申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2021-06-22

公开（公告）日：2021-09-21

公开（公告）号：CN113418396A

主分类号：F27D1/18(20060101)

分类号：F27D1/18(20060101);F27D17/00(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.16#授权;2021.10.12#实质审查的生效;2021.09.21#公开

摘要：本申请公开了一种反应炉的炉门结构及反应炉，反应炉包括工艺管和设置在工艺管开口端的废气收集装置，炉门结构包括第一炉门、第二炉门和定位轴组件，第一炉门用于密封废气收集装置背离工艺管的端部，第二炉门用于密封工艺管靠近废气收集装置的端部，定位轴组件包括定位管、石英杆和套筒；其中，定位管套设于石英杆的一端，石英杆的另一端卡接于第二炉门；套筒套设于石英杆且位于定位管和第二炉门之间，套筒弹性连接于定位管，以与石英杆的另一端夹紧第二炉门，使第二炉门始终保持竖直状态；第一炉门设于定位管的中部。本发明涉及的反应炉的炉门结构，可以使第二炉门在运动过程中始终保持竖直状态，避免在第二炉门开启与关闭过程中与SIC桨及石英杆的刮擦与碰撞。

主权项：1.一种反应炉的炉门结构，所述反应炉包括工艺管和设置在所述工艺管开口端的废气收集装置，所述炉门结构包括第一炉门3、第二炉门5和定位轴组件，所述第一炉门3用于密封所述废气收集装置背离所述工艺管的端部，所述第二炉门5用于密封所述工艺管靠近所述废气收集装置的端部，其特征在于，所述定位轴组件包括定位管2、石英杆4和套筒6；其中，所述定位管2套设于所述石英杆4的一端；所述石英杆4的另一端卡接于所述第二炉门5；所述套筒6套设于所述石英杆4且位于所述定位管2和所述第二炉门5之间，所述套筒6弹性连接于所述定位管2，以与所述石英杆4的所述另一端夹紧所述第二炉门5，使所述第二炉门5始终保持竖直状态；所述第一炉门3设于所述定位管2的中部。

全文数据：

权利要求：

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