申请/专利权人：欧姆龙株式会社

申请日：2018-02-13

公开（公告）日：2021-09-21

公开（公告）号：CN109283888B

主分类号：G05B19/404(20060101)

分类号：G05B19/404(20060101)

优先权：["20170719 JP 2017-139648"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.09.21#授权;2019.03.01#实质审查的生效;2019.01.29#公开

摘要：本发明提供一种控制装置、控制方法及记录介质。本发明有效利用多个伺服控制体系各自的可动范围。本发明的控制器10将从第一逆运动学轨道SP中以不产生相位延迟的方式除去高频成分所得的校正后轨道SPf作为第一伺服控制体系20的指令轨道。

主权项：1.一种控制装置，其特征在于，包括：第一轨道生成部，将从基准轨道中以不产生相位延迟的方式除去高频成分所得的第一指令轨道作为第一伺服控制体系的指令轨道,所述第一轨道生成部根据表示所述基准轨道的曲线的上下包络线的平均而生成所述第一指令轨道；第二轨道生成部，生成包含与所述高频成分对应的轨道的第二指令轨道作为第二伺服控制体系的指令轨道；预测部，所述预测部使用所述第一伺服控制体系的动特性模型，预测与所述第一指令轨道对应的所述第一伺服控制体系的响应，且所述预测部使用所述第一伺服控制体系的动特性模型，针对根据所述第一指令轨道生成的第一指令值的所述第一伺服控制体系的输出的控制量进行预测；以及指示部，所述指示部将经模型预测控制进行了校正的所述第一指令值输出至所述第一伺服控制体系，其中所述模型预测控制使用由所述预测部预测出的控制量、及从所述第一伺服控制体系取得的作为反馈信息的所述第一伺服控制体系的控制量的实测值。

全文数据：控制装置、控制方法及记录介质技术领域本发明涉及一种对伺服驱动器servodriver等的反馈控制体系输出指令值的控制装置、控制方法及记录介质。背景技术以下控制装置等已为人所知，所述控制装置针对多个伺服控制体系分别根据目标轨道生成所述伺服控制体系各自的指令轨道，在对所述多个伺服控制体系各自的每个控制周期中输出根据所述指令轨道生成的指令值，协调控制所述多个伺服控制体系。例如下文将述的专利文献1中公开了如下控制装置，此控制装置1对目标轨道进行逆运动学运算，将对运算结果进行低通滤波处理所生成的第一轨道作为第一伺服控制体系的指令轨道，2根据对所述第一轨道的正运动学运算结果与目标轨道的误差，生成第二伺服控制体系的指令轨道。此外，以下的说明中有时将逆运动学称为“逆向运动学inversekinematics”，将正运动学称为“正向运动学forwardkinematics”。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]美国专利申请公开第20120095599号2012年4月19日公开发明内容[发明所要解决的问题]然而，所述那样的现有技术中，为了提高所述第一伺服控制体系的追随性而除去高频成分的低通滤波处理导致所述第一轨道产生相位滞后相位延迟，并使所述第二伺服控制体系补偿所产生的相位延迟。即，所述那样的现有技术作为提高所述第一伺服控制体系的追随性的代价，使所述第二伺服控制体系实现原本应由所述第一伺服控制体系实现的一部分轨道。因此，所述那样的现有技术有无法有效利用所述第二伺服控制体系的可动范围等问题。本发明的一实施方式的目的在于：对于协调控制多个伺服控制体系的控制装置等，维持所述第一伺服控制体系的追随性，并且有效利用多个伺服控制体系各自的可动范围。[解决问题的技术手段]为了解决所述问题，本发明的一实施方式的控制装置的特征在于具备：第一轨道生成部，将从基准轨道中以不产生相位延迟的方式除去高频成分所得的第一指令轨道作为第一伺服控制体系的指令轨道；以及第二轨道生成部，生成包含与所述高频成分对应的轨道的第二指令轨道作为第二伺服控制体系的指令轨道。根据所述构成，所述控制装置以与所述基准轨道相比不产生相位延迟的方式从所述基准轨道中除去高频成分，生成作为所述第一伺服控制体系的指令轨道的所述第一指令轨道。此处已知，在利用低通滤波器从所述基准轨道中除去高频成分的情况下，除去高频成分后的所述基准轨道与除去高频成分前的所述基准轨道相比产生相位滞后相位延迟。而且，所产生的相位延迟是由所述第二伺服控制体系补偿，即，使所述第二伺服控制体系实现原本应由所述第一伺服控制体系实现的一部分轨道，从而无法有效利用所述第二伺服控制体系的可动范围。相对于此，所述控制装置以相对于所述基准轨道不产生相位延迟的方式从所述基准轨道中除去高频成分而生成所述第一指令轨道，因此所述第一伺服控制体系能充分追随除去高频成分后的所述第一指令轨道。即，所述控制装置能维持所述第一伺服控制体系的追随性。另外，所述控制装置防止产生以前随着所述高频成分的除去而产生的相位延迟，因此无需使所述第二伺服控制体系补偿所述第一伺服控制体系原本应实现的一部分轨道。即，所述控制装置能有效利用所述第二伺服控制体系的可动范围。如以上整理内容那样，所述控制装置能通过除去高频成分而维持所述第一伺服控制体系的追随性，并且通过防止产生相位延迟而有效利用所述第二伺服控制体系的可动范围。因此，所述控制装置发挥以下效果：能维持所述第一伺服控制体系的追随性，并且有效利用所述第一伺服控制体系及所述第二伺服控制体系各自的可动范围。本发明的控制装置中，所述第一轨道生成部也可对所述基准轨道在时间轴的正向与逆向此两方向上进行低通滤波处理，生成所述第一指令轨道。根据所述构成，所述控制装置对所述基准轨道在时间轴的正向与逆向此两方向上进行低通滤波处理，由此以与所述基准轨道相比不产生相位延迟的方式从所述基准轨道中除去高频成分，生成所述第一指令轨道。即，所述控制装置与对所述基准轨道进行低通滤波处理的情况不同，不会产生相位延迟，因此无需使所述第二伺服控制体系补偿所述第一伺服控制体系原本应实现的一部分轨道。因此，所述控制装置能通过除去高频成分而维持所述第一伺服控制体系的追随性，并且通过防止产生相位延迟而有效利用所述第二伺服控制体系的可动范围。即，所述控制装置发挥以下效果：能维持所述第一伺服控制体系的追随性，并且有效利用所述第一伺服控制体系及所述第二伺服控制体系各自的可动范围。本发明的控制装置中，所述第一轨道生成部也可对所述基准轨道以时间轴的逆向到正向的顺序进行所述低通滤波处理，生成所述第一指令轨道。根据所述构成，所述控制装置对所述基准轨道以时间轴的逆向到正向的顺序进行所述低通滤波处理，生成所述第一指令轨道。此处，在对所述基准轨道以时间轴的正向到逆向的顺序进行所述低通滤波处理的情况下，所述第一指令轨道在开始时刻t＝0的时刻产生相对于所述基准轨道的数据跳跃。相对于此，所述控制装置对所述基准轨道以时间轴的逆向到正向的顺序进行所述低通滤波处理，生成所述第一指令轨道。因此，所述控制装置发挥以下效果：防止所述第一指令轨道在开始时刻t＝0的时刻产生相对于所述基准轨道的数据跳跃。本发明的控制装置中，所述第一轨道生成部也可根据表示所述基准轨道的曲线的上下包络线的平均而生成所述第一指令轨道。根据所述构成，所述控制装置根据表示所述基准轨道的曲线的上下包络线的平均而生成所述第一指令轨道，由此以与所述基准轨道相比不产生相位延迟的方式除去高频成分而生成所述第一指令轨道。即，所述控制装置能通过除去高频成分而维持所述第一伺服控制体系的追随性，并且通过防止产生相位延迟而有效利用所述第二伺服控制体系的可动范围。因此，所述控制装置发挥以下效果：能维持所述第一伺服控制体系的追随性，并且有效利用所述第一伺服控制体系及所述第二伺服控制体系各自的可动范围等。本发明的控制装置也可还包括预测部，此预测部使用所述第一伺服控制体系的动特性模型，预测与所述第一指令轨道对应的所述第一伺服控制体系的响应。根据所述构成，所述控制装置使用所述第一伺服控制体系的动特性模型，预测与所述第一指令轨道对应的所述第一伺服控制体系的响应。因此，所述控制装置发挥以下效果：能使用所述第一伺服控制体系的动特性模型，预测与所述第一指令轨道对应的所述第一伺服控制体系的响应。本发明的控制装置中也可为：所述预测部使用所述第一伺服控制体系的动特性模型，针对根据所述第一指令轨道生成的第一指令值的所述第一伺服控制体系的输出的控制量进行预测，且本发明的控制装置还包括指示部，此指示部将经模型预测控制进行了校正的所述第一指令值输出至所述第一伺服控制体系，所述模型预测控制使用由所述预测部预测出的控制量、及从所述第一伺服控制体系取得的作为反馈信息的所述第一伺服控制体系的控制量的实测值。根据所述构成，所述控制装置将经模型预测控制进行了校正的所述第一指令值输出至所述第一伺服控制体系，所述模型预测控制利用使用所述第一伺服控制体系的动特性模型预测出的控制量、及所述第一伺服控制体系的控制量的实测值。因此，所述控制装置发挥以下效果：能提高所述第一伺服控制体系对所述第一指令轨道的追随性能，进而能提高所述第一伺服控制体系及所述第二伺服控制体系整体的追随性能。本发明的控制装置中，所述第二轨道生成部也可生成包含和中间轨道与所述基准轨道的误差对应的轨道的所述第二指令轨道，所述中间轨道是使用由所述预测部预测出的所述第一伺服控制体系的响应而生成。根据所述构成，所述控制装置生成包含和中间轨道与所述基准轨道的误差对应的轨道的所述第二指令轨道，所述中间轨道是使用由所述预测部预测出的所述第一伺服控制体系的响应而生成。因此，所述控制装置发挥以下效果：能利用所述第二伺服控制体系来补偿所述第一伺服控制体系的响应滞后，从而能提高所述第一伺服控制体系及所述第二伺服控制体系整体的追随性能。为了解决所述问题，本发明的控制方法的特征在于包括：第一轨道生成步骤，将从基准轨道中以不产生相位延迟的方式除去高频成分所得的第一指令轨道作为第一伺服控制体系的指令轨道；以及第二轨道生成步骤，生成包含与所述高频成分对应的轨道的第二指令轨道作为第二伺服控制体系的指令轨道。根据所述方法，所述控制方法以与所述基准轨道相比不产生相位延迟的方式从所述基准轨道中除去高频成分，生成作为所述第一伺服控制体系的指令轨道的所述第一指令轨道。此处已知，在利用低通滤波器从所述基准轨道中除去高频成分的情况下，除去高频成分后的所述基准轨道与除去高频成分前的所述基准轨道相比产生相位滞后。而且，所产生的相位延迟是由所述第二伺服控制体系补偿，即，使所述第二伺服控制体系实现原本应由所述第一伺服控制体系实现的一部分轨道，从而无法有效利用所述第二伺服控制体系的可动范围。