申请/专利权人:TCL华星光电技术有限公司
申请日:2021-04-09
公开(公告)日:2021-07-23
公开(公告)号:CN113156673A
主分类号:G02F1/13(20060101)
分类号:G02F1/13(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.02.28#授权;2021.08.10#实质审查的生效;2021.07.23#公开
摘要:本发明公开了一种配向检测装置及其检测方法,其包括加热模组以及检测模组,加热膜组包括加热腔以及连接于加热腔的供热机构,以对加热腔加热,使得加热腔保持在预设温度范围内;检测模组设置于加热腔内,检测模组包括载台以及设置于载台上的检测机构,其中,载台用于承载待测基板,检测机构用于检测在预设温度范围内的待测基板配向的电压序列;本发明提供的配向检测装置测试得出的电压序列满足待测基板配向的要求,提高了待测基板配向的质量和良品率。
主权项:1.一种配向检测装置,其特征在于,包括:加热模组,包括加热腔,以及连接于所述加热腔的供热机构,以对所述加热腔加热,使得所述加热腔保持在预设温度范围内;以及检测模组,设置于所述加热腔内,所述检测模组包括载台以及设置于所述载台上的检测机构,其中,所述载台用于承载待测基板,所述检测机构用于检测在所述预设温度范围内的所述待测基板配向的电压序列。
全文数据:
权利要求:
百度查询: TCL华星光电技术有限公司 配向检测装置及其检测方法
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