申请/专利权人：西安工业大学

申请日：2021-07-08

公开（公告）日：2021-09-21

公开（公告）号：CN113418470A

主分类号：G01B11/24(20060101)

分类号：G01B11/24(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.31#授权;2021.10.12#实质审查的生效;2021.09.21#公开

摘要：本发明为一种光谱扫描共焦单次曝光数字全息测量系统及测量方法，其克服了现有技术中存在的针对待测物体的上、下表面及内部分层的微观结构，无法实现三维结构的快速测量，实现透明物体各分层界面微观形貌的高精度、非接触、同步三维形貌测量。本发明包括测量系统本体，测量系统本体包括依次设置的多光谱光源、显微物镜、透镜、分光镜一、聚焦色散透镜和待测物体，分光镜一后方设置有分光镜二，分光镜二前方依次设置有消色差显微物镜和光纤光谱仪，分光镜二后方设置有平面平晶，平面平晶前方依次设置有会聚透镜和滤波器，滤波器设置在平面平晶前表面反射光的会聚焦点处，滤波器前方设置有图像传感器，光纤光谱仪和图像传感器分别与计算机连接。

主权项：1.一种光谱扫描共焦单次曝光数字全息测量系统，其特征在于：包括测量系统本体，测量系统本体包括依次设置的多光谱光源1、显微物镜2、透镜3、分光镜一4、聚焦色散透镜5和待测物体6，分光镜一4后方设置有分光镜二7，分光镜二7前方依次设置有消色差显微物镜8和光纤光谱仪9，分光镜二7后方设置有平面平晶10，平面平晶10前方依次设置有会聚透镜11和滤波器12，滤波器12设置在平面平晶10前表面反射光的会聚焦点处，滤波器12前方设置有图像传感器13，光纤光谱仪9和图像传感器13分别与计算机14连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安工业大学 光谱扫描共焦单次曝光数字全息测量系统及测量方法

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