申请/专利权人:凸版印刷株式会社
申请日:2020-04-23
公开(公告)日:2021-10-12
公开(公告)号:CN113498441A
主分类号:C23C14/04(20060101)
分类号:C23C14/04(20060101);G01N21/956(20060101)
优先权:["20190426 JP 2019-086570"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2022.03.11#实质审查的生效;2021.10.12#公开
摘要:一种蒸镀掩模缺陷原因确定系统,对具有形成有多个孔的基材的蒸镀掩模的缺陷原因进行确定,具备:图像取得部,取得上述蒸镀掩模的摄像图像,该摄像图像包括对包含正常孔部分和不良孔部分的上述多个孔进行摄像而得的多个孔部分以及对多个孔周围的上述基材进行摄像而得的基材部分;第1面积计算部,计算由图像取得部取得的摄像图像中包含的正常孔部分的面积;第2面积计算部,计算由图像取得部取得的摄像图像中包含的不良孔部分的面积;面积比率计算部,计算不良孔部分的面积相对于正常孔部分的面积的比例即面积比率;及缺陷原因确定部,确定不良孔部分的原因,缺陷原因确定部在面积比率为1以上的情况下确定不良孔部分的原因为第1原因或第2原因,在面积比率低于1的情况下确定不良孔部分的原因为并非第1原因及第2原因中的任一方的原因。
主权项:1.一种蒸镀掩模缺陷原因确定系统,对具有形成有多个孔的基材的蒸镀掩模的缺陷原因进行确定,具备:图像取得部,取得上述蒸镀掩模的摄像图像,该摄像图像包括对包含正常孔部分和不良孔部分的上述多个孔进行摄像而得的多个孔部分、以及对上述多个孔周围的上述基材进行摄像而得的基材部分;第1面积计算部,计算由上述图像取得部取得的上述摄像图像中的上述正常孔部分的面积;第2面积计算部,计算由上述图像取得部取得的上述摄像图像中的上述不良孔部分的面积;面积比率计算部,计算上述不良孔部分的面积相对于上述正常孔部分的面积的比例即面积比率;以及缺陷原因确定部,确定上述不良孔部分的原因,上述缺陷原因确定部为,在上述面积比率为1以上的情况下,确定上述不良孔部分的原因为第1原因或者第2原因,在上述面积比率低于1的情况下,确定上述不良孔部分的原因为并非上述第1原因及上述第2原因中的任一方的原因。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 凸版印刷株式会社 蒸镀掩模缺陷原因确定系统、蒸镀掩模缺陷原因确定方法及程序
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