申请/专利权人:株式会社斯库林集团
申请日:2019-12-06
公开(公告)日:2021-07-23
公开(公告)号:CN113169065A
主分类号:H01L21/306(20060101)
分类号:H01L21/306(20060101)
优先权:["20181217 JP 2018-235659"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2021.08.10#实质审查的生效;2021.07.23#公开
摘要:具备:内槽341;设于内槽341的外周部的外槽343;将内槽341和外槽343连接的第1配管50;对从第1配管50通过的磷酸水溶液进行加热的加热器52;设在第1配管50中的加热器52与内槽341之间的开闭阀513;将第1配管50中的加热器52和内槽341之间的配管部与外槽343连接的第2配管60;以及设在第2配管60的开闭阀61。
主权项:1.一种基板处理装置,其对基板进行处理,所述基板处理装置的特征在于,具备:在上部具有第1开口的有底筒状的内槽;设于所述内槽的外周部、且在上部具有第2开口的有底筒状的外槽;将所述内槽的内部与所述外槽的内部连接的第1配管;设于所述第1配管、且从所述外槽朝向所述内槽供送处理液的泵;设于所述第1配管、且对从所述第1配管通过的所述处理液进行加热的加热器;将所述第1配管中的所述加热器与所述内槽之间的配管部以及所述外槽连接的第2配管;以及设于所述第2配管、且改变从所述第2配管通过的所述处理液的流量的第2配管用阀。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 株式会社斯库林集团 基板处理装置以及基板处理方法
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