申请/专利权人：浜松光子学株式会社

申请日：2018-03-14

公开（公告）日：2021-09-21

公开（公告）号：CN110392857B

主分类号：G02B26/00(20060101)

分类号：G02B26/00(20060101);B81B3/00(20060101);G01J3/45(20060101);G01N21/35(20140101);G02B26/06(20060101)

优先权：["20170314 JP 2017-048569"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.09.21#授权;2019.11.22#实质审查的生效;2019.10.29#公开

摘要：本发明光组件包括支承层2、设置在支承层2上的器件层3、和安装于器件层3的可动反射镜5。器件层3具有：安装有可动反射镜5的安装区域31、和与安装区域31连接的驱动区域32。在支承层2与器件层3之间形成有至少与安装区域31和驱动区域32对应的空间S1。安装区域31被驱动区域32中包含的一对弹性支承区域34夹着，由一对弹性支承区域34支承。

主权项：1.一种光组件，其特征在于，包括：支承层；设置在所述支承层上的器件层；和安装于所述器件层的可动反射镜，所述器件层具有：用于安装所述可动反射镜的安装区域；和与所述安装区域连接的驱动区域，在所述支承层与所述器件层之间形成有至少与所述安装区域和所述驱动区域对应的空间，所述安装区域被所述驱动区域中包含的一对弹性支承区域夹着，由所述一对弹性支承区域支承，包含所述可动反射镜的反射镜面的面，与包含所述安装区域中与所述空间相反侧的表面的面相交。

全文数据：光组件技术领域本发明涉及光组件。背景技术已知有通过MEMSMicroElectroMechanicalSystems技术在SOISiliconOnInsulator基片上形成有干涉光学系统的光组件例如，参照专利文献1。这种光组件因可提供实现了高精度的光学配置的FTIR傅里叶变换红外光谱分析器而备受关注。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特表2012-524295号公报发明内容发明要解决的课题但是，在上述那样的光组件中，例如在可动反射镜的尺寸依赖于对SOI基片的深钻加工的成熟度这方面，存在如下所述的课题。即，因为对SOI基片的深钻加工的成熟度最大为500μm左右，所以加大可动反射镜的尺寸来提高FTIR的灵敏度是有限的。因此，考虑将分体形成的可动反射镜安装在器件层例如，在SOI基片中，形成驱动区域的层上的技术。本发明的目的在于，提供一种光组件，其可实现安装于器件层的可动反射镜的可靠移动。用于解决课题的方法本发明的一个方面的光组件包括：支承层；设置在支承层上的器件层；和安装于器件层的可动反射镜，器件层具有：用于安装可动反射镜的安装区域；和与安装区域连接的驱动区域，在支承层与器件层之间形成有至少与安装区域和驱动区域对应的空间，安装区域被驱动区域中包含的一对弹性支承区域夹着，由一对弹性支承区域支承。在该光组件中，在器件层中，安装有可动反射镜的安装区域被一对弹性支承区域夹着，由一对弹性支承区域支承。由此，例如与从安装区域延伸的区域由弹性支承区域支承那样的情况相比，能够使安装有可动反射镜的安装区域稳定地移动。因此，根据该光组件，可实现安装于器件层的可动反射镜的可靠移动。本发明的一个方面的光组件也可以还包括设置于支承层与器件层之间的中间层，在中间层上形成有开口，空间包括开口内的区域，支承层为SOI基片的第1硅层，器件层为SOI基片的第2硅层，中间层为SOI基片的绝缘层。由此，能够利用SOI基片来适当实现安装于器件层的可动反射镜的用于可靠移动的结构。在本发明的一个方面的光组件中，在从安装区域进行移动的方向观察的情况下，一对弹性支承区域可以从两侧夹着安装区域。由此，能够简化安装于器件层的可动反射镜的用于可靠移动的结构。