申请/专利权人：爱德华兹有限公司

申请日：2020-02-20

公开（公告）日：2021-09-21

公开（公告）号：CN113423950A

主分类号：F04B37/14(20060101)

分类号：F04B37/14(20060101);F04B49/06(20060101);F04C25/02(20060101);F04C28/08(20060101);F04C28/28(20060101);F04D19/04(20060101);F04D27/00(20060101);F04D27/02(20060101)

优先权：["20190220 GB 1902303.5"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.07.18#授权;2021.10.12#实质审查的生效;2021.09.21#公开

摘要：公开了一种真空泵送装置（10）和方法。该真空泵送装置包括：公共泵送管线（90A‑C），所述公共泵送管线具有泵送管线出口和多个泵送管线入口，每个泵送管线入口被构造成与相关联的多个真空处理室（30）的出口联接；至少一个初级真空泵（100），所述初级真空泵与所述泵送管线出口流体连通以从每个真空处理室泵送气体；以及控制逻辑（120），其可操作以响应于多个真空处理室的操作状态的指示而控制初级真空泵的操作。这样，可以调节初级真空泵的性能以匹配由处理室提供的负载，并且当存在过剩的容量时意味着初级真空泵利用不足，则可以降低初级真空泵的性能，这可以导致显著的能量节省并且减少泵的磨损。

主权项：1.一种真空泵送装置，包括：公共泵送管线，所述公共泵送管线具有泵送管线出口和多个泵送管线入口，每个泵送管线入口被构造成与相关联的多个真空处理室的出口联接；至少一个初级真空泵，其与所述泵送管线出口流体连通以从每个真空处理室泵送气体；以及控制逻辑，所述控制逻辑能够操作以响应于所述多个真空处理室的操作状态的指示而控制所述初级真空泵的操作。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 爱德华兹有限公司 真空泵送

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