申请/专利权人：四川大学

申请日：2021-02-06

公开（公告）日：2021-09-21

公开（公告）号：CN214254443U

主分类号：H01L31/18(20060101)

分类号：H01L31/18(20060101);C30B33/12(20060101);C30B29/06(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.09.21#授权

摘要：本实用新型涉及等离子体技术领域，特别是一种大气压ICP硅太阳能电池制绒装置及制绒系统，其中，制绒装置包括内炬管和套设于内炬管外侧的外炬管，内炬管内具有第一通道，内炬管与外炬管之间具有第二通道，第二通道具有第一孔段和第二孔段，第二孔段的横截面积小于第一孔段的横截面积。本申请的一种大气压ICP硅太阳能电池制绒装置，通过减小第二通道内区域的体积，使得气体密度更大，等离子体更易激发，所需功率降低后形成的射流更加稳定；而且所需气体流量更小，排放的污染气体也对应减少，有效降低成本，更有利于环境保护；进气快，从而在较少原材料的情况下形成更稳定的射流，有效提高了ICP硅太阳能电池制绒装置的效率。

主权项：1.一种大气压ICP硅太阳能电池制绒装置，包括内炬管4和套设于所述内炬管4外侧的外炬管3，内炬管4内具有沿其轴向设置的第一通道42，所述第一通道42用于输送载流气，所述内炬管4与所述外炬管3之间具有用于输送工作气和冷却气的第二通道9，其特征在于，所述第二通道9沿其气流方向依次具有第一孔段91和第二孔段92，所述第二孔段92靠近所述第二通道9的出口端，所述第二孔段92的横截面积小于所述第一孔段91的横截面积。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 四川大学 一种大气压ICP硅太阳能电池制绒装置及制绒系统

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