申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2021-03-10

公开（公告）日：2021-09-17

公开（公告）号：CN113406471A

主分类号：G01R31/28(20060101)

分类号：G01R31/28(20060101)

优先权：["20200317 JP 2020-046016"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.10.08#实质审查的生效;2021.09.17#公开

摘要：本发明提供载置台、检查装置以及载置台的翘曲的抑制方法。抑制将由热膨胀率互不相同的材料形成的构件接合而成的载置台的翘曲。载置台供基板载置，包括：顶板部，在其表面载置基板；光照射机构，其具有多个发光元件，以与载置于顶板部的基板相对的方式配置，利用来自发光元件的光加热基板；以及流路形成构件，其以介于顶板部与光照射机构之间的方式与顶板部的背面接合，在其与顶板部之间形成供能使来自发光元件的光透过的制冷剂流动的制冷剂流路，流路形成构件能使来自发光元件的光透过，顶板部和流路形成构件由热膨胀率互不相同的材料形成，载置台还包括利用能透光的物质或能被流路形成构件吸收的波长的光调节流路形成构件的温度的温度调节部。

主权项：1.一种载置台，其供基板载置，其中，该载置台包括：顶板部，在其表面载置基板；光照射机构，其具有多个发光元件，以与载置于所述顶板部的基板相对的方式配置，利用来自所述发光元件的光加热基板；以及流路形成构件，其以介于所述顶板部与所述光照射机构之间的方式与所述顶板部的背面接合，在其与所述顶板部之间形成供能够使来自所述发光元件的光透过的制冷剂流动的制冷剂流路，该流路形成构件能够使来自所述发光元件的光透过，所述顶板部和所述流路形成构件由热膨胀率互不相同的材料形成，该载置台还包括温度调节部，该温度调节部利用能够透光的物质或能被所述流路形成构件吸收的波长的光对所述流路形成构件进行温度调节。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 载置台、检查装置以及载置台的翘曲的抑制方法

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