申请/专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学

申请日：2021-05-21

公开（公告）日：2021-09-21

公开（公告）号：CN112985472B

主分类号：G01D5/244(20060101)

分类号：G01D5/244(20060101);G01D11/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.09.21#授权;2021.09.10#著录事项变更;2021.07.06#实质审查的生效;2021.06.18#公开

摘要：本发明提供了一种接触式超滑编码器，包括码盘组件以及读取组件，码盘组件包括超滑码盘，超滑码盘具有至少一个编码码道，编码码道具有原子级平整表面；读取组件包括至少一个转动盘，转动盘与超滑码盘相对，转动盘上设有至少一个接触部件，接触部件沿着编码码道滑动，接触部件包括至少一个超滑片，超滑片与原子级平整表面超滑接触并输出编码信号。本发明提供的接触式超滑编码器，能够通过超滑码盘的设计直接输出某种码制的数码，且超滑片的尺寸一般较小，能够在一个小尺度的超滑码盘内部设置较多层的编码码道，实现更高精度和高分辨率的编码器。

主权项：1.接触式超滑编码器，包括码盘组件1以及与所述码盘组件1相对转动的读取组件2，其特征在于：所述码盘组件1包括超滑码盘11，所述超滑码盘11具有至少一个编码码道111，所述编码码道111具有原子级平整表面；所述读取组件2包括至少一个转动盘21，所述转动盘21与所述超滑码盘11相对，所述转动盘21上设有至少一个接触部件22，所述接触部件22沿着所述编码码道111滑动，所述接触部件22包括至少一个超滑片223，所述超滑片223与所述原子级平整表面超滑接触并输出编码信号；所述编码码道111上具有发电区1113和非发电区1114，所述超滑片223与所述发电区1113形成超滑接触和肖特基接触并发出电流，所述超滑片223与所述非发电区1114仅超滑接触。

全文数据：

权利要求：

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