在本发明的一个方面的光组件中，可动反射镜的反射镜面也可以与安装区域交叉。由此，能够使可动反射镜的重心位置接近安装区域，所以能够使安装有可动反射镜的安装区域更稳定地移动。本发明的一个方面的光组件也可以还包括：固定反射镜，其安装于支承层、器件层、和设置于支承层与器件层之间的中间层中的至少一者；和分束器，其安装于支承层、器件层、和中间层中的至少一者，可动反射镜、固定反射镜和分束器以构成干涉光学系统的方式配置。由此，能够得到提高了灵敏度的FTIR。本发明的一个方面的光组件也可以还包括：光入射部，其以能够从外部向干涉光学系统入射测量光的方式配置；和光出射部，其以能够从干涉光学系统向外部出射测量光的方式配置。由此，能够得到包括光入射部和光出射部的FTIR。发明的效果根据本发明，能够提供一种可实现安装于器件层的可动反射镜的可靠移动的光组件。附图说明图1是一个实施方式的光组件的俯视图。图2是沿着图1所示的II-II线的截面图。图3是沿着图1所示的III-III线的截面图。图4是沿着图1所示的IV-IV线的截面图。图5是沿着图1所示的V-V线的截面图。图6是用于对比较例的可动反射镜和安装区域的抗振性进行说明的图。图7是另一个实施方式的光组件的俯视图。图8是沿着图7所示的VIII-VIII线的截面图。图9是沿着图7所示的IX-IX线的截面图。图10是可动反射镜和其周边构造的变形例的俯视图。图11是可动反射镜和其周边构造的变形例的俯视图。图12是可动反射镜和其周边构造的变形例的俯视图。图13是可动反射镜和其周边构造的变形例的俯视图。具体实施方式下面，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。此外，在各图中，在相同或相当部分附带同一符号，省略重复的部分。[光组件的结构]如图1所示，光组件1具备：支承层2、设置在支承层2上的器件层3、和设置在支承层2与器件层3之间的中间层4。支承层2、器件层3和中间层4由SOI基片构成。具体地说，支承层2为SOI基片的第1硅层。器件层3为SOI基片的第2硅层。中间层4为SOI基片的绝缘层。支承层2、器件层3和中间层4在从它们的层叠方向即Z轴方向平行于Z轴的方向观察的情况下，例如呈一边为10mm左右的矩形状。支承层2和器件层3各自的厚度例如为数百μm左右。中间层4的厚度例如为数μm左右。此外，在图1中，以器件层3的一个角部和中间层4的一个角部被切掉的状态表示出了器件层3和中间层4。器件层3具有安装区域31和与安装区域31连接的驱动区域32。驱动区域32包括一对致动器区域33和一对弹性支承区域34。安装区域31和驱动区域32即，安装区域31以及一对致动器区域33和一对弹性支承区域34通过MEMS技术图案化和蚀刻而一体地形成于器件层3的一部分。一对致动器区域33在X轴方向与Z轴正交且与X轴平行的方向上配置于安装区域31的两侧。即，安装区域31在X轴方向上被一对致动器区域33夹着。各致动器区域33经由中间层4固定于支承层2。在各致动器区域33中的安装区域31侧的侧面上设有第1梳齿部33a。各第1梳齿部33a通过去除其正下方的中间层4，成为相对于支承层2浮起的状态。在各致动器区域33内设有第1电极35。一对弹性支承区域34在Y轴方向与Z轴和X轴正交且与Y轴平行的方向上配置于安装区域31的两侧。即，安装区域31在Y轴方向上被一对弹性支承区域34夹着。各弹性支承区域34的两端部34a经由中间层4固定于支承层2。各弹性支承区域34的弹性变形部34b两端部34a之间的部分具有由多个板簧连结而成的构造。各弹性支承区域34的弹性变形部34b通过去除其正下方的中间层4，成为相对于支承层2浮起的状态。在各弹性支承区域34内，分别在两端部34a设有第2电极36。在安装区域31内连接有各弹性支承区域34的弹性变形部34b。安装区域31通过去除其正下方的中间层4，成为相对于支承层2浮起的状态。即，安装区域31由一对弹性支承区域34支承。