申请/专利权人:长鑫存储技术有限公司
申请日:2020-04-07
公开(公告)日:2021-10-12
公开(公告)号:CN113496986A
主分类号:H01L23/525(20060101)
分类号:H01L23/525(20060101);H01L27/108(20060101);H01L27/112(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.12.12#授权;2021.10.29#实质审查的生效;2021.10.12#公开
摘要:本发明涉及一种反熔丝单元结构及反熔丝阵列。所述反熔丝单元结构包括基底、反熔丝器件和选择晶体管。其中所述反熔丝器件形成于所述基底中,包括第一栅极结构、第一源极掺杂区和第一漏极掺杂区,其中所述第一栅极结构与所述第一漏极掺杂区电连接。所述选择晶体管形成于所述基底中,与所述反熔丝器件匹配设置,包括第二栅极结构、第二源极掺杂区和第二漏极掺杂区,其中所述第二漏极掺杂区与所述第一源极掺杂区电连接。
主权项:1.一种反熔丝单元结构,其特征在于,包括:基底;反熔丝器件,形成于所述基底中,包括第一栅极结构、第一源极掺杂区和第一漏极掺杂区,其中所述第一栅极结构与所述第一漏极掺杂区电连接;以及选择晶体管,形成于所述基底中,与所述反熔丝器件匹配设置,包括第二栅极结构、第二源极掺杂区和第二漏极掺杂区,其中所述第二漏极掺杂区与所述第一源极掺杂区电连接。
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百度查询: 长鑫存储技术有限公司 反熔丝单元结构及反熔丝阵列
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