申请/专利权人：索泰克公司

申请日：2020-02-26

公开（公告）日：2021-10-08

公开（公告）号：CN113491004A

主分类号：H01L21/762(20060101)

分类号：H01L21/762(20060101)

优先权：["20190315 FR 1902674"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.03.11#实质审查的生效;2021.10.08#公开

摘要：本发明涉及一种将有用层转移到载体衬底上的方法，包括以下步骤：a提供包括埋置弱化面的施主衬底，有用层由施主衬底的正面和埋置弱化面来界定；b提供载体衬底；c由施主衬底的正面将施主衬底沿接合界面结合到载体衬底以形成接合结构；d对接合结构进行退火，以对接合结构施加弱化热预算并且使埋置弱化面达到限定的弱化程度，所述退火达到最高保持温度；e通过对接合结构施加应力来在埋置弱化面中引发分裂波，分裂波以自维持的方式沿埋置弱化面传播以造成有用层转移到载体衬底。步骤e中的引发发生在接合结构正经历限定所述接合结构的热区域和冷区域的热梯度、应力局部施加在冷区域中时，并且热区域经历的温度低于最高保持温度。

主权项：1.一种将有用层3转移到载体衬底4上的转移方法，所述转移方法包括以下步骤：a提供包括埋置弱化面2的施主衬底1，所述有用层3由所述施主衬底1的正面1a和所述埋置弱化面2来界定；b提供载体衬底4；c由所述施主衬底1的所述正面1a将所述施主衬底1沿接合界面7结合到所述载体衬底4以形成接合结构5；d对所述接合结构5进行退火，以对所述接合结构5施加弱化热预算并且使所述埋置弱化面2达到限定的弱化程度，所述退火达到最高保持温度；e通过对所述接合结构5施加应力来在所述埋置弱化面2中引发分裂波，所述分裂波以自维持的方式沿所述埋置弱化面2传播以造成所述有用层3转移到所述载体衬底4；所述转移方法的特征在于：步骤e中的所述引发发生在所述接合结构5正经历限定所述接合结构5的热区域和冷区域的热梯度、所述应力局部施加在所述冷区域中时，并且所述热区域经历的温度低于所述最高保持温度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 索泰克公司 将有用层转移到载体衬底的方法

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