在安装区域31中的各致动器区域33侧的侧面上设有第2梳齿部31a。各第2梳齿部31a通过去除其正下方的中间层4，成为相对于支承层2浮起的状态。在彼此相对的第1梳齿部33a和第2梳齿部31a，第1梳齿部33a的各梳齿位于第2梳齿部31a的各梳齿间。在从平行于X轴的方向A观察的情况下，一对弹性支承区域34从两侧夹着安装区域31，当安装区域31沿方向A移动时，弹性力就会作用于安装区域31，以使安装区域31返回初始位置。因此，当对第1电极35和第2电极36之间施加电压而彼此相对的第1梳齿部33a与第2梳齿部31a之间受到静电引力的作用时，安装区域31就会沿着方向A移动至该静电引力和一对弹性支承区域34的弹性力平衡的位置。这样，驱动区域32作为静电致动器发挥功能。光组件1还包括：可动反射镜5、固定反射镜6、分束器7、光入射部8和光出射部9。可动反射镜5、固定反射镜6和分束器7以构成迈克尔逊干涉光学系统即干涉光学系统10的方式配置在器件层3上。可动反射镜5在X轴方向上的分束器7的一侧，安装在器件层3的安装区域31内。可动反射镜5具有的反射镜部51的反射镜面51a相对于器件层3，位于支承层2相反侧。反射镜面51a例如是垂直于X轴方向的面即，垂直于方向A的面，面向分束器7侧。固定反射镜6在Y轴方向上的分束器7的一侧，位于器件层3的安装区域37内。固定反射镜6具有的反射镜部61的反射镜面61a相对于器件层3，位于支承层2相反侧。反射镜面61a例如是垂直于Y轴方向的面，面向分束器7侧。光入射部8在Y轴方向上的分束器7的另一侧，安装于器件层3。光入射部8例如由光纤和准直透镜等构成。光入射部8以使测量光从外部入射到干涉光学系统10的方式配置。光出射部9在X轴方向上的分束器7的另一侧，安装于器件层3。光出射部9例如由光纤和准直透镜等构成。光出射部9以使测量光干涉光从干涉光学系统10出射到外部的方式配置。分束器7上具有光学功能面7a的立方体型分束器。光学功能面7a相对于器件层3，位于支承层2相反侧。分束器7通过分束器7的底面侧的一个角部与形成于器件层3的矩形的开口3a的一个角落部接触而定位。分束器7在定位后的状态下，通过粘接等而固定于支承层2，由此安装在支承层2上。在以上那样构成的光组件1中，当测量光L0经由光入射部8从外部入射到干涉光学系统10时，测量光L0的一部分就被分束器7的光学功能面7a反射而向可动反射镜5行进，测量光L0的其余部分透过分束器7的光学功能面7a而向固定反射镜6行进。测量光L0的一部分被可动反射镜5的反射镜面51a反射，在同一光路上向分束器7行进，透过分束器7的光学功能面7a。测量光L0的其余部分被固定反射镜6的反射镜面61a反射，在同一光路上向分束器7行进，被分束器7的光学功能面7a反射。透过了分束器7的光学功能面7a的测量光L0的一部分、和被分束器7的光学功能面7a反射的测量光L0的其余部分成为作为干涉光的测量光L1，测量光L1经由光出射部9从干涉光学系统10出射到外部。根据光组件1，由于能够使可动反射镜5沿着方向A高速地往复运动，所以能够提供小型且高精度的FTIR。[可动反射镜和其周边构造]如图2和图3所示，可动反射镜5具有反射镜部51、弹性部52、连结部53、一对脚部54和一对卡止部55。以下那样构成的可动反射镜5通过MEMS技术图案化和蚀刻而一体地形成。反射镜部51形成为具有反射镜面51a作为主面的板状例如，圆板状。在从X轴方向垂直于反射镜面51a的方向观察的情况下，弹性部52形成为与反射镜部51隔开间隔且包围反射镜部51的环状例如，圆环状。在从X轴方向观察的情况下，连结部53相对于反射镜部51的中心，在Y轴方向上的一侧，将反射镜部51和弹性部52相互连结。在从X轴方向观察的情况下，一对脚部54相对于反射镜部51的中心，在Y轴方向上的两侧，与弹性部52的外侧的表面连结。即，反射镜部51和弹性部52在Y轴方向上，被一对脚部54夹着。各脚部54向比反射镜部51和弹性部52靠安装区域31侧延伸。一对卡止部55分别设置在各脚部54的安装区域31侧的端部。