相对于此，所述控制方法以相对于所述基准轨道不产生相位延迟的方式从所述基准轨道中除去高频成分而生成所述第一指令轨道，因此所述第一伺服控制体系能充分追随除去高频成分后的所述第一指令轨道。即，所述控制方法能维持所述第一伺服控制体系的追随性。另外，所述控制方法防止产生以前随着所述高频成分的除去而产生的相位延迟，因此无需使所述第二伺服控制体系补偿所述第一伺服控制体系原本应实现的一部分轨道。即，所述控制方法能有效利用所述第二伺服控制体系的可动范围。如以上所整理，所述控制方法能通过除去高频成分而维持所述第一伺服控制体系的追随性，并且通过防止产生相位延迟而有效利用所述第二伺服控制体系的可动范围。因此，所述控制方法发挥以下效果：能维持所述第一伺服控制体系的追随性，并且有效利用所述第一伺服控制体系及所述第二伺服控制体系各自的可动范围。[发明的效果]根据本发明的一实施方式，协调控制多个伺服控制体系的控制装置等发挥以下效果：能维持所述第一伺服控制体系的追随性，并且能有效利用多个伺服控制体系各自的可动范围等。附图说明图1为表示本发明的实施方式1的控制器等的要部构成等的方块图。图2为表示包含图1的控制器的控制系统的整体概要的图。图3为表示图1的控制器执行的处理的概要的流程图。图4A～图4C为对与高频成分的除去方法相应地产生的相位延迟及数据跳跃进行说明的图。图5A、图5B为表示使用图2的控制系统等实施的控制测试的内容的图。图6A、图6B为针对图5A、图5B所示的控制测试，示出经图1的控制器控制的第一致动器及第二致动器各自的位置、位置偏差及转矩的变化的图。图7A、图7B为针对图5A、图5B所示的控制测试，示出经图1的控制器控制的第一致动器及第二致动器的合计位置及位置偏差的变化的图。图8为表示本发明的实施方式2的控制器等的要部构成等的方块图。图9为对图8的控制器根据表示第一运算轨道的曲线的上下包络线的平均而生成指令轨道的方法进行说明的图，所述第一运算轨道是对目标轨道进行逆运动学运算而生成。图10为表示本发明的实施方式3的控制器等的要部构成等的方块图。图11为表示包含图10的控制器的控制系统的整体概要的图。图12为表示图10的控制器执行的处理的概要的流程图。图13A、图13B为针对图5A、图5B所示的控制测试，示出经图10的控制器控制的第一致动器及第二致动器各自的位置、位置偏差、模型预测误差及转矩的变化的图。图14A、图14B为针对图5A、图5B所示的控制测试，示出经图10的控制器控制的第一致动器及第二致动器的合计位置及位置偏差的变化的图。图15为表示本发明的实施方式4的控制器等的要部构成等的方块图。图16为表示包含图15的控制器的控制系统的整体概要的图。图17为表示图15的控制器执行的处理的概要的流程图。图18A、图18B为针对图5A、图5B所示的控制测试，示出经现有的协调控制控制器控制的第一致动器及第二致动器各自的位置、位置偏差及转矩的变化的图。图19A、图19B为针对图5A、图5B所示的控制测试，示出经现有的协调控制控制器控制的第一致动器及第二致动器的合计位置及位置偏差的变化的图。符号的说明1、2、3、4：控制系统10、11、12、13：控制器控制装置20：第一伺服控制体系21：第一伺服驱动器22：第一致动器30：第二伺服控制体系31：第二伺服驱动器32：第二致动器110：目标轨道取得部120：第一逆运动学运算部130：零相位滤波部第一轨道生成部131：包络线平均取得部第一轨道生成部140：正运动学运算部150：第二逆运动学运算部第二轨道生成部160：存储部161：第一指示轨道表162：第二指示轨道表170：指示部171：第一指示部172：第二指示部180：MPC指令部181：第一MPC位置指令部指示部182：第二MPC位置指令部183：第一响应预测部预测部184：第二响应预测部190：响应预测部预测部FKt：正运动学轨道中间轨道IKt、IKti：第二逆运动学轨道第二指令轨道Pc、Pci：第一指令值Sci：第二指令值SP、SPi：第一逆运动学轨道基准轨道SPf、SPfi：校正后轨道第一指令轨道S120：第一轨道生成步骤S150：第二轨道生成步骤S110、S130、S140、S160、S170、S210、S220、S230、S240、S250、S260、S270、S280、S310、S320、S330、S340、S350、S360、S370、S380、S390：步骤Tt：目标轨道具体实施方式[实施方式1]以下，根据图1～图7A、图7B、图18A、图18B及图19A、图19B对本发明的实施方式1进行详细说明。对附图中相同或相应部分标注相同符号而不重复进行说明。为了容易地理解本发明的一实施方式的控制器10控制装置，首先使用图2对包含控制器10的控制系统1的概要进行说明。控制系统的概要图2为表示包含控制器10的控制系统1的概要的图。图2所例示的控制系统1包含作为上级控制器的控制器10、与由控制器10协调控制的第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30。第一伺服控制体系20为包含第一伺服驱动器21及由第一伺服驱动器21控制驱动的第一致动器22的反馈控制体系。同样地，第二伺服控制体系30为包含第二伺服驱动器31及由第二伺服驱动器31控制驱动的第二致动器32的反馈控制体系。控制器10与第一伺服驱动器21及第二伺服驱动器31分别可通信地连接，其连接方式为任意的有线连接方式或无线连接方式。第一伺服驱动器21从控制器10接收各轴的指令值Pci，并以作为控制对象的第一致动器22各轴的输出即各轴的控制量追随各轴的指令值Pci的方式进行反馈控制。第一伺服驱动器21的控制周期例如为112ms。第一致动器22为可动范围比第二致动器32广但动作速度比第二致动器32的动作速度低的致动器，例如为伺服电机servomotor或步进电机steppingmotor。第一伺服驱动器21按照来自控制器10的指令值Pc驱动第一致动器22。第一伺服驱动器21将来自控制器10的指令值Pc设定为目标值，将实测值作为反馈值，对第一致动器22进行反馈控制。即，第一伺服驱动器21调整用于驱动第一致动器22的电流以使实测值接近目标值。此外，第一伺服驱动器21有时也被称为伺服电机放大器servomotoramplifier。第二伺服驱动器31从控制器10接收各轴的指令值Sci，并以作为控制对象的第二致动器32各轴的输出即各轴的控制量追随各轴的指令值Sci的方式进行反馈控制。第二伺服驱动器31的控制周期例如为112ms。但是，112ms的控制周期仅为简单例示，第二伺服驱动器31的控制周期也可更短快，例如也可为10μs。第二致动器32为与第一致动器22相比能高速动作但可动范围比第一致动器22窄的致动器，例如为压电致动器piezoactuator或检流扫描器galvanoscanner。第二伺服驱动器31按照来自控制器10的指令值Sc驱动第二致动器32。第二伺服驱动器31将来自控制器10的指令值Sc设定为目标值，将实测值作为反馈值，对第二致动器32进行反馈控制。即，第二伺服驱动器31调整用于驱动第二致动器32的电流以使实测值接近目标值。此外，第二伺服驱动器31有时也被称为伺服电机放大器。此外如上文所述，第二致动器32与第一致动器22相比能高速动作，以下的说明中有时将第二致动器32称为“高速致动器”，将第一致动器22称为“低速致动器”。控制器10对包含第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30的整个控制系统1进行控制，例如为可编程控制器可编程逻辑控制器ProgrammableLogicController，PLC。关于控制器10，1控制器10从低速致动器第一致动器22的指令轨道中除去高频成分，由此提高低速致动器的追随性。另外，2控制器10防止低速致动器的指令轨道产生相位延迟，由此节省高速致动器第二致动器32的动作范围。具体而言，控制器10通过执行以下的处理1及处理2而协调控制第一伺服控制体系20与第二伺服控制体系30。处理1控制器10对第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30分别使用目标轨道Tt生成指令轨道。具体而言，控制器10使用逆运动学运算及正运动学运算，根据目标轨道Tt生成“第一伺服控制体系20的指令轨道”及“第二伺服控制体系30的指令轨道”。即，控制器10对目标轨道Tt进行逆运动学运算而对第一伺服控制体系20的各轴生成第一逆运动学轨道SPi未图示，从中除去高频成分，生成校正后轨道SPfi未图示作为“第一伺服控制体系20的指令轨道”。此外，关于图2中未图示的第一逆运动学轨道SPi及校正后轨道SPfi，将使用图1等在下文中详述。另外，控制器10对“第一伺服控制体系20的指令轨道”进行正运动学运算，对运算结果与目标轨道Tt的误差进行逆运动学运算而生成第二逆运动学轨道IKti未图示，将其作为“第二伺服控制体系30的指令轨道”。此外，关于图2中未图示的第二逆运动学轨道IKti，与第一逆运动学轨道SPi及校正后轨道SPfi同样地，将使用图1等在下文中详述。此处，控制器10从第一逆运动学轨道SPi中以不产生相位延迟的方式除去高频成分，生成校正后轨道SPfi。具体而言，控制器10对第一逆运动学轨道SPi在时间轴的正向与逆向此两方向上进行低通滤波处理，即进行零相位滤波处理，生成校正后轨道SPfi。控制器10将生成的校正后轨道SPfi存储在存储器具体而言为下文将述的存储部160的第一指示轨道表161中。处理2控制器10根据第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30各自的指令轨道，生成向第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30各自输出的指令值第一指令值Pci及第二指令值Sci。具体而言，控制器10根据校正后轨道SPfi生成第一指令值Pci，根据第二逆运动学轨道IKti生成第二指令值Sci。控制器10在对第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30各自的每个控制周期中，将第一指令值Pci及第二指令值Sci分别输出至第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30。此处，控制器10对第二伺服控制体系30的控制周期比控制器10对第一伺服控制体系20的控制周期短快。具体而言，控制器10对第一伺服控制体系20的控制周期、即控制器10输出至第一伺服驱动器21的第一指令值Pci的更新周期例如为1ms。