申请/专利权人：浙江博蓝特半导体科技股份有限公司

申请日：2019-08-27

公开（公告）日：2021-09-21

公开（公告）号：CN110660696B

主分类号：H01L21/66(20060101)

分类号：H01L21/66(20060101);H01L33/00(20100101);B24B37/10(20120101);B24B57/02(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.09.21#授权;2020.02.04#实质审查的生效;2020.01.07#公开

摘要：本发明涉及一种蓝宝石衬底的制造方法和滴蜡设备，该制造方法在晶片退火之后直接进行甩蜡烘烤、滴蜡测量和滴蜡抛光步骤。滴蜡抛光步骤包括：在烘烤后的蜡膜的表面晶片的正中心一次性滴下预先测定的蜡料；将滴蜡后的晶片的蜡膜面与带有热度的陶瓷盘平面相贴，使蜡滴被挤压形成圆形蜡饼，并相应地在晶片的与蜡膜面相对的背面顶起一与蜡饼形状一致的圆台；对产生圆台的晶片的背面进行抛光，使晶片的背面中间凹陷且圆台的外缘与晶背面的其余部分平滑过渡，并成为中间凹陷底部的圆面。滴蜡设备包括吸盘、点胶阀、储蜡桶、导蜡管和数显调压阀。本发明的蓝宝石衬底的制造方法和滴蜡设备，省去了晶片弯曲度分选工作，并能大幅提升衬底的产品合格率。

主权项：1.一种蓝宝衬底制造过程中所需滴蜡量的测算方法，其特征在于，包括步骤：a.选取一甩蜡后的蓝宝石晶片作为晶片样片；b.对选取的蓝宝石晶片样片进行烘烤，使晶片样片表面的蜡膜软化且具备粘性；c.在软化后的蜡膜的表面晶片样片的正中心滴下微量的蜡料；d.将滴蜡完毕的晶片样片的蜡膜面与带有热度的陶瓷盘平面相贴，使得蜡滴被挤压形成圆形蜡饼，并相应地在晶片样片的与蜡膜面相对的背面顶起一与蜡饼形状一致的圆台；e.将形成的圆台与预定的尺寸要求进行对比；f.重复步骤c-e直至形成的圆台达到预定的尺寸要求；g.记录滴下蜡料的总量，则为所需滴蜡量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司 一种蓝宝石衬底的制造方法和滴蜡设备

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