在从X轴方向观察的情况下，各卡止部55以向内侧相互接近的一侧弯折成为例如V字状的方式形成。以上那样构成的可动反射镜5通过在形成于安装区域31的开口31b配置一对卡止部55而被安装于安装区域31。开口31b在Z轴方向上在安装区域31的两侧开口。各卡止部55的一部分从安装区域31中的中间层4侧的表面突出。即，可动反射镜5贯通安装区域31。配置于安装区域31的开口31b的一对卡止部55的外侧相互远离的一侧受到力的作用。可动反射镜5通过该力而固定于安装区域31。该力是在可动反射镜5安装于安装区域31时被压缩后的环状弹性部52要恢复初始状态而产生的力。此外，如图1所示，在从Z轴方向观察的情况下，开口31b形成为向分束器7相反侧逐渐扩展的梯形状。通过在呈这种形状的开口31b卡合呈向内侧弯折的形状的一对卡止部55，可动反射镜5分别在X轴方向、Y轴方向和Z轴方向上自动定位自定位。如图2和图3所示，在中间层4上形成有开口第1开口41。开口41在Z轴方向上向中间层4的两侧开口。在支承层2上形成有开口第2开口21。开口21在Z轴方向上向支承层2的两侧开口。在光组件1中，由中间层4的开口41内的区域和支承层2的开口21内的区域构成一连串的空间S1。即，空间S1包括中间层4的开口41内的区域和支承层2的开口21内的区域。空间S1形成在支承层2与器件层3之间，至少与安装区域31和驱动区域32对应。具体地说，在从Z轴方向观察的情况下，中间层4的开口41内的区域和支承层2的开口21内的区域包括安装区域31进行移动的范围。中间层4的开口41内的区域形成用于使安装区域31和驱动区域32中的、应离开支承层2的部分即，应设为相对于支承层2浮起的状态的部分，例如，安装区域31的整体、各弹性支承区域34的弹性变形部34b、第1梳齿部33a和第2梳齿部31a离开支承层2的间隙。即，所谓至少与安装区域31和驱动区域32对应的空间S1，是指以安装区域31的整体和驱动区域32的至少一部分与支承层2隔开间隔的方式形成于支承层2与器件层3之间的空间。可动反射镜5具有的各卡止部55的一部分位于空间S1内。具体地说，各卡止部55的一部分经由中间层4的开口41内的区域，位于支承层2的开口21内的区域内。各卡止部55的一部分从器件层3中的中间层4侧的表面向空间S1内突出例如100μm左右。如上所述，在从Z轴方向观察的情况下，因为中间层4的开口41内的区域和支承层2的开口21内的区域包括安装区域31进行移动的范围，所以在安装区域31沿方向A进行往复运动时，可动反射镜5的各卡止部55中的、位于空间S1的一部分不会与中间层4和支承层2接触。[固定反射镜和其周边构造]如图4和图5所示，固定反射镜6具有反射镜部61、弹性部62、连结部63、一对脚部64和一对卡止部65。以下那样构成的固定反射镜6通过MEMS技术图案化和蚀刻而一体地形成。反射镜部61形成为具有反射镜面61a作为主面的板状例如，圆板状。在从Y轴方向垂直于反射镜面61a的方向观察的情况下，弹性部62形成为与反射镜部61分开间隔且包围反射镜部61的环状例如，圆环状。在从Y轴方向观察的情况下，连结部63相对于反射镜部61的中心，在X轴方向上的一侧，将反射镜部61和弹性部62相互连结。在从Y轴方向观察的情况下，一对脚部64相对于反射镜部61的中心，在X轴方向上的两侧，与弹性部62的外侧的表面连结。即，反射镜部61和弹性部62在X轴方向上，被一对脚部64夹着。各脚部64向比反射镜部61和弹性部62靠安装区域37侧延伸。一对卡止部65分别设置于各脚部64的安装区域37侧的端部。在从Y轴方向观察的情况下，各卡止部65以向内侧相互接近的一侧弯折成例如V字状的方式形成。以上那样构成的固定反射镜6通过在形成于安装区域37的开口37a配置一对卡止部65而安装于安装区域37。开口37a在Z轴方向上向安装区域37的两侧开口。各卡止部65的一部分从安装区域37中的中间层4侧的表面突出。即，固定反射镜6贯通安装区域37。