另外，控制器10对第二伺服控制体系30的控制周期、即控制器10输出至第二伺服驱动器31的第二指令值Sci的更新周期例如为112ms。例如控制器10将根据校正后轨道SPfi每隔1ms生成的第一指令值Pci输出至第一伺服驱动器21。另外，例如控制器10将根据第二逆运动学轨道IKti每隔112ms生成的第二指令值Sci输出至第二伺服驱动器31。此处如上文所述，第一伺服驱动器21与第二伺服驱动器31的控制周期例如均为112ms。因此，第一伺服驱动器21使用由控制器10每隔1ms更新的第一指令值Pci，以112ms的控制周期对第一致动器22进行反馈控制。第二伺服驱动器31使用由控制器10每隔112ms更新的第二指令值Sci，以112ms的控制周期对第二致动器32进行反馈控制。此外如上文所述，控制器10对第二伺服控制体系30的控制周期比控制器10对第一伺服控制体系20的控制周期短快。因此，以下的说明中，有时将第一伺服控制体系20称为“低速伺服控制体系低速伺服系统”，将第二伺服控制体系30称为“高速伺服控制体系高速伺服系统”。另外，以下的说明中，有时将“逆运动学运算”称为“逆向运动学处理”，有时将“正运动学运算”称为“正向运动学处理”。进而，关于第一逆运动学轨道SP、校正后轨道SPf及指令值Pc，在为第一致动器22的各“轴”的值的情况下，有时分别记作第一逆运动学轨道SPi、校正后轨道SPfi及指令值Pci。第一致动器22的轴数为“1～n”，即指令轨道SPi及指令值Pci中“i＝1～n”。同样地，关于第二逆运动学轨道IKt及指令值Sc，在为第二致动器32的各“轴”的值的情况下，有时分别记作第二逆运动学轨道IKti及指令值Sci。第二致动器32的轴数为“1～m”，即第二逆运动学轨道IKti及指令值Sci中“i＝1～m”。关于第一逆运动学轨道SPi、校正后轨道SPfi、指令值Pci、第二逆运动学轨道IKti及指令值Sci，在无需特别说明为各轴的值的情况下，有时省略“i”。控制装置的概要对于到此为止使用图2说明了概要的控制系统1所含的控制器10，接下来使用图1等对其构成及处理内容等进行说明。在参照图1进行详细说明之前，为了容易地理解控制器10，如以下那样预先整理其概要。控制器10具备：零相位滤波部130第一轨道生成部，将从第一逆运动学轨道SP基准轨道中以不产生相位延迟的方式除去高频成分所得的校正后轨道SPf第一指令轨道作为第一伺服控制体系20的指令轨道；以及第二逆运动学运算部150第二轨道生成部，生成包含与所述高频成分对应的轨道的第二逆运动学轨道IKt第二指令轨道作为第二伺服控制体系30的指令轨道。根据所述构成，控制器10以与第一逆运动学轨道SP相比不产生相位延迟的方式从第一逆运动学轨道SP中除去高频成分，生成作为“第一伺服控制体系20的指令轨道”的校正后轨道SPf。此处已知，在利用低通滤波器从第一逆运动学轨道SP中除去高频成分的情况下，除去高频成分后的第一逆运动学轨道SP与除去高频成分前的第一逆运动学轨道SP相比产生相位滞后相位延迟。而且，所产生的相位延迟是由第二伺服控制体系30补偿，即，使第二伺服控制体系30实现原本应由第一伺服控制体系20实现的一部分轨道，从而无法有效利用第二伺服控制体系30的可动范围。相对于此，控制器10以相对于第一逆运动学轨道SP不产生相位延迟的方式从第一逆运动学轨道SP中除去高频成分而生成校正后轨道SPf。因此，第一伺服控制体系20能充分追随除去高频成分后的校正后轨道SPf。即，控制器10能维持第一伺服控制体系20的追随性。另外，控制器10防止产生以前随着所述高频成分的除去而产生的相位延迟，因此无需使第二伺服控制体系30补偿第一伺服控制体系20原本应实现的一部分轨道。即，控制器10能有效利用第二伺服控制体系30的可动范围。如以上所整理，控制器10能通过除去高频成分而维持第一伺服控制体系20的追随性，并且通过防止产生相位延迟而有效利用第二伺服控制体系30的可动范围。因此，控制器10发挥以下效果：能维持第一伺服控制体系20的追随性，并且有效利用第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30各自的可动范围。控制器10中，零相位滤波部130对第一逆运动学轨道SP在时间轴的正向与逆向此两方向上进行低通滤波处理，生成校正后轨道SPf。根据所述构成，控制器10对第一逆运动学轨道SP在时间轴的正向与逆向此两方向上进行低通滤波处理，由此以与第一逆运动学轨道SP相比不产生相位延迟的方式从第一逆运动学轨道SP中除去高频成分，生成校正后轨道SPf。即，控制器10与对第一逆运动学轨道SP进行低通滤波处理的情况不同，不会产生第一伺服控制体系20的轨道的相位延迟，因此无需使所述第二伺服控制体系补偿所述第一伺服控制体系原本应实现的一部分轨道。因此，控制器10能通过除去高频成分而维持第一伺服控制体系20的追随性，并且通过防止产生相位延迟而有效利用第二伺服控制体系30的可动范围。即，控制器10发挥以下效果：能维持第一伺服控制体系20的追随性，并且有效利用第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30各自的可动范围等。控制器10中，零相位滤波部130对第一逆运动学轨道SP以时间轴的逆向到正向的顺序进行所述低通滤波处理，生成校正后轨道SPf。根据所述构成，控制器10对第一逆运动学轨道SP以时间轴的逆向到正向的顺序进行所述低通滤波处理，生成校正后轨道SPf。此处，将使用图4A～图4C在下文中详述，但在对第一逆运动学轨道SP以时间轴的正向到逆向的顺序进行所述低通滤波处理的情况下，校正后轨道SPf在开始时刻t＝0的时刻会产生相对于第一逆运动学轨道SP的数据跳跃。相对于此，控制器10对第一逆运动学轨道SP以时间轴的逆向到正向的顺序进行所述低通滤波处理，生成校正后轨道SPf。因此，控制器10发挥以下效果：能防止校正后轨道SPf在开始时刻t＝0的时刻产生相对于第一逆运动学轨道SP的数据跳跃等。若整理以上内容，则控制器10对针对目标轨道Tt进行逆运动学运算所生成的轨道实施带延迟补偿的低通滤波处理，将实施所述处理所得的轨道作为第一致动器22的指令轨道。具体而言，控制器10使用零相位滤波器。零相位滤波器通过执行时间轴的正向与逆向上的两次往返一次滤波处理而使相位滞后相位延迟抵消。进而，控制器10为了消除开始时的数据跳跃，以逆向到正向的顺序执行零相位滤波处理。控制器10通过减少低速致动器第一致动器22的轨道指令轨道的相位滞后相位延迟，能节省高速致动器第二致动器32的动作范围。因此，控制器10能应对更高速的轨道。另外，控制器10能增强低通滤波器的效果而提高低速致动器的追随性，从而能提高总体第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30整体的控制精度。进而，控制器10能扩展控制系统1中采用的高速致动器的选项，从而能容易地选定所采用的高速致动器。对于到此为止整理了概要的控制器10，接下来将使用图1等对其构成等详情进行说明。控制装置的详情图1为表示本发明的实施方式1的控制器10等的要部构成的方块图。如图1所示，控制器10具备目标轨道取得部110、第一逆运动学运算部120、零相位滤波部130、正运动学运算部140、第二逆运动学运算部150、存储部160及指示部170作为功能块functionblock。此外，为了确保记载的简洁性，将与本实施方式并无直接关系的构成从说明及方块图中省略。但是，控制器10也可依实施实情而具备所述省略的构成。图1所例示的各功能块例如可通过中央处理器centralprocessingunit，CPU等将由只读存储器readonlymemory，ROM、非易失性随机存取存储器non-Volatilerandomaccessmemory，NVRAM等实现的存储装置存储部160中存储的程序读取到未图示的随机存取存储器randomaccessmemory，RAM等中并执行而实现。以下，对控制器10的各功能块进行说明。存储部以外的功能块的详情目标轨道取得部110从外部例如用户接受目标轨道数据目标轨道Tt，将所接受的目标轨道Tt输出至第一逆运动学运算部120及第二逆运动学运算部150。第一逆运动学运算部120对从目标轨道取得部110取得的目标轨道Tt进行逆运动学运算，生成第一伺服控制体系20的各轴的第一逆运动学轨道SPi。第一逆运动学运算部120将生成的第一逆运动学轨道SPi输出至零相位滤波部130。零相位滤波部130从自第一逆运动学运算部120取得的第一逆运动学轨道SPi中以不产生相位延迟的方式除去高频成分，生成第一伺服控制体系20的各轴的校正后轨道SPfi。具体而言，零相位滤波部130对第一逆运动学轨道SPi进行零相位滤波处理而生成校正后轨道SPfi。此处所谓零相位滤波处理，是指以正向与逆向此两方向例如时间轴的正向与逆向各1次，共计2次执行滤波处理本实施方式中为低通滤波处理。具体而言，将对第一逆运动学轨道SPi进行的时间轴的正向与逆向此两方向上的低通滤波处理称为“零相位滤波处理”。此外，低通滤波处理有时称为低通滤波，零相位滤波处理有时称为零相位滤波。尤其零相位滤波部130对第一逆运动学轨道SPi以时间轴的逆向到正向的顺序进行低通滤波处理，即以时间轴的逆向逆序进行零相位滤波处理，生成校正后轨道SPfi。通过以时间轴的逆向到正向的顺序进行低通滤波处理，零相位滤波部130能生成在开始时刻t＝0的时刻并无相对于第一逆运动学轨道SPi的数据跳跃的校正后轨道SPfi。零相位滤波部130所使用的低通滤波器零相位滤波器的滤波特性例如为截止频率10Hz的二阶巴特沃斯Butterworth型。关于零相位滤波部130执行的零相位滤波处理的详情，将使用图4A～图4C在下文中描述。零相位滤波部130将生成的校正后轨道SPfi作为“第一伺服控制体系20的指令轨道”存储在存储部160的第一指示轨道表161中。另外，零相位滤波部130将生成的校正后轨道SPfi输出至正运动学运算部140。零相位滤波部130以离线off-line方式事先执行轨道计算，将执行轨道计算的结果存储在存储器中。即，零相位滤波部130将对第一逆运动学轨道SPi进行零相位滤波处理而生成的校正后轨道SPfi存储在第一指示轨道表161中。正运动学运算部140对从零相位滤波部130取得的“i＝1～n”的校正后轨道SPfi全部进行正运动学运算，由此生成正运动学轨道FKt中间轨道。正运动学运算部140将生成的正运动学轨道FKt输出至第二逆运动学运算部150。