申请/专利权人：凌嘉科技股份有限公司

申请日：2020-10-28

公开（公告）日：2021-09-21

公开（公告）号：CN214244602U

主分类号：C23C14/54(20060101)

分类号：C23C14/54(20060101);C23C14/50(20060101);C23C14/56(20060101);C23C14/34(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.09.21#授权

摘要：一种工艺系统，配置来对工件进行工艺，包含工站，包括入口端及出口端，经配置以自该入口端接收所述工件，并由该出口端将所述工件移出该工站；回流设备，包括设置在该工站外的回流轨道，所述回流轨道经配置以使所述工件自所述出口端移动到所述入口端移动；及冷却模块，设于所述回流轨道且与外界环境流体连通。所述冷却模块包括：冷却板，具有经配置以接触所述工件的冷却面；及液态界面生成模块，设于所述冷却板，且经配置以在所述冷却面及所述工件之间生成液态界面。

主权项：1.一种冷却板，经配置以承载待降温物，其特征在于，所述冷却板包括：板体，其具有承载面，所述承载面具有两侧边区域、及位于所述侧边区域之间的中央区域；第一流道结构，分布在所述侧边区域，经配置以输送第一相态的流体，所述第一流道结构具有多个分布在所述两个侧边区域且开口形成在所述板体的所述承载面的喷口，所述喷口的设置位置避开所述中央区域；及第二流道结构，埋设于所述板体且对应所述中央区域，经配置以输送第二相态的流体；其中，在正交于所述侧边区域的方向上，所述板体的宽度小于所述待降温物的宽度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 凌嘉科技股份有限公司 冷却板、冷却模块及工艺系统

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