申请/专利权人：苏州矩浪科技有限公司

申请日：2021-02-02

公开（公告）日：2021-10-08

公开（公告）号：CN214347979U

主分类号：B07C5/02(20060101)

分类号：B07C5/02(20060101);B07C5/34(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.10.08#授权

摘要：本实用新型公开了一种双面晶圆外观缺陷检测机，该检测机是一种多层结构体，包括机架，所述机架上分别设置有A面Y轴运动模组、B面Y轴运动模组和B面X轴运动模组，所述A面Y轴运动模组上设置有A面X轴运动模组，所述A面X轴运动模组上设置有A面视觉检测机构，所述B面X轴运动模组上设置有B面视觉检测机构，所述机架上位于所述A面视觉检测机构和所述B面视觉检测机构之间设置有传输装置。本实用新型的有益效果是，本实用新型提供的检测机可对晶圆的双面同步进行检测，检出率非常高，该设备具备各种报警管控功能，产线出现大规模品质异常，可及时发现改善制程，避免工厂不必要的损失，可以有效提高检测效率，减少人工费用的支出，有效降低次品率。

主权项：1.一种双面晶圆外观缺陷检测机，该检测机是一种多层结构体，包括机架1，其特征在于，所述机架1上分别设置有A面Y轴运动模组2、B面Y轴运动模组4和B面X轴运动模组6，所述A面Y轴运动模组2上设置有A面X轴运动模组3，所述A面X轴运动模组3上设置有A面视觉检测机构7，所述B面X轴运动模组6上设置有B面视觉检测机构8，所述机架1上位于所述A面视觉检测机构7和所述B面视觉检测机构8之间设置有传输装置5。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州矩浪科技有限公司 一种双面晶圆外观缺陷检测机

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD