申请/专利权人：三星钻石工业股份有限公司

申请日：2020-12-30

公开（公告）日：2021-07-23

公开（公告）号：CN113146871A

主分类号：B28D7/04(20060101)

分类号：B28D7/04(20060101);C03B33/02(20060101)

优先权：["20200123 JP 2020-009193"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.30#实质审查的生效;2021.07.23#公开

摘要：本发明涉及基板把持机构及基板加工装置。提供与厚度无关而能够适当把持基板的把持机构。基板端部的把持机构具备：往复移动式的气缸，在内部具备活塞并通过压缩空气的送入和送出而使活塞移动；把持部，在固定配置的上爪部与能够围绕规定的转动中心转动地设置的下爪部之间把持基板，下爪部经由杆与活塞连结，随着压缩空气被送入气缸内而转动，从而产生从下爪部朝向上爪部的作用力，以该作用力把持基板，在将压缩空气被送入气缸内且不把持基板的状态设为初始状态时，在上爪部和下爪部中一方的把持基板的部分设置有台阶，该台阶由在初始状态下与上爪部和下爪部中的另一方抵接的第一部分及在初始状态下与上爪部和下爪部中的另一方分离的第二部分构成。

主权项：1.一种基板把持机构，把持基板的端部，所述基板把持机构其特征在于，具备：往复移动式的气缸，在所述气缸的内部具备活塞，通过压缩空气被送入到所述气缸和从所述气缸送出压缩空气而使所述活塞移动；以及把持部，在固定配置的上爪部与下爪部之间把持基板，所述下爪部以能够围绕规定的转动中心转动的方式而设置，所述下爪部经由杆与所述活塞连结，随着压缩空气被送入到所述气缸内，所述下爪部围绕所述转动中心转动，从而产生从所述下爪部朝向所述上爪部的作用力，利用该作用力在所述上爪部与所述下爪部之间把持所述基板，在将压缩空气被送入到所述气缸内且不把持所述基板的状态设为初始状态时，在所述上爪部和所述下爪部中的一方的把持所述基板的部分设置有台阶，所述台阶由以下部分构成：第一部分，在所述初始状态下与所述上爪部和所述下爪部中的另一方抵接；以及第二部分，在所述初始状态下与所述上爪部和所述下爪部中的另一方分离。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星钻石工业股份有限公司 基板把持机构及基板加工装置

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