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【发明公布】用于定位物体的定位系统_荷兰联合仪器有限公司_202080013417.5 

申请/专利权人:荷兰联合仪器有限公司

申请日:2020-02-07

公开(公告)日:2021-09-21

公开(公告)号:CN113424018A

主分类号:G01B21/04(20060101)

分类号:G01B21/04(20060101);G01M11/02(20060101);G01B5/008(20060101);G01B7/008(20060101);G01B11/00(20060101);G01B5/00(20060101)

优先权:["20190208 NL 2022539"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2022.01.28#实质审查的生效;2021.09.21#公开

摘要:用于定位物体的定位系统,其中定位系统包括堆叠载物台系统,其中堆叠载物台系统是在基准表面上可移动的,其中堆叠载物台系统包括:驱动系统,用于驱动堆叠载物台系统;第一载物台,其布置成沿着与基准表面的平面平行的驱动平面被驱动;主载物台,用于支撑物体,其中主载物台布置在被驱动的第一载物台上,以用于沿着驱动平面移动主载物台;其中主载物台系统包括旋转驱动系统,并且其中旋转驱动系统布置成用于围绕平行于与驱动平面垂直的平面外方向的轴线相对于第一载物台旋转主载物台;以及其中主载物台相对于第一载物台沿平面外方向是可移动的,并且其中主载物台还包括支撑轴承,支撑轴承布置成沿平面外方向将主载物台可移动地支撑在基准表面上。

主权项:1.一种用于定位物体的定位系统,其中所述定位系统包括堆叠载物台系统,其中所述堆叠载物台系统是在基准表面上可移动的,其中所述堆叠载物台系统包括:驱动系统,用于驱动所述堆叠载物台系统;第一载物台,其布置成沿着与所述基准表面的平面平行的驱动平面被驱动;主载物台,用于支撑所述物体,其中所述主载物台布置在被驱动的第一载物台上,以用于沿着所述驱动平面移动所述主载物台;以及其中所述主载物台相对于所述第一载物台沿垂直于所述驱动平面的平面外方向是可移动的,并且其中所述主载物台还包括支撑轴承,所述支撑轴承布置成沿所述平面外方向将所述主载物台可移动地支撑在所述基准表面上,使得沿所述平面外方向的位置精度不取决于所述堆叠系统中的下层载物台的平面外位置精度。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 荷兰联合仪器有限公司 用于定位物体的定位系统

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