申请/专利权人：成都齐荣科技有限公司

申请日：2020-09-02

公开（公告）日：2021-09-21

公开（公告）号：CN214244596U

主分类号：C23C14/35(20060101)

分类号：C23C14/35(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.09.21#授权

摘要：本实用新型公开了一种方便维修的平面阴极，包括屏蔽板、磁钢组件和靶材固定件，所述的屏蔽板的下端面设置屏蔽槽，所述磁钢组件设置在屏蔽槽内，所述磁钢组件包括靶壳、磁座和磁体，靶材固定件安装在屏蔽槽槽口处，靶材固定件包括背板和挤压机构，所述背板安装在靶壳下方，所述背板和挤压机构配合安装靶材。本实用新型具有的优点是设计电磁锁卡合在靶材两侧，电磁锁中弹出的挤压件将靶材固定住，并且挤压件与靶材之间的斜边设置，使得靶材被向上挤压，从而使得靶材紧紧贴合至背板，保证冷却效果，当需要卸下靶材时，导通电磁锁，靶材因重力下落，即取下靶材，然后再将新的靶材贴合到背板下方，电磁锁失电，即锁定靶材，这样非常的方便，省时省力。

主权项：1.一种方便维修的平面阴极，其特征在于，包括屏蔽板、磁钢组件和靶材固定件，所述的屏蔽板的下端面设置屏蔽槽，所述磁钢组件设置在屏蔽槽内，所述磁钢组件包括靶壳、磁座和磁体，所述靶壳安装在屏蔽槽的上壁，靶壳下方设置磁槽，所述磁座固定在磁槽顶壁上，所述磁体吸附在磁座下方，靶材固定件安装在屏蔽槽槽口处，靶材固定件包括背板和挤压机构，所述背板安装在靶壳下方，所述背板和挤压机构配合安装靶材，所述挤压机构包括位于靶材两侧的电磁锁，电磁锁包括电磁铁、弹簧和挤压件，所述屏蔽板朝向靶材的位置设置有锁槽，所述电磁铁安装在锁槽内，挤压件通过弹簧连接电磁铁，挤压件被弹簧推动露出锁槽，并贴合至靶材，所述靶材的横截面呈等腰梯形，横截面的上端边大于下端边，横截面的两个斜边对向挤压件，所述挤压件和靶材相互贴合的端面配合。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 成都齐荣科技有限公司 一种方便维修的平面阴极

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