申请/专利权人：睿馨(珠海)投资发展有限公司

申请日：2021-04-27

公开（公告）日：2021-07-23

公开（公告）号：CN113151788A

主分类号：C23C14/24(20060101)

分类号：C23C14/24(20060101);C23C14/54(20060101);C23C14/56(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2023.11.28#发明专利申请公布后的驳回;2021.08.10#实质审查的生效;2021.07.23#公开

摘要：本发明涉及一种遮挡板、蒸镀设备及其蒸镀方法，其中，遮挡板包括：一圆形遮挡板本体，在所述遮挡板本体上包括至少一个开口区域，所述开口区域允许蒸发分子穿过遮挡板本体；当所述开口区域为多个时，所述开口区域均匀分布在所述遮挡板本体上。有益效果是：通过具有特定开口的可旋转圆形遮板，在蒸镀过程中有效阻挡了大部分蒸发材料，只让少量的蒸发材料通过所述遮板上的开口区域到达基板。在工艺中可大幅提高掺杂材料的蒸发速率，同时将所述掺杂材料的掺杂率维持在极小的目标值，实现了掺杂材料以极小速率沉积的精确控制。

主权项：1.一种遮挡板，其特征在于，包括：一圆形遮挡板本体，在所述遮挡板本体上包括至少一个开口区域，所述开口区域允许蒸发分子穿过遮挡板本体；当所述开口区域为多个时，所述开口区域均匀分布在所述遮挡板本体上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 睿馨(珠海)投资发展有限公司 一种遮挡板、蒸镀设备及其蒸镀方法

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