的其他有利的配置和方面是从属权利要求的主题，并且也是在下文中描述的本发明示例性实施例的主题。下文基于参考所附附图的优选实施例更详细地解释本发明。图1示出了EUV光刻设备的示意性视图；图2示出了光刻设备的驱动装置的第一实施例的示意图；图3示出了光刻设备的驱动装置的第二实施例的示意图；图4示出了根据图3的光刻设备的驱动装置的第二实施例在故障情况下的示意图；以及图5示出了操作设备的方法的一个实施例。除非另外指示，附图中已经将相同的附图标记提供给相同的元件或者具有相同功能的元件。也应注意的是在附图中的图示并不一定按照比例。图1示出了作为示例性设备的EUV光刻设备100的示意图，该光刻设备100包括束成形和照明系统102以及投射系统104。在此，EUV表示“极紫外”，并且表示在0.1和30nm之间的操作光的波长。束成形和照明系统102以及投射系统104分别设置在真空外壳137中，每个真空外壳使用抽真空装置被抽真空，该抽真空装置未详细示出。真空外壳由未详细示出的机械室围绕。电控制器等等也可以配备在该机械室中。EUV光刻设备100包括EUV辐射源或EUV光源106A。等离子体源其发射的辐射108A在EUV范围极紫外范围中，就是说例如在0.1nm至30nm的波长范围中例如可以配备为EUV光源106A。在束成形和照明系统102中，聚焦EUV辐射108A，并且从EUV辐射108A中过滤出期望的操作波长。由EUV光源106A产生的EUV辐射108A具有穿过空气相对低的透射率，因此在束成形和照明系统102中和在投射系统104中的束引导空间被抽真空。图1所描绘的束成形和照明系统102具有五个反射镜110、112、114、116、118。在通过束成形和照明系统102后，EUV辐射108A被指引到光掩模掩模母版120上。光掩模120同样形成为反射式光学元件并且可以布置在系统102、104的外面。另外，通过反射镜136可以将EUV辐射108A指引到光掩模120上。光掩模120具有通过投射系统104以缩小的方式成像到晶片122等上的结构。投射系统104具有六个反射镜M1-M6，用于将光掩模120成像到晶片122上。在这种情况下，投射系统104的单独反射镜M1-M6可以关于投射系统104的光轴124对称地布置。应当注意的是，EUV光刻设备100的反射镜的数目不限于表示的数目。还可以提供更多或更少的反射镜。此外，反射镜M1-M6通常在其前侧弯曲，用于束成形。此外，图1中的EUV光刻设备100包括设计为驱动光学部件110、112、114、116、118、M1-M6的驱动装置10。驱动装置可以布置在束成形和照明系统102中和或在投射系统104中。特别地，驱动装置10包括N1个阵列210-260、N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460和N3个中央驱动单元510、520。下文参考图2至4详细地解释关于驱动装置10的细节。在这种情况下，图2示出了光刻设备100的驱动装置10的第一实施例的示意图，并且图3示出了光刻设备100的驱动装置10的第二实施例的示意图。图2和3中的驱动装置10的两个实施例共同具有如下性质：驱动装置10包括N1个阵列210-260，其中N1≥1，其中N1个阵列210-260中的每一个包括至少一个致动器传感器装置311-31N、321-32N、331-33N、341-34N、351-35N、361-36N，其被分配给光学部件110、112、114、116、118之一。致动器传感器装置311-31N、321-32N、331-33N、341-34N、351-35N、361-36N例如是位移光学部件110、112、114、116、118的致动器装置，确定光学部件110、112、114、116、118的位置的传感器装置，或者位移光学部件110、112、114、116、118并确定光学部件110、112、114、116、118的位置的致动器和传感器装置。此外，驱动装置10的两个实施例中的每一个包括驱动N1个阵列210-260的N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460，其中N2≥2。此外，驱动装置10的实施例中的每一个包括驱动N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460的N3个中央驱动单元510、520，其中N3≥1。在这种情况下，特别地，N1、N2、N3和N4是自然数。N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460中的每一个耦接到N3个中央驱动单元510、520中的每一个，使得N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460中的每一个是可由N3个中央驱动单元510、520中的每一个驱动的。此外，将N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460中的每一个连接到N1个阵列210-260中的至少两个，其中2≤N2＜N1。下文讨论图2和3中驱动装置10的两个实施例的不同细节。根据图2，驱动装置10包括一个中央驱动单元510N3＝1，六个局部驱动单元410-460N2＝6，以及6×N个致动器传感器装置311-31N、321-32N、331-33N、341-34N、351-35N、361-36N。