第二逆运动学运算部150生成第二逆运动学轨道IKt第二指令轨道作为“第二伺服控制体系30的指令轨道”，所述第二逆运动学轨道IKt第二指令轨道包含与利用零相位滤波部130从第一逆运动学轨道SPi中除去的高频成分对应的轨道。具体而言，第二逆运动学运算部150以“校正后轨道SPf和第二逆运动学轨道IKt的合成轨道与目标轨道Tt一致”的方式生成第二逆运动学轨道IKt，此第二逆运动学轨道IKt包含和第一逆运动学轨道SP与校正后轨道SPf的误差对应的轨道。第二逆运动学运算部150生成第二逆运动学轨道IKt第二指令轨道作为“第二伺服控制体系30的指令轨道”，所述第二逆运动学轨道IKt第二指令轨道包含与利用零相位滤波部130从第一逆运动学轨道SPi中除去的高频成分对应的轨道。例如，第二逆运动学运算部150也可对“从正运动学运算部140取得的正运动学轨道FKt与目标轨道Tt的误差”进行逆运动学运算，生成作为第二伺服控制体系30的各轴的指令轨道的第二逆运动学轨道IKti。第二逆运动学运算部150将所生成的第二逆运动学轨道IKti作为“第二伺服控制体系30的指令轨道”存储在存储部160的第二指示轨道表162中。作为第二伺服控制体系30的指令轨道的第二逆运动学轨道IKt第二指令轨道包含利用零相位滤波部130从第一逆运动学轨道SPi中除去的高频成分。另外，第二逆运动学轨道IKt第二指令轨道满足“第一伺服控制体系20的指令轨道校正后轨道SPf和第二伺服控制体系30的指令轨道第二逆运动学轨道IKt的合成轨道与目标轨道Tt一致”的条件。即，第二逆运动学运算部150只要以“校正后轨道SPf和第二逆运动学轨道IKt的合成轨道与目标轨道Tt一致”的方式，生成包含和第一逆运动学轨道SP与校正后轨道SPf的误差对应的轨道的第二逆运动学轨道IKt即可。指示部170包含将第一指令值Pci输出至第一伺服控制体系20的第一指示部171、及将第二指令值Sci输出至第二伺服控制体系30的第二指示部172。第一指示部171在对第一伺服控制体系20的每个控制周期中，根据“第一伺服控制体系20的指令轨道”生成第一伺服控制体系20的各轴的第一指令值Pci，并将生成的第一指令值Pci输出至第一伺服控制体系20。具体而言，第一指示部171参照存储部160的第一指示轨道表161，取得校正后轨道SPfi作为“第一伺服控制体系20的指令轨道”。而且，第一指示部171例如每隔1ms根据校正后轨道SPfi生成第一伺服控制体系20的各轴的第一指令值Pci，将生成的第一指令值Pci输出至第一伺服控制体系20。第二指示部172在对第二伺服控制体系30的每个控制周期中，根据“第二伺服控制体系30的指令轨道”生成第二伺服控制体系30的各轴的第二指令值Sci，并将生成的第二指令值Sci输出至第二伺服控制体系30。具体而言，第二指示部172参照存储部160的第二指示轨道表162，取得第二逆运动学轨道IKti作为“第二伺服控制体系30的指令轨道”。而且，第二指示部172例如每隔112ms根据第二逆运动学轨道IKti生成第二伺服控制体系30的各轴的第二指令值Sci，并将生成的第二指令值Sci输出至第二伺服控制体系30。存储部的详情存储部160为存储控制器10使用的各种数据的存储装置。此外，存储部160也可非暂时性地存储控制器10执行的1控制程序、2操作系统OperatingSystem，OS程序、3用于执行控制器10所具有的各种功能的应用程序applicationprogram、及4执行所述应用程序时读取的各种数据。所述1～4的数据例如存储在ROMreadonlymemory、闪速存储器、可擦除可编程只读存储器ErasableProgrammableROM，EPROM、电可擦除可编程只读存储器ElectricallyEPROM，EEPROM注册商标、硬盘驱动器HardDiscDrive，HDD等非易失性存储装置中。控制器10也可具备未图示的暂时存储部。暂时存储部为在控制器10执行各种处理的过程中，暂时存储用于运算的数据及运算结果等的所谓工作存储器workingmemory，由RAMRandomAccessMemory等易失性存储装置构成。将哪个数据存储在哪个存储装置中是根据控制器10的使用目的、便利性、成本或物理方面的限制等而适当决定。存储部160还存储着第一指示轨道表161及第二指示轨道表162。第一指示轨道表161中存储“第一伺服控制体系20的指令轨道”，具体而言由零相位滤波部130存储校正后轨道SPfi。第二指示轨道表162中存储“第二伺服控制体系30的指令轨道”，具体而言由第二逆运动学运算部150存储第二逆运动学轨道IKti。控制器10通过离线处理预先制作第一指示轨道表161，即预先算出“第一伺服控制体系20的指令轨道”。控制器10也能以离线形式执行所有处理，也预先制作第二指示轨道表162，即也可预先算出“第二伺服控制体系30的指令轨道”。此外，图1中示出控制器10以离线形式预先执行所有处理，预先制作第二指示轨道表162的示例。但是，控制器10无需预先算出“第二伺服控制体系30的指令轨道”，即无需预先制作第二指示轨道表162。关于控制器执行的处理图3为表示控制器10执行的处理的概要的流程图。如图3所示，第一逆运动学运算部120根据目标轨道Tt生成低速致动器第一致动器22各轴的轨道，即对目标轨道Tt进行逆运动学运算而生成第一逆运动学轨道SPiS110。零相位滤波部130对各轴的轨道即第一逆运动学轨道SPi执行零相位滤波，将生成的校正后轨道SPfi存储在存储部160的第一指示轨道表161中S120。控制器10计算零相位滤波后的轨道与目标轨道Tt的差值。具体而言，正运动学运算部140通过正运动学运算根据零相位滤波后的轨道即校正后轨道SPfi生成中间轨道即正运动学轨道FKtS130。然后，第二逆运动学运算部150计算中间轨道与目标轨道Tt的差值误差S140。第二逆运动学运算部150使用计算出的误差差值，计算高速致动器第二致动器32各轴的轨道，并存储在存储部160的第二指示轨道表162中S150。具体而言，第二逆运动学运算部150对“中间轨道即正运动学轨道FKt与目标轨道Tt的误差”进行逆运动学运算，生成作为第二伺服控制体系30的各轴的指令轨道的第二逆运动学轨道IKti。然后，第二逆运动学运算部150将生成的第二逆运动学轨道IKti存储在存储部160的第二指示轨道表162中。第二逆运动学运算部150生成第二逆运动学轨道IKt，此第二逆运动学轨道IKt包含和第一逆运动学轨道SP与校正后轨道SPf的误差对应的轨道。具体而言，第二逆运动学运算部150以“校正后轨道SPf和第二逆运动学轨道IKt的合成轨道与目标轨道Tt一致”的方式，生成包含和第一逆运动学轨道SP与校正后轨道SPf的误差对应的轨道的第二逆运动学轨道IKt。指示部170根据存储的各轴的轨道将当前时刻的指令值输出给低速伺服系统即第一伺服控制体系20及高速伺服系统即第二伺服控制体系30S160。具体而言，第一指示部171根据第一指示轨道表161中存储的校正后轨道SPfi，在对第一伺服控制体系20的每个控制周期中生成第一指令值Pci，并将生成的第一指令值Pci输出至第一伺服控制体系20。另外，第二指示部172根据第二指示轨道表162中存储的第二逆运动学轨道IKti，在对第二伺服控制体系30的每个控制周期中生成第二指令值Sci，并将生成的第二指令值Sci输出至第二伺服控制体系30。控制器10一面判定是否到达轨道终点S170，一面在每个控制周期中重复S140～S160的处理或S160的处理。具体而言，控制器10一面判定是否到达轨道终点S170，一面以对第一伺服控制体系20的控制周期重复执行“S140～S160的处理或S160的处理”中“仅第一伺服控制体系20的相关处理”。另外，控制器10一面判定是否到达轨道终点S170，一面以对第二伺服控制体系30的控制周期重复执行“S140～S160的处理或S160的处理”中“仅第一伺服控制体系20的相关处理”以外的处理例如第二伺服控制体系30的相关处理。到此为止所说明的控制器10执行的控制方法能以如下方式整理。即，控制器10执行的控制方法包括：第一轨道生成步骤S120，将从第一逆运动学轨道SP中以不产生相位延迟的方式除去高频成分所得的校正后轨道SPf作为“第一伺服控制体系20的指令轨道”；以及第二轨道生成步骤S150，生成包含与所述高频成分对应的轨道的第二逆运动学轨道IKt第二指令轨道作为“第二伺服控制体系30的指令轨道”。根据所述方法，所述控制方法以与第一逆运动学轨道SP相比不产生相位延迟的方式从第一逆运动学轨道SP中除去高频成分，生成作为第一伺服控制体系20的指令轨道的校正后轨道SPf。此处已知，在利用低通滤波器从第一逆运动学轨道SP中除去高频成分的情况下，除去高频成分后的第一逆运动学轨道SP与除去高频成分前的第一逆运动学轨道SP相比产生相位滞后相位延迟。而且，所产生的相位延迟是由第二伺服控制体系30补偿，即，使第二伺服控制体系30实现原本应由第一伺服控制体系20实现的一部分轨道，从而无法有效利用第二伺服控制体系30的可动范围。相对于此，所述控制方法以相对于第一逆运动学轨道SP不产生相位延迟的方式从第一逆运动学轨道SP中除去高频成分，生成校正后轨道SPf。因此，第一伺服控制体系20能充分追随除去高频成分后的校正后轨道SPf。即，所述控制方法能维持第一伺服控制体系20的追随性。另外，所述控制方法防止产生以前随着所述高频成分的除去而产生的相位延迟，因此无需使第二伺服控制体系30补偿第一伺服控制体系20原本应实现的一部分轨道。即，所述控制方法能有效利用第二伺服控制体系30的可动范围。如以上所整理，所述控制方法能通过除去高频成分而维持第一伺服控制体系20的追随性，并且通过防止产生相位延迟而有效利用第二伺服控制体系30的可动范围。因此，所述控制方法发挥以下效果：能维持第一伺服控制体系20的追随性，并且有效利用第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30各自的可动范围等。关于零相位滤波处理此处，对零相位滤波部130进行的零相位滤波处理零相位滤波进行详细说明。如上文所述，零相位滤波部130对第一逆运动学轨道SPi以时间轴的逆向到正向的顺序即时间轴上逆向逆序进行低通滤波处理，生成校正后轨道SPfi。零相位滤波部130预先求出一阶滞后滤波计算的系数。具体而言，零相位滤波部130预先求出“a＝TsT+Ts”及“b＝TT+Ts”。此处，Ts为采样周期，T为滤波时间常数。零相位滤波部130对第一逆运动学轨道SPi制作使时间轴逆转的暂时轨道数据SPri，求出“SPri＝SPn－i”。零相位滤波部130执行第一次时间轴的逆向滤波计算低通滤波处理，即求出“SPfri＝a×SPri+b×SPri－1”。