申请/专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司

申请日：2021-06-23

公开（公告）日：2021-09-21

公开（公告）号：CN113421239A

主分类号：G06T7/00(20170101)

分类号：G06T7/00(20170101);G06T7/60(20170101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.10.12#实质审查的生效;2021.09.21#公开

摘要：本申请公开了一种识别方法。识别方法用于识别特征图案阵列的偏转角度，每个特征图案包括位置已知的特征点，识别方法包括：选取一个特征点作为第一基准点；搜索与第一基准点共线的一个或多个特征点作为拟合点；拟合第一基准点与拟合点，以得到沿第一方向延伸的第一基准线；基于第一基准线识别特征图案阵列的偏转角度。本申请还公开了一种识别装置、半导体处理设备及计算机可读存储介质。通过在已知位置的特征点中选取第一基准点，并拟合第一基准点与一个或多个拟合点，以得到第一基准线，第一基准线反映了特征图案阵列的偏转角度信息，依据第一基准线可以识别到特征图案阵列的偏转角度。

主权项：1.一种识别方法，其特征在于，用于识别特征图案阵列的偏转角度，每个所述特征图案包括位置已知的特征点，所述识别方法包括：选取一个特征点作为第一基准点；搜索与所述第一基准点共线的一个或多个特征点作为拟合点；拟合所述第一基准点与所述拟合点，以得到沿第一方向延伸的第一基准线；基于所述第一基准线识别所述特征图案阵列的偏转角度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳中科飞测科技股份有限公司 识别方法、识别装置、半导体处理设备及可读存储介质

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