配置于安装区域37的开口37a的一对卡止部65的外侧相互远离的一侧受到力的作用。固定反射镜6通过该力而固定于安装区域37。该力是在固定反射镜6安装于安装区域37时被压缩后的环状弹性部62要恢复初始状态而产生的力。此外，如图1所示，在从Z轴方向观察的情况下，开口37a形成为向分束器7相反侧逐渐扩展的梯形状。通过在呈这种形状的开口37a卡合呈向内侧弯折的形状的一对卡止部65，固定反射镜6分别在X轴方向、Y轴方向和Z轴方向上自动定位自定位。如图4和图5所示，在中间层4上形成开口42。在从Z轴方向观察的情况下，开口42包括安装区域37的开口37a，在Z轴方向上向中间层4的两侧开口。在支承层2上形成有开口22。在从Z轴方向观察的情况下，开口22包括安装区域37的开口37a，在Z轴方向上向支承层2的两侧开口。在光组件1中，由中间层4的开口42内的区域和支承层2的开口22内的区域构成一连串的空间S2。即，空间S2包括中间层4的开口42内的区域和支承层2的开口22内的区域。固定反射镜6具有的各卡止部65的一部分位于空间S2内。具体地说，各卡止部65的一部分经由中间层4的开口42内的区域，位于支承层2的开口22内的区域内。各卡止部65的一部分从器件层3中的中间层4侧的表面向空间S2内突出例如100μm左右。[作用和效果]在光组件1中，在器件层3中，安装有可动反射镜5的安装区域31被一对弹性支承区域34夹着，由一对弹性支承区域34支承。由此，与例如从安装区域31延伸的区域由弹性支承区域34支承那样的情况相比，能够使安装有可动反射镜5的安装区域31稳定地移动。因此，根据光组件1，可实现安装于器件层3的可动反射镜5的可靠移动。如图6a和b所示，在从安装区域31延伸的区域31c由弹性支承区域34支承的结构中，沿着Y轴方向的安装区域31的抗振性图6的a所示的箭头α、沿着Z轴方向的安装区域31的抗振性图6的b所示的箭头β、和沿着X轴方向的可动反射镜5的抗振性图6的b所示的箭头γ容易降低。与此相对，在光组件1的结构中，能够提高沿着Y轴方向的安装区域31的抗振性、和沿着Z轴方向的安装区域31的抗振性。此外，在图6中，省略了第1电极35和第2电极36的图示。另外，在光组件1中，支承层2为SOI基片的第1硅层，器件层3为SOI基片的第2硅层，中间层4为SOI基片的绝缘层。由此，安装于器件层3的可动反射镜5的用于可靠移动的结构能够通过SOI基片来适当实现。另外，在光组件1中，在从安装区域31移动的方向A观察的情况下，一对弹性支承区域34从两侧夹着安装区域31。由此，能够简化安装于器件层3的可动反射镜5的用于可靠移动的结构。另外，在光组件1中，可动反射镜5、固定反射镜6和分束器7以构成干涉光学系统10的方式配置。由此，能够得到提高了灵敏度的FTIR。另外，在光组件1中，光入射部8以从外部向干涉光学系统10入射测量光的方式配置，光出射部9以从干涉光学系统10向外部出射测量光的方式配置。由此，能够得到包括光入射部8和光出射部9的FTIR。[变形例]以上对本发明之一个实施方式进行了说明，但本发明不限定于上述实施方式。例如，各结构的材料和形状不限于上述的材料和形状，可采用各种各样的材料和形状。作为其一例，反射镜部51和反射镜面51a的形状不限定于圆形，也可以为矩形等其他形状。另外，如果空间S1形成在支承层2与器件层3之间，且至少与安装区域31和驱动区域32对应，则可采用各种各样的形态。例如，也可以在支承层2上形成有向器件层3侧开口的凹部来代替开口21，由中间层4的开口41内的区域和支承层2的凹部内的区域构成空间S1。另外，支承层2和器件层3也可以不经由中间层4而相互接合。在这种情况下，支承层2例如由硅、玻璃、陶瓷等形成，器件层3例如由硅等形成。支承层2和器件层3例如通过直接接合、表面活性化接合、等离子体接合、阳极接合、金属接合、树脂接合等而相互接合。在支承层2和器件层3不经由中间层4而相互接合的情况下，如果空间S1形成在支承层2与器件层3之间，且至少与安装区域31和驱动区域32对应，也可采用各种各样的形态。