其中，设定为“SPr-1＝SPr0”。零相位滤波部130使时间轴再次逆转而还原，即求出“SPfni＝SPfrn－i”。零相位滤波部130执行第二次正向滤波计算，求出零相位滤波后的校正后轨道SPfi。即，零相位滤波部130求出“SPfi＝a×SPfni+b×SPfni－1”。其中，设定为“SPfn-1＝SP0”。此处，通过设定为“SPfn-1＝SP0”而非“SPfn-1＝SPfn0”，零相位滤波部130能使开始时的SP不产生跳跃。关于零相位滤波部130通过以时间轴的逆序进行零相位滤波处理即，进行时间轴的逆向到正向的往返一次低通滤波处理而防止产生开始时的数据跳跃的方面，使用图4A～图4C进行说明。关于高频成分的除去方法图4A～图4C为对与从第一逆运动学轨道SPi中除去高频成分的方法相应而校正后轨道SPfi中产生的相位延迟及数据跳跃进行说明的图。图4A～图4C中纵轴为位置，横轴为时间t，图4A、图4B、图4C中分别将上段的开始时刻t＝0附近放大而表示成下段的图。图4A表示对第一逆运动学轨道SPi进行通常的低通滤波处理低通滤波时的第一逆运动学轨道SPi及校正后轨道SPfi。图4A中，低通滤波特性为截止频率10Hz的四阶巴特沃斯型。图4B表示对第一逆运动学轨道SPi执行从时间轴的正向到逆向的往返一次低通滤波处理时的第一逆运动学轨道SPi及校正后轨道SPfi。图4C表示对第一逆运动学轨道SPi执行从时间轴的逆向到正向的往返一次低通滤波处理时的第一逆运动学轨道SPi及校正后轨道SPfi。图4B及图4C中，零相位滤波器的滤波特性为截止频率10Hz的二阶巴特沃斯型。如图4A所示，进行通常的低通滤波处理滤波处理的情况下，此滤波处理导致校正后轨道SPfi与第一逆运动学轨道SPi相比产生相位滞后相位延迟。相对于此，如图4B及图4C所示，通过执行零相位滤波处理，换言之通过“执行时间轴的正向与逆向此两方向上各1次、共计2次滤波处理执行往返一次”，能除去相位滞后。然而，在“执行时间轴的正向到逆向的往返一次滤波处理即，以时间轴的正向到逆向的顺序执行滤波处理”的情况下，如图4B所示，在开始时刻t＝0产生数据跳跃。因此，通过以“时间轴的逆向到正向”的顺序执行零相位滤波处理，换言之通过“执行时间轴的逆向到正向的往返一次滤波处理”，能避免开始时刻的数据跳跃。图4C中，通过以“时间轴的逆向到正向”的顺序执行零相位滤波处理，能避免开始时刻t＝0的数据跳跃。关于控制器发挥的效果使用图5A、图5B等来说明控制器10经由第一伺服驱动器21及第二伺服驱动器31实际上如何控制第一致动器22及第二致动器32。图5A、图5B为表示控制系统1中使用控制器10实施的控制测试控制模拟的内容的图。对于控制器10与现有控制器，针对复杂二维轨迹的X轴成分比较控制性能位置偏差及第二致动器32的动作范围。此外，所谓“现有控制器”，为对从第一逆运动学运算部120取得的第一逆运动学轨道SPi进行低通滤波处理，生成“第一伺服控制体系20的指令轨道”的协调控制控制器。即，控制器10对第一逆运动学轨道SPi进行“零相位滤波处理”而生成“第一伺服控制体系20的指令轨道”。相对于此，“现有控制器”对第一逆运动学轨道SPi进行“低通滤波处理”而生成“第一伺服控制体系20的指令轨道”。关于其他方面，控制器10与现有控制器无异。用于控制测试的二维轨迹是将以下两条曲线1及曲线2合成而成，即设定为“曲线1：圆，1秒1周，半径10mm”，“曲线2：叶形线folium，0.1秒1周，叶数9，叶长2mm”。图5A中示出曲线1+曲线2的XY轨迹。图5A中纵轴为Y轴位置，横轴为X轴位置。图5B中示出图5A的XY轨迹的X轴指令值，图5B中纵轴为X轴指令值位置，横轴为时间t。此外，刚开始后的0.02s期间以一定加速度平稳加速。第一致动器22及第二致动器32均设为XY双轴的构成。第一伺服驱动器21及第二伺服驱动器31各自的控制周期均设为112ms。即，第一伺服驱动器21对第一致动器22的控制周期为112ms，第二伺服驱动器31对第二致动器32的控制周期为112ms。另外，控制器10的控制周期、即控制器10对第一伺服驱动器21低速伺服控制体系及第二伺服驱动器31高速伺服控制体系各自的指令值更新周期设为低速侧：1ms、高速侧：112ms。现有控制器进行的位置等的控制图18A、图18B为针对图5A、图5B所示的控制测试，示出经现有控制器控制的第一致动器22及第二致动器32各自的位置、位置偏差及转矩的变化的图。图18A中，自上而下示出经现有控制器控制的第一致动器22的位置、位置偏差及转矩的变化。图18B中，自上而下示出经现有控制器控制的第二致动器32的位置、位置偏差及转矩的变化。图18A、图18B所示的各图中，横轴均为时间t。图19A、图19B为针对图5A、图5B所示的控制测试，示出经现有控制器控制的第一致动器22及第二致动器32的合计位置图19A及位置偏差图19B的变化的图。图19A、图19B所示的各图中，横轴均为时间t。此外，图19A中，指令值与低速高速合成控制量将第一致动器22的控制量的实测值与第二致动器32的控制量的实测值合计合成的值几乎重合。关于显示图18A、图18B及图19A、图19B的控制测试控制模拟结果的“现有控制器”，低通滤波特性为截止频率10Hz的四阶巴特沃斯型。如上文所述，“现有控制器”除了对第一逆运动学轨道SPi进行“低通滤波处理”代替“零相位滤波处理”而生成“第一伺服控制体系20的指令轨道”的方面以外，与控制器10相同。如图18A、图18B及图19A、图19B所示，使用“现有控制器”的情况下，高速致动器第二致动器32的动作范围为约正负4.5mm图18B的最上段所示的轨迹。使用“现有控制器”的情况下，“低通滤波处理”的相位滞后相位延迟扩大高速致动器侧的动作范围。控制器10进行的位置等的控制图6A、图6B为针对图5A、图5B所示的控制测试，示出经控制器10控制的第一致动器22及第二致动器32各自的位置、位置偏差及转矩的变化的图。图6A中，自上而下示出经控制器10控制的第一致动器22的位置、位置偏差及转矩的变化。图6B中，自上而下示出经控制器10控制的第二致动器32的位置、位置偏差及转矩的变化。图6A、图6B所示的各图中，横轴均为时间t。图7A、图7B为针对图5A、图5B所示的控制测试，示出经控制器10控制的第一致动器22及第二致动器32的合计综合位置图7A及位置偏差图7B的变化的图。图7A、图7B所示的各图中，横轴均为时间t。此外，图7A中，指令值与低速高速合成控制量将第一致动器22的控制量的实测值与第二致动器32的控制量的实测值合计合成的值几乎重合。控制器10对第一逆运动学轨道SPi以“时间轴的逆向到正向”的顺序执行往返一次低通滤波处理，生成“第一伺服控制体系20的指令轨道”。即，控制器10对第一逆运动学轨道SPi以“时间轴的逆向到正向”的顺序执行零相位滤波处理，生成“第一伺服控制体系20的指令轨道”。控制器10所用的低通滤波器的低通滤波特性为截止频率10Hz的二阶巴特沃斯型。低速致动器第一致动器22、高速致动器第二致动器32及综合第一致动器22与第二致动器32的合计的偏差均与使用“现有控制器”的情况同等。然而，使用控制器10的情况下，如图6A、图6B及图7A、图7B所示，高速致动器的动作范围成为约正负2.0mm图6B的最上段所示的轨迹。因此，在使用控制器10的情况下，能将高速致动器的动作范围与使用“现有控制器”的情况的“约正负4.5mm图18B的最上段所示的轨迹”相比减少至12以下。如以上所说明，控制器10通过减少低速致动器第一致动器22的轨道指令轨道的相位滞后，能节省高速致动器第二致动器32的动作范围。[实施方式2]如以下那样根据图8及图9对本发明的实施方式2进行说明。此外，为了便于说明，对与所述实施方式中说明的构件具有相同功能的构件标注相同符号而省略其说明。本实施方式的控制系统2与所述实施方式1的控制系统1的不同方面在于：作为本实施方式的控制装置的控制器11具备包络线平均取得部131代替控制器10的零相位滤波部130。在“具备包络线平均取得部131代替零相位滤波部130”的方面以外的方面，控制器11的构成与控制器10的构成相同。控制装置的概要控制器11控制装置具备：包络线平均取得部131，将从第一逆运动学轨道SP基准轨道中以不产生相位延迟的方式除去高频成分所得的校正后轨道SPf第一指令轨道作为第一伺服控制体系20的指令轨道；以及第二逆运动学运算部150第二轨道生成部，生成包含与所述高频成分对应的轨道的第二逆运动学轨道IKt第二指令轨道作为第二伺服控制体系30的指令轨道。根据所述构成，控制器11以与第一逆运动学轨道SP相比不产生相位延迟的方式从第一逆运动学轨道SP中除去高频成分，生成作为第一伺服控制体系20的指令轨道的校正后轨道SPf。此处已知，在利用低通滤波器从第一逆运动学轨道SP中除去高频成分的情况下，除去高频成分后的第一逆运动学轨道SP与除去高频成分前的第一逆运动学轨道SP相比产生相位滞后相位延迟。而且，所产生的相位延迟是由第二伺服控制体系30补偿，即，使第二伺服控制体系30实现原本应由第一伺服控制体系20实现的一部分轨道，从而无法有效利用第二伺服控制体系30的可动范围。相对于此，控制器11以相对于第一逆运动学轨道SP不产生相位延迟的方式从第一逆运动学轨道SP中除去高频成分而生成校正后轨道SPf。因此，第一伺服控制体系20能充分追随除去高频成分后的校正后轨道SPf。即，控制器11能维持第一伺服控制体系20的追随性。另外，控制器11防止产生以前随着所述高频成分的除去而产生的相位延迟，因此无需使第二伺服控制体系30补偿第一伺服控制体系20原本应实现的一部分轨道。即，控制器11能有效利用第二伺服控制体系30的可动范围。如以上所整理，控制器11能通过除去高频成分而维持第一伺服控制体系20的追随性，并且通过防止产生相位延迟而有效利用第二伺服控制体系30的可动范围。因此，控制器11发挥以下效果：能维持第一伺服控制体系20的追随性，并且有效利用第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30各自的可动范围等。控制器11中，包络线平均取得部131根据表示第一逆运动学轨道SP的曲线的上下包络线的平均而生成校正后轨道SPf。根据所述构成，控制器11根据表示第一逆运动学轨道SP的曲线的上下包络线的平均而生成校正后轨道SPf，由此以与第一逆运动学轨道SP相比不产生相位延迟的方式除去高频成分而生成校正后轨道SPf。即，控制器11能通过除去高频成分而维持第一伺服控制体系20的追随性，并且通过防止产生相位延迟而有效利用第二伺服控制体系30的可动范围。