申请/专利权人：琳得科株式会社

申请日：2018-05-11

公开（公告）日：2021-09-21

公开（公告）号：CN110831766B

主分类号：B32B27/00(20060101)

分类号：B32B27/00(20060101);H01L21/301(20060101)

优先权：["20170706 JP 2017-132980"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.09.21#授权;2020.03.17#实质审查的生效;2020.02.21#公开

摘要：本发明提供一种树脂膜形成用膜，其满足以下的条件i及ii：i使用层叠多片所述树脂膜形成用膜而成的、大小为50mm×50mm、厚度为200μm的第一层叠体制成第一试验片，将该第一试验片在纯水中浸渍了2小时时，所述第一试验片的吸水率为0.55％以下；ii使用将所述树脂膜形成用膜贴附在硅镜面晶圆上而成的第二层叠体制成第二试验片，使该第二试验片在23℃、50％RH的环境下经时30分钟时及将该经时后的第二试验片在纯水中浸渍了2小时时、即在浸渍前后，对树脂膜形成用膜或其固化物与硅镜面晶圆之间的粘着力进行测定时，粘着力变化率为60％以下。

主权项：1.一种树脂膜形成用膜，其中，制造层叠多片所述树脂膜形成用膜而成的、大小为50mm×50mm、厚度为200μm的第一层叠体，当所述树脂膜形成用膜为能量射线固化性时，将使所述第一层叠体进行能量射线固化而成的第一固化物作为第一试验片，当所述树脂膜形成用膜为非能量射线固化性时，将所述第一层叠体作为第一试验片，将所述第一试验片在纯水中浸渍了2小时时，所述第一试验片的吸水率为0.55％以下；且制造将所述树脂膜形成用膜贴附在硅镜面晶圆上而成的第二层叠体，当所述树脂膜形成用膜为能量射线固化性时，将使所述第二层叠体中的所述树脂膜形成用膜进行能量射线固化而制成第二固化物后的已固化的第二层叠体作为第二试验片，测定将所述第二试验片在温度为23℃、相对湿度为50％的环境下静置30分钟而使其静置后的、所述第二固化物与所述硅镜面晶圆之间的静置后粘着力，并测定将静置后的所述第二试验片在纯水中浸渍了2小时时的、所述第二固化物与所述硅镜面晶圆之间的浸渍后粘着力，此时，根据所述静置后粘着力及浸渍后粘着力而计算的所述第二试验片的粘着力变化率为60％以下，其中所述第二试验片的粘着力变化率％通过公式“|PB1-PA1|PA1×100”而计算，PA1为将第二试验片在温度为23℃、相对湿度为50％的环境下静置30分钟而使其静置后的、所述第二试验片中的第二固化物与所述硅镜面晶圆之间的静置后粘着力，PB1为将所述静置后的第二试验片在纯水中浸渍了2小时时的、所述浸渍后的第二试验片中的第二固化物与所述硅镜面晶圆之间的浸渍后粘着力，或者当所述树脂膜形成用膜为非能量射线固化性时，将所述第二层叠体作为第二试验片，测定将所述第二试验片在温度为23℃、相对湿度为50％的环境下静置30分钟而使其静置后的、所述树脂膜形成用膜与所述硅镜面晶圆之间的静置后粘着力，并测定将静置后的所述第二试验片在纯水中浸渍了2小时时的、所述树脂膜形成用膜与所述硅镜面晶圆之间的浸渍后粘着力，此时，根据所述静置后粘着力及浸渍后粘着力而计算的所述第二试验片的粘着力变化率为60％以下，其中所述第二试验片的粘着力变化率％通过公式“|PB2-PA2|PA2×100”而计算，PA2为将第二试验片在温度为23℃、相对湿度为50％的环境下静置30分钟而使其静置后的、所述第二试验片中的树脂膜形成用膜与所述硅镜面晶圆之间的静置后粘着力，PB2为将所述静置后的第二试验片在纯水中浸渍了2小时时的、所述浸渍后的第二试验片中的树脂膜形成用膜与所述硅镜面晶圆之间的浸渍后粘着力。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 琳得科株式会社 树脂膜形成用膜及树脂膜形成用复合片

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