申请/专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司

申请日：2021-05-08

公开（公告）日：2021-07-23

公开（公告）号：CN113148657A

主分类号：B65G49/06(20060101)

分类号：B65G49/06(20060101);B65G39/04(20060101);B65G41/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.07.04#授权;2021.08.10#实质审查的生效;2021.07.23#公开

摘要：本申请提供一种基板传送装置，包括：机台、固定构件和导向滚轮；固定构件包括轴承座、传动轴和第一弹性结构；导向滚轮包括滚轴、滚轮和第二弹性结构；其中，传动轴通过所述第一弹性结构与轴承座连接，传动轴通过第一弹性结构可以在传动轴连接的方向上伸缩，滚轮通过第二弹性结构套在所述滚轴上。本申请通过增加第一弹性结构和第二弹性结构，减轻了基板在传送时，基板对基板传送装置的作用力，同时缓解了基板传送装置在传送基板时，内部产生较大的相互作用力导致基板使用寿命减少的问题。

主权项：1.一种基板传送装置，其特征在于，包括：机台；固定构件，与所述机台相连，包括轴承座、传动轴和第一弹性结构，所述传动轴通过所述第一弹性结构与所述轴承座相连，所述传动轴通过所述第一弹性结构可以在所述传动轴连接的方向上伸缩；导向滚轮，包括滚轴、滚轮和第二弹性结构，所述滚轴与所述传动轴相连，所述滚轮通过所述第二弹性结构套在所述滚轴上，所述滚轮用于基板传送，所述第二弹性结构用于减轻所述滚轮对所述滚轴的作用力。

全文数据：

权利要求：

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