申请/专利权人:日本碍子株式会社
申请日:2019-12-23
公开(公告)日:2021-07-23
公开(公告)号:CN113170535A
主分类号:H05B3/02(20060101)
分类号:H05B3/02(20060101);H05B3/10(20060101)
优先权:["20190125 JP 2019-011301"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.07.07#授权;2021.08.10#实质审查的生效;2021.07.23#公开
摘要:陶瓷加热器10具备陶瓷板20。陶瓷板20具有晶片载置面,且具备圆形的内周侧区域Z1和环状的外周侧区域Z2外周侧第一~第三区域Z21~Z23。在内周侧区域Z1设置有二维形状的内周侧电阻发热体22。在外周侧第一~第三区域Z21~Z23分别设置有线圈状的外周侧第一~第三电阻发热体24、26、28。在内周侧区域Z1配置有内周侧电阻发热体22的端子和外周侧第一~第三电阻发热体24、26、28的端子。
主权项:1.一种陶瓷板加热器,具备:陶瓷板,其具有晶片载置面,且具备圆形的内周侧区域和环状的外周侧区域;设置于所述内周侧区域的二维形状的内周侧电阻发热体;以及设置于所述外周侧区域的线圈状的外周侧电阻发热体,在所述内周侧区域配置有所述内周侧电阻发热体的端子和所述外周侧电阻发热体的端子。
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