申请/专利权人：深圳市卓兴半导体科技有限公司

申请日：2021-02-09

公开（公告）日：2021-09-21

公开（公告）号：CN214254360U

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);H01L21/683(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.09.21#授权

摘要：本实用新型涉及自动化设备技术领域，公开了一种物料转移设备和晶片转移设备。其中，物料转移设备包括：机架、驱动装置、至少两个运行装置、以及至少两个检测装置。驱动装置安装在机架上；运行装置与驱动装置驱动连接，至少两个运行装置协同运动，运行装置包括安装座和驱动安装座转动的驱动机构、以及安装在安装座上的运行机构，运行机构包括操作头，操作头相对安装座滑动和转动；至少两个检测装置间隔安装在机架上，检测装置配置为检测并控制运行装置运动。通过运行装置进行转移，且通过检测装置对运行装置进行检测，从而对运转装置进行准确定位，提高效率和提高转移的准确性。且运行装置中的运行机构在跟随安装座转动的过程中可以进行位置校准。

主权项：1.一种物料转移设备，其特征在于，包括：机架；驱动装置，所述驱动装置安装在所述机架上；至少两个运行装置，所述运行装置与所述驱动装置驱动连接，所述至少两个运行装置协同运动，所述运行装置包括安装座和驱动所述安装座转动的驱动机构、以及安装在所述安装座上的运行机构，所述运行机构包括操作头，所述操作头相对所述安装座滑动和转动；以及至少两个检测装置，所述至少两个检测装置间隔安装在所述机架上，所述检测装置配置为检测并控制所述运行装置运动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市卓兴半导体科技有限公司 物料转移设备和晶片转移设备

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