在广义上没有限制的情况下，在图2的实施例中，N2＝6并且N1＝6×N。图2的中央驱动单元510，六个局部驱动单元410、420、430、440、450、460，以及6×N个阵列210-260布置在树结构B中。图2的树结构B基于有根树，该有根树中，中央驱动单元510形成根，局部驱动单元410-460形成内部节点并且阵列210-260形成树叶。图2的N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460中的每一个通过对应的连接件611、61N；661、66N连接到N1个阵列210-260中的特定一个中的每个致动器传感器装置311-31N、321-32N、331-33N、341-34N、351-35N、361-36N。就此而言，作为示例，局部驱动单元410通过连接件611-61N连接到第一阵列210的所有致动器传感器装置311-31N。图3示出了光刻设备100的驱动装置10的第二实施例的示意图。在图3的驱动装置10的第二实施例中，提供两个中央驱动单元510、520N3＝2，六个局部驱动单元410-460N2＝6，六个阵列210-260N1＝6，以及N4个致动器传感器装置311-31N、321-32N、331-33N、341-34N、351-35N、361-36NN4＝N1×N。在图3的示例中，阵列210-260中的每一个包括N个致动器传感器装置311-31N、321-32N、331-33N、341-34N、351-35N、361-36N。在广义上不受限制的情况下，对于所有阵列210-260，N可以是相同的或不同的。将图3中的N3个中央驱动单元510、520和N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460以环形结构R彼此连接。N1个阵列210-260中的每一个通过主要连接件610-660连接到N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460之一，并且通过次级连接件710-760连接到N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460中的另一个或N3个中央驱动单元510、520之一。这在阵列210-260和局部驱动单元410、420、430、440、450、460或中央驱动单元510、520之间创建了冗余联接。在无故障的情况下仅使用主要连接件610-660并且仅在故障的情况下附随地使用次级连接件710-760的实施例是可能的。然而，在无故障的情况下使用主要连接件610-660和次级连接件710-760二者的实施例也是可能的。在该方面的细节从如下是显而易见的：作为示例，N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460可以包括激活的局部驱动单元的第一子集以及未激活的局部驱动单元的第二子集，其在故障情况下可切换到激活状态下。在这种情况下，N3个中央驱动单元510、520还可以包括激活的中央驱动单元的第一子集以及未激活的中央驱动单元的第二子集，其在故障情况下可切换到激活状态下。替代地或附加地，N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460中的至少一个子集可以包括激活资源或冗余资源二者，该冗余资源在无故障的情况下是未激活的并且在故障情况下可切换到激活状态下。在这种情况下，优选地，N3个中央驱动单元510、520中的至少一个子集也可以包括激活资源或冗余资源二者，其在无故障的情况下是未激活的并且在故障情况下可切换到激活状态下。替代地或附加地，N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460中的至少一个子集可以在故障的情况下是可重新配置的或可重新编程的。对应地，N3个中央驱动单元510、520中的至少一个子集可以在故障的情况下是可重新配置或可重新编程的。此外，N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460可以包括激活的局部驱动单元的第一子集以及甚至在无故障情况下被激活的冗余局部驱动单元的第二子集，使得激活的局部驱动单元和冗余局部驱动单元设计用于故障遮蔽。特别地，N1个阵列210-260，N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460以及N3个中央驱动单元510、520布置在设备110的真空外壳137中。此外，中央驱动单元510、520优选地各包括内置接口装置511、521。内置接口装置511、521穿过真空外壳137耦接到外置接口装置800以用于数据交换和或电压供应，使得N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460作为单个驱动单元相对于外置接口装置是可见的。出于清楚的原因，图3中仅由从内置接口装置511、521朝向外部的数据通信箭头来指示外置接口装置800。借助于N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460作为单个驱动单元相对于外置接口装置800是可见的的事实，显著简化了对局部驱动单元410、420、430、440、450、460的外部驱动。因此还可以用简单的方式增加或拿走更多个局部驱动单元410、420、430、440、450、460。