申请/专利权人：厦门市三安集成电路有限公司

申请日：2020-12-25

公开（公告）日：2021-09-21

公开（公告）号：CN214244604U

主分类号：C23C16/32(20060101)

分类号：C23C16/32(20060101);C23C16/458(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.09.21#授权

摘要：本实用新型公开了一种用于碳化硅外延片生长的载盘，包括环形本体和放置碳化硅衬底的延伸部，延伸部沿着环形本体的圆心方向延伸并凸出环形本体，环形本体上具有复数个延伸部；延伸部为条状和或块状。本实用新型还公开了采用此载盘的载台，用于碳化硅外延片生长。本实用新型可以提高碳化硅外延片生长温度的均匀性，从而提高其掺杂浓度均匀性。

主权项：1.一种用于碳化硅外延片生长的载盘，其特征在于：包括环形本体和放置碳化硅衬底的延伸部，延伸部沿着环形本体的圆心方向延伸并凸出环形本体，环形本体上具有复数个延伸部；延伸部为条状和或块状。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 厦门市三安集成电路有限公司 一种用于碳化硅外延片生长的载盘及载台

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