申请/专利权人：吉林求是光谱数据科技有限公司

申请日：2020-03-18

公开（公告）日：2021-10-12

公开（公告）号：CN113497065A

主分类号：H01L27/146(20060101)

分类号：H01L27/146(20060101);H01L27/148(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.10.29#实质审查的生效;2021.10.12#公开

摘要：本发明涉及兼具光谱和成像功能的成像光谱芯片及其制备方法，该芯片包括光电转换基底、滤光薄膜；其中，所述滤光薄膜为单层结构，其是由已知且透光率不同的N种材料通过逐一涂覆、刻蚀后拼接而成，滤光薄膜包括N个周期，每个周期包括T1、T2......Tn个单元，每个单元覆盖光电转换基底上的M个像素，其中M大于等于1，所有单元构成周期性结构，覆盖光电转换基底上的所有像素，与每个像素对应的滤光薄膜具有相同或者不同的光谱透过率。该芯片兼具光谱和较好的成像功能，即可以通过成像识别物体，又可以对物体的不同区域分别进行光谱分析，尤其是对于微小物体，可以克服微小物体在视场中占比小，难以拍摄的问题。

主权项：1.兼具光谱和成像功能的成像光谱芯片，包括光电转换基底、设置在光电转换基底上面的滤光薄膜；其中，所述光电转换基底，用于将光信号转化为电信号并以数字信号或者编码输出；所述滤光薄膜，用于将入射光光谱进行区分；其特征在于，所述滤光薄膜为单层结构，其是由已知且透光率不同的N种材料通过逐一涂覆、刻蚀后拼接而成，滤光薄膜包括N个周期，每个周期包括T1、T2......Tn个单元，每个单元覆盖光电转换基底上的M个像素，其中M大于等于1，所有单元构成周期性结构，覆盖光电转换基底上的所有像素，与每个像素对应的滤光薄膜具有相同或者不同的光谱透过率，实现光谱分光；另外，与每个像素对应的滤光薄膜的光谱透过率均为已知的，通过该光谱透过率信息，修正对应像素上的光信号强度值，结合所有像素的组合，进而反演出图像信息，实现高精度的成像功能。

全文数据：

权利要求：

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