因此，经由外置接口装置800的外部可控制性不会由于作为单个驱动单元的可见性而改变。图4示出了根据图3的驱动装置10的第二实施例在故障情况下的示意图。在图4的示例中，假设局部驱动单元430已经故障。在该方面，参考标记X1示出了缺陷的局部驱动单元430的这个主要故障。由于局部驱动单元430的初期故障，阵列230可以不再经由其主要连接件630来驱动。通过具有附图标记X2的交叉来标识该经由主要连接件630的不存在的驱动。为了补偿驱动单元430的故障，驱动单元420采取经由次级连接件730对阵列230的驱动。因此，阵列220可以不再经由其主要连接件620来驱动。进而通过具有附图标记X2的交叉来标识该经由主要连接件620的不存在的驱动。根据相同的原理，驱动单元410承担经由次级连接件720对阵列220的驱动，并且驱动单元510承担经由次级连接件710对阵列210的驱动。驱动单元510可以除了它的其他任务以外承担对阵列210的驱动，因为它具有在无故障操作情况中所需要的附加的资源。承担的驱动单元的链可以扩展到多于十个驱动单元，特别是多于二十个驱动单元。图5示出了操作设备100的方法的一个实施例。设备100例如是如图1所图示的EUV光刻设备。设备100包括产生辐射的辐射源106A，在设备100中引导辐射的多个光学部件110、112、114、116、118，以及N1个阵列210-260，其中N1≥1，其中N1个阵列210-260中的每一个包括至少一个致动器传感器装置311-31N、321-32N、331-33N、341-34N、351-35N、361-36N，其被分配给光学部件110、112、114、116、118之一。图5的方法包括如下步骤S1和S2：步骤S1包含通过N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460其中N2≥2驱动N1个阵列210-260。步骤S2包含通过N3个中央驱动单元510、520其中N3≥1驱动N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460。虽然基于示例性实施例已经描述了本发明，但是仍可以通过多样的方式来修改本发明。附图标记列表10驱动装置100光刻设备102束成形和照明系统104投射系统106A辐射源、EUV光源108AEUV辐射110反射镜112反射镜114反射镜116反射镜118反射镜120光掩模122晶片124投射系统的光轴136反射镜137真空外壳210-260阵列311-31N致动器传感器装置321-32N致动器传感器装置331-33N致动器传感器装置341-34N致动器传感器装置351-35N致动器传感器装置361-36N致动器传感器装置410-440局部驱动单元510、520中央驱动单元511内置接口装置521内置接口装置610-660主要连接件710-760次级连接件800外置接口装置B树结构M1-M6反射镜R环形结构S1、S2方法步骤X1主要故障X2次级故障

权利要求：1.一种设备100，包括：辐射源106A，产生辐射；多个光学部件110、112、114、116、118，在所述设备100中引导所述辐射；N1个阵列210-260，其中N1≥1，其中所述N1个阵列210-260中的每一个包括至少一个致动器传感器装置311-31N、321-32N、331-33N、341-34N、351-35N、361-36N，其被分配给所述光学部件110、112、114、116、118之一；N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460，驱动所述N1个阵列210-260，其中N2≥2；以及N3个中央驱动单元510、520，驱动所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460，其中N3≥1，其中所述N1个阵列210-260、所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460以及所述N3个中央驱动单元510、520布置在所述设备100的真空外壳137中，其中穿过所述真空外壳137用于数据交换和或电压供应的外置接口装置800耦接到所述N3个中央驱动单元510、520的相应的内置接口装置511、521，使得所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460独立于它们的数目N2作为单个驱动单元相对于所述外置接口装置800是可见的。2.根据权利要求1所述的设备，其中所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460中的每一个耦接到所述N3个中央驱动单元510、520中的每一个，使得所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460中的每一个是可由所述N3个中央驱动单元510、520中的每一个驱动的。3.根据权利要求1或2所述的设备，其中所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460中的每一个连接到所述N1个阵列210-260中的至少两个，其中2≤N2≤N1。4.