申请/专利权人：深圳市鑫亿晶科技有限公司

申请日：2021-02-05

公开（公告）日：2021-09-21

公开（公告）号：CN214254359U

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.09.21#授权

摘要：一种晶片剥离治具，涉及晶片制造领域，包括底座、载板、立板、压紧组件、剥离组件、左右调节组件和前后调节组件；载板和立板分别滑动设置在底座的上端两侧；剥离组件对应载板位置设置在立板上；压紧组件设置在在剥离组件上；左右调节组件和前后调节组件均设置在底座上，且与立板配合。本实用新型结构紧凑小巧，操作简单方便；设置多组剥离块，实现大片晶片的整排剥离或单个子晶片的剥离；设置滑动的载板、压紧组件、剥离组件互相配合，利用压紧块固定产品，剥离弹簧拉扯剥离块对产品进行剥离，对产品固定牢固，剥离效率高、效果好；设置左右调节组件和前后调节组件配合，对剥离位置进行微调，进一步提高了剥离的精度。

主权项：1.一种晶片剥离治具，其特征在于，包括底座（8）、载板（7）、立板（14）、压紧组件（19）、剥离组件（20）、左右调节组件（28）和前后调节组件（27）；载板（7）和立板（14）分别滑动设置在底座（8）的上端两侧；剥离组件（20）对应载板（7）位置设置在立板（14）上；压紧组件（19）设置在剥离组件（20）上；左右调节组件（28）和前后调节组件（27）均设置在底座（8）上，且与立板（14）配合；剥离组件（20）包括剥离板（5）、剥离弹簧（6）和剥离块（17）；剥离板（5）滑动连接立板（14），且位于载板（7）的上方；剥离弹簧（6）的两端分别连接剥离板（5）和底座（8）；剥离块（17）设置在剥离板（5）朝向载板（7）的一侧；压紧组件（19）包括第一限位块（1）、滑块座（2）、压紧弹簧（3）、压紧块（4）、第一导轨（9）和第一滑块（18）；剥离板（5）上设置有通槽（26）和卡槽（25）；滑块座（2）设置在卡槽（25）上；第一滑块（18）和第一限位块（1）均设置在滑块座（2）上；压紧块（4）位于第一限位块（1）的下方，且下端穿过通槽（26）；压紧弹簧（3）的两端分别连接第一限位块（1）和压紧块（4）；第一导轨（9）设置在压紧块（4）上，且与第一滑块（18）滑动连接；左右调节组件（28）包括左右调整千分尺（10）和第一千分尺支架（11）；第一千分尺支架（11）设置在底座（8）上；左右调整千分尺（10）的一端转动连接第一千分尺支架（11），另一端螺纹连接立板（14）的一侧；前后调节组件（27）包括前后调整千分尺（13）和第二千分尺支架（12）；第二千分尺支架（12）设置在底座（8）上；前后调整千分尺（13）的一端转动连接第二千分尺支架（12），另一端螺纹连接立板（14）的后端。

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