申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2019-11-13

公开（公告）日：2021-07-23

公开（公告）号：CN113169063A

主分类号：H01L21/304(20060101)

分类号：H01L21/304(20060101);H01L21/306(20060101)

优先权：["20181130 JP 2018-224702"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.08.10#实质审查的生效;2021.07.23#公开

摘要：本发明的目的在于，在基板处理装置中容易地进行对基板实施的处理的定制。为了达成该目的，基板处理装置具备两个以上药液处理部、存储部以及控制部。各药液处理部包括处理槽和供液部。处理槽利用处理液对基板实施处理。供液部向处理槽供给处理液。存储部针对各药液处理部存储基板的每单位处理量的处理液的供给量的数值信息。控制部具有获取部、识别部、算出部以及供给控制部。算出部基于数值信息中的与由识别部识别出的一个药液处理部对应的基板的每单位处理量的处理液的供给量的数值、以及由获取部获取的处理量信息，算出向一个药液处理部的处理槽供给的处理液的供给量的数值。供给控制部根据由算出部算出的数值，利用供液部将处理液供给至处理槽。

主权项：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备：两个以上的药液处理部，它们分别具有利用贮存的处理液对基板实施处理的处理槽、以及向该处理槽供给处理液的供液部；存储部，其针对各所述药液处理部存储基板的每单位处理量的处理液的供给量所涉及的数值信息；以及控制部，该控制部具有：获取部，其获取成为处理对象的基板的处理量所涉及的处理量信息；识别部，其识别所述两个以上药液处理部中的为了对基板实施处理而使用的一个药液处理部；算出部，其基于所述数值信息中的与由所述识别部识别出的所述一个药液处理部对应的基板的每单位处理量的处理液的供给量所涉及的数值、以及由所述获取部获取到的所述处理量信息，算出向所述一个药液处理部的处理槽供给的处理液的供给量所涉及的数值；以及供给控制部，其按照由所述算出部算出的数值，在所述一个药液处理部中通过所述供液部将处理液供给至所述处理槽。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置、以及基板处理方法

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