申请/专利权人:北京北方华创微电子装备有限公司
申请日:2021-06-29
公开(公告)日:2021-09-21
公开(公告)号:CN113414178A
主分类号:B08B3/08(20060101)
分类号:B08B3/08(20060101);B08B3/12(20060101);B08B3/02(20060101);B08B13/00(20060101);F26B7/00(20060101)
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2021.10.12#实质审查的生效;2021.09.21#公开
摘要:本发明实施例提供一种陶瓷件清洗方法,包括:第一清洗过程,采用具有导电性的有机溶剂对陶瓷件进行超声波清洗;第二清洗过程,将经第一清洗过程清洗后的陶瓷件进行超声波清洗,以去除陶瓷件上残留的有机溶剂和颗粒;第三清洗过程,对清洗后的陶瓷件进行吹扫,并在吹扫后对陶瓷件进行烘烤。本发明实施例提供的陶瓷件清洗方法,可以有效去除因静电效应而附着的杂质或微裂纹中的微小颗粒,从而可以解决陶瓷颗粒数量超标的问题,提高芯片良率。
主权项:1.一种陶瓷件清洗方法,其特征在于,包括:第一清洗过程,采用具有导电性的有机溶剂对陶瓷件进行超声波清洗;第二清洗过程,将经所述第一清洗过程清洗后的所述陶瓷件进行超声波清洗,以去除所述陶瓷件上残留的所述有机溶剂和颗粒;第三清洗过程,对清洗后的所述陶瓷件进行吹扫,并在吹扫后对所述陶瓷件进行烘烤。
全文数据:
权利要求:
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