申请/专利权人：索尼集团公司

申请日：2020-02-04

公开（公告）日：2021-09-21

公开（公告）号：CN113423529A

主分类号：B23K26/064(20140101)

分类号：B23K26/064(20140101);H01S3/00(20060101);H01S3/0941(20060101);H01S3/113(20060101);H01S5/022(20210101);H01S5/183(20060101);H01S5/42(20060101);G02F1/37(20060101)

优先权：["20190213 JP 2019-023588"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.02.25#实质审查的生效;2021.09.21#公开

摘要：[问题]为了提供可以紧凑的激光加工机、加工方法和激光光源。[解决手段]该激光加工机设置有激光光源和光学系统。激光光源包括：发光体，包括基板和底部发射型垂直共振腔面发射激光元件，该底部发射型垂直共振腔面发射激光元件设置在基板的一个表面上，并从基板的另一表面侧发射激发光；以及共振强，被部署为在基板的所述另一表面侧与发光体接触，并响应于激发光的入射而振荡脉冲激光。光学系统使脉冲激光束缩小，并向工件辐射脉冲激光束。

主权项：1.一种激光加工机，包括:激光光源，包括发光体，包括基板和底部发射型垂直共振腔面发射激光元件，所述底部发射型垂直共振腔面发射激光元件设置在所述基板的一个表面上，并从所述基板的另一表面侧发射激发光束，以及共振腔，被部署为在所述基板的另一表面侧与所述发光体接触，并通过所述激发光束的入射来振荡脉冲激光束；以及光学系统，使所述脉冲激光束缩小并向工件施加所述脉冲激光束。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 索尼集团公司 激光加工机、加工方法和激光光源

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