申请/专利权人:矽翔微机电(杭州)有限公司
申请日:2020-08-25
公开(公告)日:2021-09-21
公开(公告)号:CN112179431B
主分类号:G01F1/69(20060101)
分类号:G01F1/69(20060101);G01F1/684(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.09.21#授权;2021.01.22#实质审查的生效;2021.01.05#公开
摘要:本发明提供了一种气体流量计,涉及气体计量设备领域,为解决现有气体计量方式存在的气体贸易计量不准确的问题而设计。该气体流量计包括计量单元和通信单元,计量单元包括气体流道、MEMS传感器组件及控制模块,气体流道提供被检测气体稳定的流场;MEMS传感器组件包括均与控制模块电连接的MEMS热飞行时间传感器和可燃气体浓度传感器,MEMS热飞行时间传感器包括沿气体流动方向依次设置的第一加热元件和多个热敏元件,多个热敏元件中的至少两个至第一加热元件的距离为非整数倍关系,MEMS热飞行时间传感器被配置为测量气体的体积流量和质量流量;通信单元与控制模块电连接。本发明提供的气体流量计计量结果准确。
主权项:1.一种气体流量计,其特征在于,包括计量单元010和通信单元020;所述计量单元010包括气体流道100、MEMS传感器组件200及控制模块300,其中,所述气体流道100提供被检测气体稳定的流场;所述MEMS传感器组件200包括均与所述控制模块300电连接的MEMS热飞行时间传感器210和可燃气体浓度传感器220,所述MEMS热飞行时间传感器210包括沿气体流动方向依次设置的第一加热元件212和多个热敏元件,多个所述热敏元件中的至少两个至所述第一加热元件212的距离为非整数倍关系,所述MEMS热飞行时间传感器210被配置为测量气体的体积流量和质量流量,所述可燃气体浓度传感器220被配置为测量气体中具有燃烧值的组分浓度;所述通信单元020与所述控制模块300电连接,所述通信单元020被配置为输出计量数据;所述可燃气体浓度传感器220包括第二基体221以及均设置于所述第二基体221的可燃气体浓度感测元件222、第二加热元件223和第二感温元件224,所述第二加热元件223和所述第二感温元件224均与所述控制模块300电连接,所述第二感温元件;所述第二感温元件224用于感受到气体的温度并将所述温度信号反馈,所述控制器用于对所述第二加热元件223的加热温度和加热功率进行控制,所述第二加热元件223将所述可燃气体浓度感测元件222升高至其反应所需温度。
全文数据:
权利要求:
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