根据权利要求1至3中任一项所述的设备，其中，在N1≥2的情况下，所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460中的每一个通过对应的连接件611、61N；661、66N连接到所述N1个阵列210-260中特定的一个中的每一个致动器传感器装置311-31N、321-32N、331-33N、341-34N、351-35N、361-36N。5.根据权利要求1或2所述的设备，其中所述N1个阵列210-260中的每一个通过主要连接件610-660连接到所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460之一，并且通过次级连接件710-760连接到所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460中的另一个或所述N3个中央驱动单元510、520之一，其中N1≥1。6.根据权利要求1至5中任一项所述的设备，其中所述致动器传感器装置311-31N、321-32N、331-33N、341-34N、351-35N、361-36N实施为位移所述光学部件110、112、114、116、118的致动器装置，确定所述光学部件110、112、114、116、118的位置的传感器装置，或者位移所述光学部件110、112、114、116、118并确定所述光学部件110、112、114、116、118的位置的致动器和传感器装置。7.根据权利要求1至6中任一项所述的设备，其中所述设备100实施为多反射镜系统或光刻设备，特别是EUV光刻设备。8.根据权利要求1至7中任一项所述的设备，其中，在N3＝1的情况下，所述中央驱动单元510、所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460以及所述N1个阵列210-260以树结构B连接。9.根据权利要求1至8中任一项所述的设备，其中所述N3个中央驱动单元510、520和所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460以环形结构R连接。10.根据权利要求1至9中任一项所述的设备，其中所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460包括激活的局部驱动单元的第一子集和未激活的局部驱动单元的第二子集，其在故障的情况下可切换到激活的状态下，其中所述N3个中央驱动单元510、520包括激活的中央驱动单元的第一子集和未激活的中央驱动单元的第二子集，其在故障的情况下可切换到激活的状态下。11.根据权利要求1至10中任一项所述的设备，其中所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460中的至少一个子集包括激活资源和冗余资源二者，所述冗余资源在无故障的情况下是未激活的并在故障的情况下可切换到激活的状态下，其中所述N3个中央驱动单元510、520中的至少一个子集包括激活资源和冗余资源二者，所述冗余资源在无故障的情况下是未激活的并在故障的情况下可切换到激活的状态下。12.根据权利要求1至11中任一项所述的设备，其中所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460中的至少一个子集在故障的情况下是可重新配置或可重新编程的，并且其中所述N3个中央驱动单元510、520中的至少一个子集在故障的情况下是可重新配置或可重新编程的。13.根据权利要求1至12中任一项所述的设备，其中所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460包括激活的局部驱动单元的第一子集以及甚至在无故障情况下被激活的冗余局部驱动单元的第二子集，使得激活的局部驱动单元和冗余局部驱动单元设计用于故障遮蔽。14.一种操作设备100的方法，所述设备100包括产生辐射的辐射源106A，在所述设备100中引导辐射的多个光学部件110、112、114、116、118，以及N1个阵列210-260，其中N1≥1，其中所述N1个阵列210-260中的每一个包括至少一个致动器传感器装置311-31N、321-32N、331-33N、341-34N、351-35N、361-36N，其被分配给所述光学部件110、112、114、116、118之一，所述方法包括：通过N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460来驱动S1所述N1个多个阵列210-260，其中N2≥2；以及通过N3个中央驱动单元510、520来驱动所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460，其中N3≥1，其中所述N1个阵列210-260、所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460以及所述N3个中央驱动单元510、520布置在所述设备100的真空外壳137中，其中穿过所述真空外壳137用于数据交换和或电压供应的外置接口装置800耦接到所述N3个中央驱动单元510、520的相应的内置接口装置511、521，使得所述N2个局部驱动单元410、420、430、440、450、460独立于它们的数目N2作为单个驱动单元相对于所述外置接口装置800是可见的。

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