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【发明公布】玻璃微粒沉积体制造用的原料供给装置及原料供给方法_住友电气工业株式会社_201980077428.7 

申请/专利权人:住友电气工业株式会社

申请日:2019-12-04

公开(公告)日:2021-07-23

公开(公告)号:CN113165932A

主分类号:C03B8/04(20060101)

分类号:C03B8/04(20060101);C03B20/00(20060101)

优先权:["20181204 JP 2018-227116"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.07.25#授权;2021.08.10#实质审查的生效;2021.07.23#公开

摘要:一种原料供给装置,其将制造玻璃微粒沉积体的原料向燃烧器供给,该原料供给装置具有:原料罐;液体原料配管,其一端与原料罐连接;液体原料压送泵,其从原料罐经由液体原料配管对液体原料即硅氧烷进行压送;压力调整阀,其设置于液体原料配管中的液体原料压送泵的次级侧;液体用MFC,其与液体原料配管的另一端连接;以及汽化装置,其与液体用MFC的次级侧连接,将液体原料汽化,压力调整阀的次级侧的配管与比初级侧的压力低的压力的部位连接。

主权项:1.一种原料供给装置,其将制造玻璃微粒沉积体的原料向燃烧器供给,该原料供给装置具有:液体原料罐;液体原料配管,其一端与所述液体原料罐连接;液体原料压送泵,其从所述液体原料罐经由所述液体原料配管将液体原料压送至液体用MFC;压力调整阀,其设置于所述液体原料配管中的所述液体原料压送泵的次级侧;所述液体用MFC,其设置于所述液体原料压送泵的次级侧,与所述液体原料配管的另一端连接;以及汽化装置,其与所述液体用MFC的次级侧连接,将所述液体原料汽化,所述液体原料为硅氧烷,所述压力调整阀的次级侧的配管设为与比初级侧的压力低的压力的部位连接的构成。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 住友电气工业株式会社 玻璃微粒沉积体制造用的原料供给装置及原料供给方法

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