因此，控制器11发挥以下效果：能维持第一伺服控制体系20的追随性，并且有效利用第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30各自的可动范围等。对于到此为止整理了概要的控制器11，接下来使用图8等对其构成等详情进行说明。控制装置的详情图8为表示本发明的实施方式2的控制器等的要部构成等的方块图。如上所述，除了“具备包络线平均取得部131代替零相位滤波部130”的方面以外，控制器11的构成与控制器10的构成相同，因此仅对包络线平均取得部131进行说明。包络线平均取得部131根据表示从第一逆运动学运算部120取得的第一逆运动学轨道SPi的曲线的上下包络线的平均，生成校正后轨道SPfi。使用图9对包络线平均取得部131如何根据第一逆运动学轨道SPi生成校正后轨道SPfi进行说明。图9为对控制器11根据表示第一逆运动学轨道SPi的曲线的上下包络线的平均而生成校正后轨道SPfi的方法进行说明的图，所述第一逆运动学轨道SPi是对目标轨道Tt进行逆运动学运算而生成。图9中纵轴为位置，横轴为时间t。此外，图9中将第一逆运动学轨道SPi简称为“运算轨道”，将表示第一逆运动学轨道SPi的曲线的上包络线简称为“上包络线”，将表示第一逆运动学轨道SPi的曲线的下包络线简称为“下包络线”。进而，将表示“上包络线”与“下包络线”的平均的曲线简称为“平均线”。包络线平均取得部131对“表示第一逆运动学轨道SPi的以时间轴为横轴的曲线”求出上下包络线，将表示此上下包络线的平均的线图9中为“平均线”作为表示校正后轨道SPfi的曲线。包络线平均取得部131根据“表示第一逆运动学轨道SPi的以时间轴为横轴的曲线”的上下包络线的平均而生成校正后轨道SPfi，由此从第一逆运动学轨道SPi中以不产生相位延迟的方式除去高频成分。若整理以上内容，则控制器11从对目标轨道Tt进行逆运动学运算而生成的轨道中以不产生相位延迟的方式除去高频成分，将所得的轨道作为第一致动器22的指令轨道。具体而言，控制器10使用表示第一逆运动学轨道SPi的曲线的上下包络线的平均。控制器11通过减少低速致动器第一致动器22的轨道指令轨道的相位滞后相位延迟，能节省高速致动器第二致动器32的动作范围。因此，控制器11能应对更高速的轨道。另外，控制器11能增强低通滤波器的效果而提高低速致动器的追随性，从而能提高总体第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30整体的控制精度。进而，控制器11能扩展控制系统2中采用的高速致动器的选项，从而能容易地选定所采用的高速致动器。[实施方式3]如以下那样根据图10～图14A、图14B对本发明的实施方式3进行说明。此外，为了便于说明，对与所述实施方式中说明的构件具有相同功能的构件标注相同符号而省略其说明。本实施方式的控制系统3与所述实施方式1的控制系统1的不同方面在于：作为本实施方式的控制装置的控制器12具备模型预测控制ModelPredictiveControl，MPC指令部180代替控制器10的指示部170。在“具备MPC指令部180代替指示部170”方面以外的方面，控制器11的构成与控制器10的构成相同。此外，MPC是指“模型预测控制ModelPredictiveControl”，以下的说明中有时将“模型预测控制”适当简称为“MPC”。控制系统的概要图11为表示包含控制器12的控制系统3的整体概要的图。在控制系统3的控制器12中设定有预先制作的低速伺服系统第一伺服控制体系20的动特性模型。控制器12使用第一伺服控制体系20的动特性模型对第一伺服控制体系20进行模型预测控制。具体而言，控制器12通过使用第一伺服控制体系20的动特性模型的MPC，对根据校正后轨道SPfi在对第一伺服控制体系20的每个控制周期中生成的第一指令值Pci进行校正。然后，控制器12将经校正的第一指令值Pci输出至第一伺服控制体系20。控制器12也可使用第二伺服控制体系30的动特性模型对第二伺服控制体系30进行MPC。控制器12通过MPC的位置校正控制而减少低速致动器第一致动器22侧的响应滞后，由此提高追随性能。控制装置的概要控制器12控制装置具备第一响应预测部183预测部，此第一响应预测部183预测部使用第一伺服控制体系20的动特性模型，预测与校正后轨道SPf对应的第一伺服控制体系20的响应。根据所述构成，控制器12使用第一伺服控制体系20的动特性模型，预测与校正后轨道SPf对应的第一伺服控制体系20的响应。因此，控制器12发挥以下效果：能使用第一伺服控制体系20的动特性模型，预测与校正后轨道SPf对应的第一伺服控制体系20的响应。控制器12中，第一响应预测部183使用第一伺服控制体系20的动特性模型，预测针对根据校正后轨道SPf生成的第一指令值Pc的第一伺服控制体系20的输出即控制量。控制器12具备将经模型预测控制进行了校正的第一指令值Pc输出至第一伺服控制体系20的第一MPC位置指令部181指示部，所述模型预测控制使用由第一响应预测部183预测出的控制量、及从第一伺服控制体系20作为反馈信息而取得的“第一伺服控制体系20的控制量的实测值”。根据所述构成，控制器12将经模型预测控制进行了校正的第一指令值Pc输出至第一伺服控制体系20，所述模型预测控制使用“使用第一伺服控制体系20的动特性模型预测的控制量”及“第一伺服控制体系20的控制量的实测值”。因此，控制器12发挥以下效果：能提高第一伺服控制体系20对校正后轨道SPf的追随性能，进而能提高第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30整体的追随性能。控制器12为使用第一伺服控制体系20的动特性模型预测响应滞后，并在第一伺服控制体系20中挽回预测出的响应滞后的协调控制控制器。即，控制器12通过使用第一伺服控制体系20的动特性模型的模型预测控制的位置校正控制，提高低速致动器第一致动器22的轨道追随性。另外，控制器12通过使用第二伺服控制体系30的动特性模型的模型预测控制的位置校正控制，提升高速致动器第二致动器32的轨道追随性。对于到此为止整理了概要的控制器12，接下来使用图10等对其构成等详情进行说明。控制装置的详情图10为表示控制器12等的要部构成等的方块图。如上文所述，除了“具备MPC指令部180代替指示部170”的方面以外，控制器12的构成与控制器10的构成相同，因此仅对MPC指令部180进行说明。MPC指令部180包含将第一指令值Pci输出至第一伺服控制体系20的第一MPC位置指令部181、及将第二指令值Sci输出至第二伺服控制体系30的第二MPC位置指令部182。第一MPC位置指令部181含有第一响应预测部183，第一响应预测部183中设定有预先制作的第一伺服控制体系20的动特性模型。第一响应预测部183也可预先制作第一伺服控制体系20的动特性模型，并自行设定所制作的第一伺服控制体系20的动特性模型。第一MPC位置指令部181执行以下两个处理。第一，第一MPC位置指令部181在对第一伺服控制体系20的每个控制周期中，根据“第一伺服控制体系20的指令轨道”生成第一伺服控制体系20的各轴的第一指令值Pci。例如，第一MPC位置指令部181参照存储部160的第一指示轨道表161，取得校正后轨道SPfi作为“第一伺服控制体系20的指令轨道”。而且，第一MPC位置指令部181例如每隔1ms根据校正后轨道SPfi生成第一伺服控制体系20的各轴的第一指令值Pci。第二，第一MPC位置指令部181通过模型预测控制对根据校正后轨道SPfi在对第一伺服控制体系20的每个控制周期中生成的第一指令值Pci进行校正，将经校正的第一指令值Pci输出至第一伺服控制体系20。具体而言，第一响应预测部183使用所设定的第一伺服控制体系20的动特性模型，预测针对第一指令值Pci的第一伺服控制体系20的输出即控制量。第一MPC位置指令部181执行模型预测控制，此模型预测控制使用由第一响应预测部183预测出的控制量、及从第一伺服控制体系20作为反馈信息而取得的第一伺服控制体系20的控制量的实测值。即，第一MPC位置指令部181利用第一响应预测部183使用第一伺服控制体系20的动特性模型预测出的“第一伺服控制体系20的输出即控制量”、及第一伺服控制体系20的控制量的实测值，对第一指令值Pci进行校正。然后，第一MPC位置指令部181在对第一伺服控制体系20的每个控制周期中，将使用模型预测控制进行了校正的第一指令值Pci输出至第一伺服控制体系20。第一MPC位置指令部181例如每隔1ms将经校正的第一指令值Pci输出至第一伺服控制体系20。第二MPC位置指令部182包含第二响应预测部184，第二响应预测部184中设定有预先制作的第二伺服控制体系30的动特性模型。第二响应预测部184也可预先制作第二伺服控制体系30的动特性模型，并自行设定所制作的第二伺服控制体系30的动特性模型。第二MPC位置指令部182执行以下两个处理。第一，第二MPC位置指令部182在对第二伺服控制体系30的每个控制周期中，根据“第二伺服控制体系30的指令轨道”生成第二伺服控制体系30的各轴的第二指令值Sci。例如，第二MPC位置指令部182参照存储部160的第二指示轨道表162，取得第二逆运动学轨道IKti作为“第二伺服控制体系30的指令轨道”。而且，第二MPC位置指令部182例如每隔112ms根据第二逆运动学轨道IKti生成第二伺服控制体系30的各轴的第二指令值Sci。第二，第二MPC位置指令部182通过模型预测控制对根据第二逆运动学轨道IKti在对第二伺服控制体系30的每个控制周期中生成的第二指令值Sci进行校正，将经校正的第二指令值Sci输出至第二伺服控制体系30。具体而言，第二响应预测部184使用所设定的第二伺服控制体系30的动特性模型，预测针对第二指令值Sci的第二伺服控制体系30的输出即控制量。第二MPC位置指令部182执行模型预测控制，此模型预测控制使用由第二响应预测部184预测出的控制量、及从第二伺服控制体系30作为反馈信息而取得的第二伺服控制体系30的控制量的实测值。即，第二MPC位置指令部182利用第二响应预测部184使用第二伺服控制体系30的动特性模型预测出的“第二伺服控制体系30的输出即控制量”、及第二伺服控制体系30的控制量的实测值，对第二指令值Sci进行校正。然后，第二MPC位置指令部182将使用模型预测控制进行了校正的第二指令值Sci在对第二伺服控制体系30的每个控制周期中输出至第二伺服控制体系30。