例如，也可以由以向支承层2的两侧开口的方式形成于支承层2的开口构成空间S1。也可以由以向器件层3侧开口的方式形成于支承层2的凹部构成空间S1。也可以由以向支承层2的两侧开口的方式形成于支承层2的开口、和以向支承层2侧开口的方式形成于器件层3的凹部构成空间S1。也可以由以向器件层3侧开口的方式形成于支承层2的凹部、和以向支承层2侧开口的方式形成于器件层3的凹部构成空间S1。也可以由以向支承层2侧开口的方式形成于器件层3的凹部构成空间S1。另外，如图7、图8和图9所示，可动反射镜5也可以在反射镜面51a与安装区域31交叉的状态下贯通安装区域31。在图7、图8和图9所示的光组件1中，没有在可动反射镜5上设有一对脚部54，而是在从X轴方向观察的情况下，一对卡止部55相对于反射镜部51的中心，在Y轴方向上的两侧，与弹性部52的外侧的表面连结。即，反射镜部51和弹性部52在Y轴方向上被一对卡止部55夹着。此外，在安装区域31中，划定开口31b的部分中的、与反射镜面51a相对的部分为使测量光L0通过而被切掉。在图7、图8和图9所示的光组件1中，可动反射镜5的反射镜面51a与安装区域31交叉。由此，能够使可动反射镜5的重心位置接近安装区域31，所以能够使安装有可动反射镜5的安装区域31更稳定地移动。如上所述，在从安装区域31延伸的区域31c由弹性支承区域34支承的结构中，沿着Y轴方向的安装区域31的抗振性图6的a所示的箭头α、沿着Z轴方向和安装区域31的抗振性图6的b所示的箭头β、和沿着X轴方向的可动反射镜5的抗振性图6的b所示的箭头γ容易降低。与此相对，在图7、图8和图9所示的光组件1的结构中，能够提高沿着Y轴方向的安装区域31的抗振性、沿着Z轴方向的安装区域31的抗振性、和沿着X轴方向的可动反射镜5的抗振性。另外，驱动区域32只要由一对弹性支承区域34以夹着安装区域31的状态支承，就能够采用各种各样的方式。例如，在各弹性支承区域34中，弹性变形部34b中的、与安装区域31连接的一对弹簧部分34c也可以如图10a所示相互连接，或者也可以如图10的b所示相互分离。另外，在各弹性支承区域34中，如图11a所示，弹性变形部34b中的、分别与两端部34a连接的一对弹簧部分34d也可以向安装区域31相反侧延伸。另外，在各弹性支承区域34中，如图11b所示，弹性变形部34b也可以具有3个以上的弹簧部分34c。另外，在各弹性支承区域34中，如图12所示，弹性变形部34b的一对弹簧部分34c也可以分别与X轴方向上的安装区域31的两侧面连接。另外，如图13a和b所示，一对弹性支承区域34也可以在X轴方向上配置在安装区域31的两侧。此外，在图10～图13中，省略了第1电极35和第2电极36的图示。此外，如图10a、图11a和图12所示，在各弹性支承区域34的弹性变形部34b包括多个弹簧部分34c的情况下，在各弹簧部分34c的一端部与安装区域31连接时，各弹簧部分34c的另一端部优选经由梁状的部分34e相互连接。根据该结构，与各弹簧部分34c的另一端部未相互连接的情况相比，能够更可靠地抑制可动反射镜5的不必要的振动。特别是在各弹性支承区域34的弹性变形部34b包括一对弹簧部分34c的情况下，该结构有效。另外，如图10a、图11a和图12所示，在各弹性支承区域34的弹性变形部34b，彼此相邻的弹簧部分34c间的距离间隔比可动反射镜5的厚度大，且安装区域31位于初始位置时，安装区域31进行移动的方向A上的可动反射镜5的重心位置优选位于方向A上的一个弹簧部分34c彼此相邻的弹簧部分34c中的一方的一端部与安装区域31连接的端部以下，称为“连接端部”的位置、与方向A上的另一个弹簧部分34c彼此相邻的弹簧部分34c中的另一方的连接端部的位置之间。这两个位置都是方向A上的位置图10a、图11a和图12的X坐标。根据该结构，在各弹性支承区域34的弹性变形部34b，不增加弹簧部分34c的数量，就能够确保安装区域31的移动量，且能够抑制可动反射镜5的不必要的振动。