申请/专利权人：三星电机株式会社

申请日：2020-10-12

公开（公告）日：2021-10-12

公开（公告）号：CN113497599A

主分类号：H03H9/02(20060101)

分类号：H03H9/02(20060101);H03H9/05(20060101);H03H9/17(20060101)

优先权：["20200406 KR 10-2020-0041508"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.03.21#实质审查的生效;2021.10.12#公开

摘要：本公开提供了一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：第一电极，设置在基板上方；压电层，设置为覆盖所述第一电极的至少一部分；以及第二电极，设置为覆盖所述压电层的至少一部分。在所述第一电极、所述压电层和所述第二电极全部设置为彼此叠置的有效区域中，在所述第一电极、所述压电层和所述第二电极中的任意一个或者任意两个或更多个的任意组合中形成至少一个台阶。

主权项：1.一种体声波谐振器，包括：第一电极，设置在基板上方；压电层，设置为覆盖所述第一电极的至少一部分；以及第二电极，设置为覆盖所述压电层的至少一部分，其中，在所述第一电极、所述压电层和所述第二电极全部设置为彼此叠置的有效区域中，在所述第一电极、所述压电层和所述第二电极中的任意一个或者任意两个或更多个的任意组合中形成至少一个台阶。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星电机株式会社 体声波谐振器

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