第二MPC位置指令部182例如每隔112ms将经校正的第二指令值Sci输出至第二伺服控制体系30。关于动特性模型第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30各自的动特性模型例如可如以下的式1所示的离散时间传递函数那样表示。式1中，u表示输入，y表示输出控制量的预测，即控制量的预测值，d、a1～an及b1～bm表示特性参数，z-1表示延迟运算符。控制器12中，对第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30分别预先制作式1所例示那样的动特性模型，并将所制作的各动特性模型分别设定在第一响应预测部183及第二响应预测部184中。此外，MPC指令部180无需具备第二MPC位置指令部182及第二响应预测部184，控制器12只要至少具备第一MPC位置指令部181及第一响应预测部183即可。即，控制器12只要能通过使用第一伺服控制体系20的动特性模型的模型预测控制而减少低速致动器第一致动器22侧的响应滞后即可。在第二致动器32也有改善追随性的余地的情况下，控制器12也可通过使用第二伺服控制体系30的动特性模型的模型预测控制对第二指令值Sci进行校正，提高第二致动器32的追随性能。关于控制器执行的处理图12为表示控制器12执行的处理的概要的流程图。控制器12预先制作第一伺服控制体系20的动特性模型，并使用所制作的第一伺服控制体系20的动特性模型执行低速致动器第一致动器22侧的MPC位置校正控制。具体而言，控制器12通过使用第一伺服控制体系20的动特性模型的MPC对第一指令值Pci进行校正，并将经校正的第一指令值Pci输出至第一伺服控制体系20。在高速致动器第二致动器32也有改善追随性的余地的情况下，控制器12也可将MPC位置校正控制也应用于对第二致动器32的控制。换言之，控制器12通过将MPC位置校正控制也应用于对第二致动器32的控制，能减少第二致动器32的响应滞后引起的追随误差。以下，使用图12来说明控制器12对第一致动器22及第二致动器32执行MPC位置校正控制的情况下控制器12执行的处理的详情。控制器12对低速伺服系统第一伺服控制体系20及高速伺服系统第二伺服控制体系30分别预先制作动特性模型，并设定在第一响应预测部183及第二响应预测部184中S210。第一逆运动学运算部120根据目标轨道Tt生成第一致动器22各轴的指令值，即对目标轨道Tt进行逆运动学运算而生成第一逆运动学轨道SPiS220。零相位滤波部130对各轴的轨道即第一逆运动学轨道SPi执行零相位滤波，将生成的校正后轨道SPfi存储在存储部160的第一指示轨道表161中S230。控制器12计算“根据零相位滤波后的指令轨道生成的指令值与目标轨道的指令值的差值”，并根据计算出的差值生成高速致动器第二致动器32各轴的指令值。例如，正运动学运算部140通过正运动学运算根据零相位滤波后的轨道即校正后轨道SPfi生成中间轨道即正运动学轨道FKtS240。然后，第二逆运动学运算部150计算中间轨道与目标轨道Tt的差值误差S250。接着，第二逆运动学运算部150使用S250中计算出的误差差值，计算第二致动器32各轴的轨道，并存储在存储部160的第二指示轨道表162中S260。具体而言，第二逆运动学运算部150对“中间轨道即正运动学轨道FKt与目标轨道Tt的误差”进行逆运动学运算，生成作为第二伺服控制体系30的各轴的指令轨道的第二逆运动学轨道IKti。然后，第二逆运动学运算部150将生成的第二逆运动学轨道IKti存储在存储部160的第二指示轨道表162中。第二逆运动学运算部150生成包含和第一逆运动学轨道SP与校正后轨道SPf的误差对应的轨道的第二逆运动学轨道IKt。具体而言，第二逆运动学运算部150以“校正后轨道SPf和第二逆运动学轨道IKt的合成轨道与目标轨道Tt一致”的方式，生成包含和第一逆运动学轨道SP与校正后轨道SPf的误差对应的轨道的第二逆运动学轨道IKt。控制器12通过MPC位置校正控制而计算对低速伺服系统及高速伺服系统各自的校正后指令值，并将计算出的校正后指令值分别输出至低速伺服系统及高速伺服系统S270。具体而言，MPC指令部180通过使用第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30的动特性模型的MPC对第一指令值Pci及第二指令值Sci分别进行校正，并将经校正的第一指令值Pci及第二指令值Sci输出。第一MPC位置指令部181通过使用第一伺服控制体系20的动特性模型的MPC对第一指令值Pci进行校正，所述第一指令值Pci是根据第一指示轨道表161中存储的校正后轨道SPfi在对第一伺服控制体系20的每个控制周期中生成。然后，第一MPC位置指令部181将经校正的第一指令值Pci输出至第一伺服控制体系20。第二MPC位置指令部182通过使用第二伺服控制体系30的动特性模型的MPC对第二指令值Sci进行校正，所述第二指令值Sci是根据第二指示轨道表162中存储的第二逆运动学轨道IKti在对第二伺服控制体系30的每个控制周期中生成。然后，第二MPC位置指令部182将经校正的第二指令值Sci输出至第二伺服控制体系30。接着，控制器12一面判定是否到达轨道终点S280，一面在每个控制周期中重复S250～S270的处理或S270的处理。具体而言，控制器12一面判定是否到达轨道终点S280，一面以对第一伺服控制体系20的控制周期重复执行“S250～S270的处理或S270的处理”中“仅第一伺服控制体系20的相关处理”。另外，控制器12一面判定是否到达轨道终点S280，一面以对第二伺服控制体系30的控制周期重复执行“S250～S270的处理或S270的处理”中“仅第一伺服控制体系20的相关处理”以外的处理例如第二伺服控制体系30的相关处理。关于控制器发挥的效果图13A、图13B为针对图5A、图5B所示的控制测试，示出经控制器12控制的第一致动器22及第二致动器32各自的位置、位置偏差、模型预测误差及转矩的变化的图。图13A中，自上而下示出经控制器12控制的第一致动器22的位置、位置偏差、模型预测误差及转矩的变化。图13B中，自上而下示出经控制器12控制的第二致动器32的位置、位置偏差、模型预测误差及转矩的变化。图13A、图13B所示的各图中，横轴均为时间t。图14A、图14B为针对图5A、图5B所示的控制测试，示出经控制器12控制的第一致动器22及第二致动器32的合计位置图14A及位置偏差图14B的变化的图。图14A、图14B所示的各图中，横轴均为时间t。此外，图14A中，指令值与低速高速合成控制量将第一致动器22的控制量的实测值与第二致动器32的控制量的实测值合计合成的值几乎重合。控制器12对第一逆运动学轨道SPi以“时间轴的逆向到正向”的顺序执行往返一次低通滤波处理，生成“第一伺服控制体系20的指令轨道”。即，控制器12对第一逆运动学轨道SPi以“时间轴的逆向到正向”的顺序执行零相位滤波处理，生成“第一伺服控制体系20的指令轨道”。控制器12所用的低通滤波器的低通滤波特性为截止频率10Hz的二阶巴特沃斯型。控制器12进一步通过使用第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30的动特性模型的MPC对第一指令值Pci及第二指令值Sci分别进行校正，提高追随性能。控制器12与控制器10同样地，与示出图18A、图18B及图19A、图19B的控制结果的现有控制器相比，能通过减少低速致动器的指令轨道的相位滞后而节省高速致动器的动作范围。另外，图14B所例示的位置偏差与图7B所例示的位置偏差相比也变得特别小。[实施方式4]如以下那样根据图15～图17对本发明的实施方式4进行说明。此外，为了便于说明，对与所述实施方式中说明的构件具有相同功能的构件标注相同符号而省略其说明。本实施方式的控制系统4与所述实施方式1的控制系统1的不同方面在于：作为本实施方式的控制装置的控制器13除了控制器10的构成以外，具备响应预测部190。在“还具备响应预测部190”的方面以外的方面，控制器13的构成与控制器10的构成相同。控制系统的概要图16为表示包含控制器13的控制系统4的整体概要的图。控制系统4的控制器13中，设定有预先制作的低速伺服系统第一伺服控制体系20的动特性模型。控制器13使用所设定的低速伺服系统的动特性模型，预测与零相位滤波处理后的校正后轨道SPfi对应的低速伺服即第一伺服控制体系20的响应。此处，上文所述的控制器12与控制器13在使用第一伺服控制体系20的动特性模型预测响应滞后的方面相同。控制器12与控制器13不同的是在何处挽回预测出的响应滞后。控制器12在第一伺服控制体系20中挽回预测出的响应滞后，相对于此，控制器13在第二伺服控制体系30第二致动器32中挽回预测出的响应滞后。控制器13预测第一致动器22的响应，并将响应滞后部分反映在第二致动器32的指令轨道中，由此在第二伺服控制体系30第二致动器32中挽回响应滞后部分。具体而言，控制器13对“对预测出的第一伺服控制体系20的响应进行正运动学运算而生成的中间轨道与目标轨道Tt的误差”进行逆运动学运算，生成第二伺服控制体系30的指令轨道。通过所述方法，控制器13生成反映出“预测出的第一伺服控制体系20第一致动器22的响应”的“第二伺服控制体系30的指令轨道”。然后，控制器13根据反映出“预测出的第一伺服控制体系20的响应”的“第二伺服控制体系30的指令轨道”，生成作为“对第二伺服控制体系30的指令值”的第二指令值Sci。控制器13将生成的第二指令值Sci输出至第二伺服控制体系30，由此能提高第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30整体的追随性能。即，控制器13通过在第二致动器32侧弥补第一致动器22侧的响应滞后部分，而提高第一致动器22与第二致动器32的合计综合追随性能。然而，控制器13的控制与控制器12的控制相比，有扩大第二致动器32的动作范围的倾向。控制装置的概要控制器13控制装置具备响应预测部190预测部，此响应预测部190预测部使用第一伺服控制体系20的动特性模型，预测与校正后轨道SPf对应的第一伺服控制体系20的响应。根据所述构成，控制器13使用第一伺服控制体系20的动特性模型，预测与校正后轨道SPf对应的第一伺服控制体系20的响应。因此，控制器13发挥以下效果：能使用第一伺服控制体系20的动特性模型，预测与校正后轨道SPf对应的第一伺服控制体系20的响应。