特别是在各弹性支承区域34的弹性变形部34b包括一对弹簧部分34c的情况下，该结构有效。另外，如图10a和图11a所示，在各弹性支承区域34的弹性变形部34b包括一对弹簧部分34c的情况下，在各弹性支承区域34的弹性变形部34b，彼此相邻的弹簧部分34c间的距离间隔优选比方向A上的从安装区域31的一端部至一个弹簧部分34c的连接端部的第1距离、和方向A上的从安装区域31的另一端部至另一个弹簧部分34c的连接端部的第2距离大。而且，更优选第1距离与第2距离相等。根据该结构，在各弹性支承区域34的弹性变形部34b，不增加弹簧部分34c的数量，就能够确保安装区域31的移动量，且能够抑制可动反射镜5的不必要的振动。另外，在上述实施方式中，固定反射镜6安装于器件层3，但固定反射镜6只要安装于支承层2、器件层3和中间层4中的至少一者即可。另外，在上述实施方式中，分束器7安装于支承层2，但分束器7只要安装于支承层2、器件层3和中间层4中的至少一者即可。另外，分束器7不限定于立方体型分束器，也可以为板型分束器。另外，光组件1除具备光入射部8以外，也可以还具备发生向光入射部8入射的测量光的发光元件。或者，光组件1也可以具备产生向干涉光学系统10入射的测量光的发光元件来代替光入射部8。另外，光组件1除具备光出射部9以外，也可以还具备检测从光出射部9出射的测量光干涉光的受光元件。或者，光组件1也可以具备检测从干涉光学系统10出射的测量光干涉光的受光元件来代替光出射部9。另外，与各致动器区域33电连接的第1贯通电极、和分别与各弹性支承区域34的两端部34a电连接的第2贯通电极也可以设置在支承层2和中间层4在不存在中间层4的情况下，仅为支承层2上，对第1贯通电极和第2贯通电极之间施加电压。另外，使安装区域31移动的致动器不限定于静电致动器，例如也可以为压电式致动器、电磁式致动器等。另外，光组件1不限定于构成FTIR的光组件，也可以为构成其他光学系统的光组件。附图标记说明1…光组件2…支承层3…器件层4…中间层5…可动反射镜6…固定反射镜7…分束器8…光入射部9…光出射部10…干涉光学系统31…安装区域32…驱动区域34…弹性支承区域41…开口51a…反射镜面S1…空间。

权利要求：1.一种光组件，其特征在于，包括：支承层；设置在所述支承层上的器件层；和安装于所述器件层的可动反射镜，所述器件层具有：用于安装所述可动反射镜的安装区域；和与所述安装区域连接的驱动区域，在所述支承层与所述器件层之间形成有至少与所述安装区域和所述驱动区域对应的空间，所述安装区域被所述驱动区域中包含的一对弹性支承区域夹着，由所述一对弹性支承区域支承。2.如权利要求1所述的光组件，其特征在于：还包括设置于所述支承层与所述器件层之间的中间层，在所述中间层上形成有开口，所述空间包括所述开口内的区域，所述支承层为SOI基片的第1硅层，所述器件层为所述SOI基片的第2硅层，所述中间层为所述SOI基片的绝缘层。3.如权利要求1或2所述的光组件，其特征在于：在从所述安装区域进行移动的方向观察的情况下，所述一对弹性支承区域从两侧夹着所述安装区域。4.如权利要求1～3中任一项所述的光组件，其特征在于：所述可动反射镜的反射镜面与所述安装区域交叉。5.如权利要求1～4中任一项所述的光组件，其特征在于，还包括：固定反射镜，其安装于所述支承层、所述器件层、和设置于所述支承层与所述器件层之间的中间层中的至少一者；和分束器，其安装于所述支承层、所述器件层、和所述中间层中的至少一者，所述可动反射镜、所述固定反射镜和所述分束器以构成干涉光学系统的方式配置。6.如权利要求5所述的光组件，其特征在于，还包括：光入射部，其以能够从外部向所述干涉光学系统入射测量光的方式配置；和光出射部，其以能够从所述干涉光学系统向外部出射所述测量光的方式配置。

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