申请/专利权人：山西光兴光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司;东旭科技集团有限公司

申请日：2020-12-04

公开（公告）日：2021-07-23

公开（公告）号：CN213778977U

主分类号：G01B21/32(20060101)

分类号：G01B21/32(20060101);G02F1/13(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.07.23#授权

摘要：本实用新型涉及玻璃基板的测试设备技术领域，特别涉及一种载台和测试平台。所述载台1具有工作面2和抽气结构3，所述工作面2用于承载待测物并且能够与所述待测物共同形成容纳有空气的空气容腔，所述抽气结构3设置为自所述工作面2向外延伸以连通所述空气容腔与外界，以使得所述空气容腔内的空气能够经所述抽气结构3抽走。所述载台通过设置抽气结构，能够将载台的工作面和待测物例如，液晶玻璃基板等之间共同形成的空气容腔与外界连通，便于将空气容腔内的空气顺利排出，从而有利于载台精准测量待测物的翘曲。

主权项：1.一种载台，其特征在于，所述载台1具有工作面2和抽气结构3，所述工作面2用于承载待测物并且能够与所述待测物共同形成容纳有空气的空气容腔，所述抽气结构3设置为自所述工作面2向外延伸以连通所述空气容腔与外界，以使得所述空气容腔内的空气能够经所述抽气结构3抽走。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山西光兴光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司;东旭科技集团有限公司 载台和测试平台

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