控制器13中，第二逆运动学运算部150第二轨道生成部生成包含和正运动学轨道FKt中间轨道与第一逆运动学轨道SP或目标轨道Tt的误差对应的轨道的第二逆运动学轨道IKt第二指令轨道，所述正运动学轨道FKt中间轨道是使用由响应预测部190预测出的第一伺服控制体系20的响应而生成。即，第二逆运动学运算部150生成包含与“利用零相位滤波部130从第一逆运动学轨道SPi中除去的高频成分”对应的轨道的第二逆运动学轨道IKt，作为“第二伺服控制体系30的指令轨道”。具体而言，第二逆运动学运算部150生成包含和第一逆运动学轨道SP与中间轨道的误差对应的轨道的第二逆运动学轨道IKt，所述中间轨道是根据由响应预测部190预测出的第一伺服控制体系20的响应而生成。第二逆运动学运算部150以“中间轨道和第二逆运动学轨道IKt的合成轨道与目标轨道Tt一致”的方式，生成包含和第一逆运动学轨道SP与中间轨道的误差对应的轨道的第二逆运动学轨道IKt。另外，第二逆运动学运算部150例如也可使用目标轨道Tt与中间轨道的误差生成第二逆运动学轨道IKt。即，第二逆运动学运算部150也能以“中间轨道和第二逆运动学轨道IKt的合成轨道与目标轨道Tt一致”的方式，使用目标轨道Tt与中间轨道的误差生成第二逆运动学轨道IKt。根据所述构成，控制器13生成包含和正运动学轨道FKt与第一逆运动学轨道SP或目标轨道Tt的误差对应的轨道的第二逆运动学轨道IKt，所述正运动学轨道FKt是使用由响应预测部190预测出的第一伺服控制体系20的响应而生成。因此，控制器13发挥以下效果：能利用第二伺服控制体系30补偿第一伺服控制体系20的响应滞后，从而能提高第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30整体的追随性能。对于到此为止整理了概要的控制器13，接下来使用图15等对其构成等详情进行说明。控制装置的详情图15为表示本发明的实施方式4的控制器13等的要部构成等的方块图。如上文所述，除了“还具备响应预测部190”的方面以外，控制器13的构成与控制器10的构成相同，因此仅对响应预测部190进行说明。响应预测部190预先制作低速伺服系统即第一伺服控制体系20的动特性模型，并使用所制作的动特性模型，预测与零相位滤波部130生成的校正后轨道SPfi对应的第一伺服控制体系20的响应。响应预测部190将预测出的第一伺服控制体系20的响应输出至正运动学运算部140，正运动学运算部140对由响应预测部190预测出的第一伺服控制体系20的响应进行正运动学运算，由此生成正运动学轨道FKt中间轨道。响应预测部190所使用的“第一伺服控制体系20的动特性模型”例如也可如上文所述的式1所示的离散时间传递函数那样表示。关于控制器执行的处理图17为表示控制器13执行的处理的概要的流程图。首先，制作低速伺服系统第一伺服控制体系20的动特性模型，并设定在低速伺服响应预测部即响应预测部190中S310。第一逆运动学运算部120根据目标轨道Tt生成第一致动器22各轴的指令值，即，对目标轨道Tt进行逆运动学运算而生成第一逆运动学轨道SPiS320。零相位滤波部130对各轴的轨道即第一逆运动学轨道SPi执行零相位滤波，将生成的校正后轨道SPfi存储在存储部160的第一指示轨道表161中S330。响应预测部190使用第一伺服控制体系20的动特性模型，预测计算针对校正后轨道SPfi的低速伺服系统的各轴的响应，即预测与校正后轨道SPfi对应的第一伺服控制体系20的响应S340。控制器13计算“预测响应第一伺服控制体系20的控制量的预测值与目标轨道的指令值的差值”，根据计算出的差值生成高速致动器第二致动器32各轴的指令值。例如，正运动学运算部140对由响应预测部190预测出的第一伺服控制体系20的响应第一伺服控制体系20的控制量的预测值进行正运动学运算，生成中间轨道即正运动学轨道FKtS350。然后，第二逆运动学运算部150计算中间轨道与目标轨道Tt的差值误差S360。接着，第二逆运动学运算部150使用S360中计算出的误差差值，计算第二致动器32各轴的轨道，并存储在存储部160的第二指示轨道表162中S370。具体而言，第二逆运动学运算部150对“中间轨道即正运动学轨道FKt与目标轨道Tt的误差”进行逆运动学运算，生成作为第二伺服控制体系30的各轴的指令轨道的第二逆运动学轨道IKti。然后，第二逆运动学运算部150将生成的第二逆运动学轨道IKti存储在存储部160的第二指示轨道表162中。第二逆运动学运算部150生成第二逆运动学轨道IKt，此第二逆运动学轨道IKt包含和第一逆运动学轨道SP与“根据由响应预测部190预测出的第一伺服控制体系20的响应而生成的中间轨道”的误差对应的轨道。指示部170根据存储的各轴的轨道，将当前时刻的指令值输出给低速伺服系统即第一伺服控制体系20及高速伺服系统即第二伺服控制体系30S380。具体而言，第一指示部171根据第一指示轨道表161中存储的校正后轨道SPfi，在对第一伺服控制体系20的每个控制周期中生成第一指令值Pci，并将生成的第一指令值Pci输出至第一伺服控制体系20。另外，第二指示部172根据第二指示轨道表162中存储的第二逆运动学轨道IKti，在对第二伺服控制体系30的每个控制周期中生成第二指令值Sci，并将生成的第二指令值Sci输出至第二伺服控制体系30。控制器13一面判定是否到达轨道终点S390，一面在每个控制周期中重复S360～S380的处理或S380的处理。具体而言，控制器13一面判定是否到达轨道终点S390，一面以对第一伺服控制体系20的控制周期重复执行“S360～S380的处理或S380的处理”中“仅第一伺服控制体系20的相关处理”。另外，控制器13一面判定是否到达轨道终点S390，一面以对第二伺服控制体系30的控制周期重复执行“S360～S380的处理或S380的处理”中“仅第一伺服控制体系20的相关处理”以外的处理例如第二伺服控制体系30的相关处理。[变形例]到此为止，对控制器10、控制器11、控制器12及控制器13协调控制第一伺服控制体系20及第二伺服控制体系30此两个伺服控制体系的示例进行了说明。但是，控制器10、控制器11、控制器12及控制器13协调控制的伺服控制体系未必是两个。控制器10、控制器11、控制器12及控制器13只要能对多个伺服控制体系分别输出使用目标轨道Tt生成的指令值，协调控制所述多个伺服控制体系即可。[利用软件的实现例]控制器10、控制器11、控制器12及控制器13的控制块特别是目标轨道取得部110、第一逆运动学运算部120、零相位滤波部130、包络线平均取得部131、正运动学运算部140、第二逆运动学运算部150、指示部170、第一指示部171、第二指示部172、MPC指令部180、第一MPC位置指令部181、第二MPC位置指令部182、第一响应预测部183、第二响应预测部184及响应预测部190可利用由集成电路集成电路IntegratedCircuit，IC芯片等形成的逻辑电路硬盘实现，也可利用软件来实现。后者的情况下，控制器10、控制器11、控制器12及控制器13具备计算机，此计算机执行作为实现各功能的软件的程序的命令。所述计算机例如具备一个以上的处理器，并且具备存储着所述程序且能由计算机读取的记录介质。而且，所述计算机通过所述处理器从所述记录介质中读取所述程序并执行而达成本发明的目的。所述处理器例如能使用CPUCentralProcessingUnit。所述记录介质能使用“非暂时性的有形介质”，例如除了ROMReadOnlyMemory等以外，还能使用磁带tape、光盘disc、卡card、半导体存储器、可编程的逻辑电路等。另外，也可还具备展开所述程序的RAMRandomAccessMemory等。另外，所述程序也可经由能传输此程序的任意传输介质通信网络或广播波等而提供给所述计算机。此外，本发明的一实施方式也能以通过电子传输将所述程序具体化的嵌入到载波中的数据信号的形态实现。本发明不限定于所述各实施方式，可在权利要求所示的范围内进行各种变更，将不同实施方式中分别公开的技术方案适当组合所得的实施方式也包括在本发明的技术范围内。

权利要求：1.一种控制装置，其特征在于，包括：第一轨道生成部，将从基准轨道中以不产生相位延迟的方式除去高频成分所得的第一指令轨道作为第一伺服控制体系的指令轨道；以及第二轨道生成部，生成包含与所述高频成分对应的轨道的第二指令轨道作为第二伺服控制体系的指令轨道。2.根据权利要求1所述的控制装置，其特征在于：所述第一轨道生成部对所述基准轨道在时间轴的正向与逆向此两方向上进行低通滤波处理，生成所述第一指令轨道。3.根据权利要求2所述的控制装置，其特征在于：所述第一轨道生成部对所述基准轨道以时间轴的逆向到正向的顺序进行所述低通滤波处理，生成所述第一指令轨道。4.根据权利要求1所述的控制装置，其特征在于：所述第一轨道生成部根据表示所述基准轨道的曲线的上下包络线的平均而生成所述第一指令轨道。5.根据权利要求1至4中任一项所述的控制装置，其特征在于，还包括预测部，所述预测部使用所述第一伺服控制体系的动特性模型，预测与所述第一指令轨道对应的所述第一伺服控制体系的响应。6.根据权利要求5所述的控制装置，其特征在于：所述预测部使用所述第一伺服控制体系的动特性模型，针对根据所述第一指令轨道生成的第一指令值的所述第一伺服控制体系的输出的控制量进行预测，且所述控制装置还包括指示部，所述指示部将经模型预测控制进行了校正的所述第一指令值输出至所述第一伺服控制体系，其中所述模型预测控制使用由所述预测部预测出的控制量、及从所述第一伺服控制体系取得的作为反馈信息的所述第一伺服控制体系的控制量的实测值。7.根据权利要求5所述的控制装置，其特征在于：所述第二轨道生成部生成包含和中间轨道与所述基准轨道的误差对应的轨道的所述第二指令轨道，其中所述中间轨道是使用由所述预测部预测出的所述第一伺服控制体系的响应而生成。8.一种控制装置的控制方法，其特征在于，包括：第一轨道生成步骤，将从基准轨道中以不产生相位延迟的方式除去高频成分所得的第一指令轨道作为第一伺服控制体系的指令轨道；以及第二轨道生成步骤，生成包含与所述高频成分对应的轨道的第二指令轨道作为第二伺服控制体系的指令轨道。9.一种记录介质，其特征在于，能由计算机读取且记录着一种信息处理程序，所述信息处理程序用于使计算机作为权利要求1至4中任一项所述的控制装置而发挥所述控制装置中的所述各部的功能。

百度查询： 欧姆龙株式会社 控制装置、控制方法及记录介质

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